“您給的那個拋光演算法，簡直就是數學上的藝術品！我們幾個老傢伙研究了好幾宿，越看越覺得深不可測。老闆，您要是還有這種演算法，可千萬別藏著掖著，給我們開開眼吧！”
林平安看著那面彷彿能吸走靈魂的鏡子，滿意地點了點頭。這就是EUV光刻機的“眼睛”。沒有它，再好的光也刻不出電路圖。
“還有這個，雙工件臺。”
李工又帶著林平安來到了另一個車間。
這裡，兩個巨大的金屬臺正在高速運動。它們就像是在冰面上滑行一樣，無聲無息，卻快如閃電。
“以前的光刻機，只有一個臺子。曝光的時候不能測量，測量的時候不能曝光。效率太低，就像是一個人幹兩份活。”
“而這個雙工件臺，一個在曝光，另一個就在旁邊測量、對準。兩不耽誤！效率直接翻倍！”
李工指著那兩個臺子，它們在磁懸浮導軌上飛速穿梭，速度快得驚人，卻又穩如泰山。
“這就是那個‘磁懸浮平面電機’技術！加速度能達到2G，定位精度卻能控制在幾奈米！”
“老闆，這簡直就是機械工程的奇蹟！有了這個，我們的光刻機生產效率，絕對吊打尼康和佳能！”
“當初我們看到圖紙的時候，都覺得這是科幻小說裡的東西。怎麼可能在這麼高的速度下還能保持奈米級的精度？但是，當我們按照您的控制邏輯把程式碼敲進去之後……”
李工激動得鬍子都在抖：
“它真的跑起來了！而且比我想象的還要穩！老闆，這種控制演算法，您到底是怎麼想出來的？這比現在的工業控制理論先進了至少二十年啊！您要是還有關於運動控制的資料，能不能再給我們講講？”
周圍的年輕工程師們看著那兩臺不知疲倦工作的機器，眼中滿是自豪，也滿是對林平安的崇拜。在他們心裡，老闆已經不是商人，而是無所不知的科技之神。
……
最後，林平安來到了第十三層。
材料學實驗室。
這裡的味道有些刺鼻，那是各種化學試劑的味道。但這刺鼻的味道，在科研人員聞來，卻是最香甜的勝利果實。
“老闆，您要的光刻膠，配出來了！”
一位戴著厚厚眼鏡的女博士迎了上來。她是這一層的負責人，專門研究高分子材料。她手裡拿著一個小小的玻璃瓶，像捧著稀世珍寶。
“EUV光刻膠，那是光刻機皇冠上的寶石。以前全被日本JSR和信越化學壟斷了。他們卡我們的脖子，賣給我們的都是落後兩代的貨色，還愛賣不賣的。”
女博士咬了咬牙，顯然以前沒少受氣。
“但是現在，我們有了這個！”
她舉起那個深褐色的小瓶子：
“按照您給的‘化學放大型’配方，我們合成出了這種新型光刻膠。”
“它的感光度極高，只需要極少的EUV光就能發生反應。而且，它的解析度能達到5奈米級別！邊緣粗糙度極低！”
“我們做了對比測試，效能比日本最頂級的貨還要好30%！而且成本只有他們的一半！”
女博士激動得眼圈都紅了，聲音哽咽：
“老闆，有了這個，我們就再也不用看日本人的臉色了！這是咱們中國人自己的配方！是您給我們的配方！”
“您知道嗎？當我們把這個配方做出來的時候，大家都覺得不可思議。這種分子結構的組合，這種引發劑的選擇，完全顛覆了現有的教科書。老闆，您在材料學上的造詣，簡直讓我們這些博士汗顏。您要是還有關於底部抗反射塗層（BARC）的新想法，一定要告訴我們啊！我們現在幹勁十足，就等著您的新指示呢！”
除了光刻膠，還有掩膜版。
那是晶片電路圖的底片。
“這是EUV掩膜版。”
另一位工程師拿出一塊黑色的板子，小心翼翼地放在測試臺上。
“它不再是透明的玻璃，而是一塊反射鏡。上面覆蓋了特殊的吸收層。”
“這種結構，能承受EUV光的高能轟擊而不變形。這是我們按照您的‘無缺陷多層膜沉積’技術做出來的。”
“全球獨一份！ASML之前還在用透射式的思路呢，當然現在他們已經不存在了！”
工程師看著林平安，眼神熱切：“老闆，您這腦子裡到底還裝了多少好東西？能不能一次性都拿出來？讓我們也跟著您一起見證奇蹟！”
……
從5層到16層。
林平安一層層地走過，一項項地驗收。
光源、光學、機械、材料。
這光刻機的四大核心技術，在“流氓基地”這群瘋狂科學家的努力下，在小白提供的“天書”指引下，已經全部變成了現實。
這不僅僅是幾臺機器，幾瓶藥水。
這是通往未來的鑰匙。
是打破西方百年技術封鎖的鐵錘。
視察結束，林平安站在頂層的落地窗前，看著腳下的中關村。
“老闆，這些技術……”老陳有些遲疑地問道，聲音裡帶著一絲顫抖，“我們真的要公開申請專利嗎？這可是能改變世界的秘密啊。”
在他看來，這些都是國之重器，應該藏起來，作為殺手鐧。
“當然要申請。”
林平安轉過身，嘴角勾起一抹自信的微笑。
“我要用專利，給全世界的半導體行業，上一把鎖。”
“一把只有我有鑰匙的鎖。”
“以後，無論是ASML想復活，還是尼康想翻身，只要他們想造高階光刻機，就繞不開我的專利牆。”
“別擔心，申請的也只是雙工件臺的運動邏輯，EUV光源的激發原理等等”這些大方向的專利。
聽到老闆這麼說，老陳放心多了，他就怕老闆一頭熱，甚麼核心都申請了。
林平安又不傻，他當然知道甚麼該申請，甚麼不該申請。
比如“液錫噴射的具體溫度控制曲線”、“光刻膠的精確配方比例”、“鏡頭的最終拋光磨料成分”。這些東西堅決不寫進專利，作為公司的最高商業機密進行物理隔離保護。
這樣，即使對手看到了專利，知道原理，也造不出來，或者造出來的良率極低。