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第413章 第414章 參觀基地1

電梯在第五層停了下來。

金屬門滑開,一股特有的、略帶臭氧味道的乾燥空氣撲面而來。這一層,是整個“前沿技術研究院”的心臟——光源系統實驗室。

“老闆,請戴上護目鏡。”

負責這一層的專案組長,一位從德國蔡司挖回來的光學博士,名叫張明德,早早地候在門口,手裡捧著一副特製的防鐳射護目鏡

林平安接過眼鏡戴上,走進了那個充滿了嗡嗡聲和各種管線的巨大實驗室。

實驗室中央,佔據了大半個空間的是一臺如同怪獸般龐大的金屬裝置。

透過特製的觀察窗,可以看到裡面閃爍著詭異的粉紫色光芒,那是高能等離子體在跳動。

“這就是核心——高功率CO2鐳射器。”

張明德指著那臺龐然大物,像是在介紹自己的孩子:

“按照您的圖紙,我們採用了多級放大的軸快流技術。這臺大傢伙,它的諧振腔設計簡直絕了!以前我們只敢想幾千瓦,這臺直接幹到了20kW以上!”

“老闆,您知道這意味著甚麼嗎?以前ASML那邊的實驗機型,現在功率也就才幾千瓦,還在為穩定性發愁。而我們,已經能持續穩定輸出超過20kW的脈衝鐳射了!這足以把任何已知的金屬瞬間氣化!”

林平安點了點頭,透過護目鏡看著那束看不見的能量洪流。他能感受到裡面蘊含的恐怖力量,那是撕裂微觀世界的利刃。

“光有鐳射還不夠。”他淡淡地說道,“關鍵在於怎麼用。”

“是的!最絕的是這個!這就是您給我們的最大驚喜!”

張明德帶著林平安來到另一側,那裡有一個精密的噴嘴裝置,被厚厚的鉛板包裹著。

“液錫發生器!”

張明德指著那個微小的噴嘴,眼中滿是狂熱,甚至可以說是虔誠:

“這才是真正的黑科技!老闆,您當初給我圖紙的時候,我甚至懷疑這是不是外星人的科技。要把錫融化成液態,然後以每秒5萬次的高頻,像機關槍一樣噴射出來!而且,每一滴錫珠的大小,必須嚴格控制在30微米,誤差不能超過0.1微米!”

“這就好比是在幾百米外,用機槍打蚊子,還要槍槍爆頭,還要保證每一槍都在蚊子的同一個部位!”

“我們一開始都覺得這是不可能完成的任務。我們試了幾千次,噴嘴堵塞、液滴不均勻、甚至飛濺傷人……我們都快絕望了。”

張明德說到這裡,眼眶微紅:

“但是,當我們按照您後來補充的那個‘雙重脈衝預激發’方案,調整了磁場約束引數後……奇蹟發生了!”

他按下一個按鈕,旁邊的高速攝像機螢幕上,顯示出了慢放幾千倍的畫面。

只見一顆顆完美的、晶瑩剔透的錫珠,排著整齊的佇列飛出。緊接著,一束看不見的鐳射精準地擊中錫珠。

“轟!”

雖然聽不到聲音,但畫面上錫珠瞬間炸裂,變成了等離子體,釋放出了耀眼的極紫外光。

每一次擊中,都是一次完美的能量釋放。

“這就是EUV光源。純淨、強大、穩定。”

張明德的聲音充滿了敬畏,他轉過頭,死死地盯著林平安:

“老闆,有了這個,我們就掌握了製造7奈米,甚至5奈米晶片的鑰匙!這是超越時代的技術!比以前的ASML方案,整整先進了一代!不,是兩代!”

“老闆,您……您手裡還有這種好東西嗎?關於鐳射器的冷卻系統,或者是下一代的自由電子鐳射,您要是還有想法,哪怕只是個草圖,也一定要給我們看看啊!我們這幫人現在別的都不想,就想把這玩意兒做到極致!”

周圍的研究員們也圍了上來,一個個眼巴巴地看著林平安。他們都是各自領域的頂尖專家,但在這個年輕的老闆面前,他們覺得自己就像是剛剛學會走路的小學生,渴望著老師再多教一點知識。

那些圖紙,那些引數,在他們眼裡就是無價之寶,是真理的碎片。

“放心。”林平安拍了拍張明德的肩膀,“把這個吃透了,更好的東西在後面等著你們。”

……

電梯繼續上行,來到了第九層。

這裡是光學與機械系統實驗室。相比於樓下的狂暴能量,這裡顯得更加靜謐,但也更加精密。地板是防震的,空氣中幾乎沒有一絲塵埃。

“老闆,這邊請。”

這一層的負責人是李工,一位頭髮花白的老工程師,曾在國內某精密儀器廠幹了一輩子,後來被高薪請出山。此時的他,雖然年紀大了,但腰桿挺得筆直,精神矍鑠。

“老闆,您那個‘全反射光學系統’的思路,真是絕了!我搞了一輩子光學,從沒見過這麼大膽的設計!”

李工帶著林平安走進了一間超淨室。

這裡擺放著一組巨大的、形狀怪異的鏡子。它們不是普通的平面鏡,而是有著極其複雜的曲面。

“以前的光刻機,用的都是透鏡。就像相機的鏡頭一樣,光線穿過去。那是咱們的傳統強項。”

“但是EUV光太嬌氣了,穿透力極差,任何玻璃都會把它吸收掉。所以,必須用反射鏡!但這反射鏡的精度要求,簡直是變態!”

李工指著那幾面鏡子,語氣中滿是讚歎:

“這些鏡子,表面鍍了上百層鉬和矽的奈米薄膜。每一層的厚度,都要控制在原子級別!稍微有一點誤差,光線就散了。”

“這還不是最難的。最難的是鏡面的平整度。”

李工拿出一張示意圖,指著上面的一條近乎完美的直線:

“如果把這面鏡子放大到整個地球那麼大,那麼它表面的起伏,不能超過一根頭髮絲!這就是您要求的精度!”

“我們按照您的‘離子束脩形’工藝,磨了整整兩個月,報廢了幾十塊材料,終於磨出來了!”

李工撫摸著那是鏡子的外殼,就像是在撫摸情人的肌膚。

“老闆,您知道嗎?當我們第一次測試反射率達到70%的時候,整個實驗室的人都哭了。這是世界紀錄啊!蔡司現在的水平也就65%!”

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