中芯國際試用開始前三天,風華半導體進入了最後的衝刺階段。
量產機型已經完成了所有除錯,工藝方案已經最佳化到最佳狀態,團隊進行了多次模擬演練。但韓風還是不敢有絲毫鬆懈。
“再檢查一遍真空系統。”他對張建國說,“試用期間絕對不能出問題。”
“已經檢查了三遍,沒問題。”張建國保證。
“光學系統呢?”
“鏡片清潔度達到最高標準,鐳射器功率穩定。”李教授彙報。
“工藝引數?”
“所有引數都最佳化完畢,測試成功率穩定在87%。”陳雪茹說。
韓風點點頭,但眉頭依然緊鎖。他知道,實驗室裡的成功和客戶現場的成功是兩回事。環境差異、操作人員、材料批次......任何一個因素都可能影響結果。
更讓他擔心的是方婷那邊的動靜。最近幾天出奇地安靜,這不符合她的風格。
“方婷那邊有甚麼訊息?”韓風問林曉。
“她在頻繁會見各大晶片製造企業的高管。”林曉說,“具體談甚麼不清楚,但肯定和我們有關。”
韓風心中不安。方婷不會坐視試用成功,一定會想辦法破壞。
正想著,手機響了,是韓雪。
“哥,出事了。”韓雪的聲音很焦急,“我們的紀錄片被下架了。”
“甚麼?”
“影片平臺說我們‘內容涉及敏感技術’,要求整改。”韓雪說,“但我覺得是有人施壓。我託人打聽了,是鼎峰資本打了招呼。”
韓風心中一沉。方婷這是要從輿論上封殺他們。
“眾籌的錢呢?”
“也被凍結了。”韓雪說,“平臺說‘資金用途不明確’,要調查。哥,我們好不容易籌到的兩千萬,現在動不了了。”
雪上加霜。
韓風強迫自己冷靜:“別急,我來處理。你先找其他平臺,看看能不能重新上傳。”
“好。”
掛了電話,韓風立即聯絡了王總。大基金在政府層面有影響力,也許能幫忙。
王總聽了情況,說:“這是商業打壓,政府不方便直接干預。但我可以幫你聯絡幾家官方媒體,做正面報道,對沖負面影響。”
“謝謝王總。”
“韓總,試用的事準備得怎麼樣了?”王總問,“這可是關鍵一仗。”
“準備好了,但心裡沒底。”
“放輕鬆。”王總安慰,“你們的技術我看了,沒問題。關鍵是心態。記住,你們做的是正確的事,正義的事業會有天助。”
“希望如此。”
當天下午,幾家官方媒體同時刊登了關於風華半導體的報道。標題很正面:“國產EUV取得突破,5奈米工藝達到國際水平”、“風華半導體:在封鎖中崛起”、“中國晶片裝備的自主之路”。
這些報道起了作用。網路上的負面聲音被壓下去一些,眾籌平臺也解凍了資金。
但韓風知道,這只是暫時的平靜。真正的風暴在試用現場。
試用前一天晚上,韓風召集核心團隊開了最後一次動員會。
“明天,我們的裝置就要運往中芯國際了。”韓風看著大家,“這意味著甚麼,大家都清楚。成功了,EUV就有了未來;失敗了,我們這三年的努力可能白費。”
“我不給大家壓力,因為壓力已經夠大了。我只想說,無論結果如何,你們都是英雄。這三年來,你們付出了太多,犧牲了太多。我韓風,謝謝大家。”
韓風深深鞠躬。
會議室裡很安靜,很多人眼眶紅了。
張建國站起來:“韓總,別這麼說。能參與EUV專案,是我們的榮幸。明天這一仗,我們一定贏!”
“對,一定贏!”大家齊聲說。
“好!”韓風直起身,“那我們就讓所有人看看,風華半導體是怎麼在絕境中殺出一條血路的!”
散會後,韓風讓大家都回去休息,養精蓄銳。但他自己留了下來,一個人來到車間。
裝置已經裝箱,明天一早就要運走。韓風輕輕撫摸著包裝箱,像在撫摸自己的孩子。
這臺裝置,凝聚了太多人的心血,承載了太多人的夢想。
“夥計,靠你了。”他輕聲說,“明天,你要證明,中國也能做出世界級的EUV。”
裝置靜靜地在包裝箱裡,彷彿在回應。
手機震動,是周曉白。
“韓風,你還在公司?”
“嗯,馬上回去。”
“別太晚了,明天還要早起。”周曉白說,“我給你燉了湯,回來喝點。”
“好。”
回到家,已經十一點了。周曉白還在等他,湯在鍋裡溫著。
“明天裝置就要運走了?”周曉白問。
“嗯。”韓風喝著湯,“曉白,我有點緊張。”
“正常。”周曉白握住他的手,“但你要相信自己的團隊,相信你們的技術。這三年的努力,不會白費的。”
“希望如此。”
“一定會成功的。”周曉白堅定地說,“韓風,你知道嗎?我最佩服你的,就是你從不放棄。不管多難,你都堅持下來了。這一次,也一樣。”
韓風看著她溫柔的眼神,心中湧起一股暖流:“曉白,謝謝你。這些年,委屈你了。”
“不委屈。”周曉白搖頭,“能陪你一起奮鬥,是我的幸福。韓風,不管明天結果如何,你都是我的驕傲。”
兩人相擁,久久沒有說話。
這一夜,韓風睡得很踏實。因為知道,無論成敗,家裡總有一盞燈為他亮著。
第二天早上六點,韓風就來到了公司。裝置已經裝車,團隊整裝待發。
“出發!”韓風一聲令下,車隊緩緩駛出研究院。
中芯國際的工廠在燕京郊區,車程一個小時。路上,韓風接到韓雪的電話。
“哥,我和拍攝團隊已經在路上了。”韓雪說,“我要記錄這歷史性的一刻。”
“好,但要注意安全,別影響正常工作。”
“明白!”
七點半,車隊到達中芯國際。王總親自在門口迎接。
“韓總,歡迎。”王總握手,“裝置直接運到潔淨車間,我們的工程師已經準備好了。”
“好。”
裝置卸車、搬運、安裝,花了三個小時。中午十二點,裝置安裝完畢,開始除錯。
風華半導體的工程師和中芯國際的工程師一起工作,檢查每一個系統,測試每一個引數。
韓風站在車間外,透過玻璃窗看著裡面忙碌的身影。他的手心全是汗。
陳雪茹走過來:“韓總,別擔心,除錯很順利。”
“工藝材料準備好了嗎?”
“準備好了,中芯國際提供的測試矽片,和我們實驗室用的是同一批次。”
下午兩點,除錯完成。裝置進入預熱狀態,準備進行第一次工藝測試。
“韓總,可以開始了。”張建國彙報。
韓風深吸一口氣:“開始。”
所有人屏住呼吸。工程師按下啟動按鈕,裝置開始執行。鐳射器發出微弱的光芒,工作臺緩緩移動,真空系統發出低沉的嗡鳴。
十分鐘後,第一次曝光完成。晶片被取出,送往檢測室。
等待結果的時間,像是一個世紀那麼漫長。
韓風站在檢測室外,能聽到自己的心跳。成敗在此一舉。
二十分鐘後,檢測室的門開了。中芯國際的工藝工程師走出來,臉色凝重。
韓風的心一沉。
“結果......怎麼樣?”他問。
工藝工程師看著韓風,突然笑了:“成功了!5奈米線條,清晰完整,完全合格!”
“真的?”韓風不敢相信。
“真的!您自己看!”
韓風衝進檢測室,看到電子顯微鏡下的影象——5奈米的線條整齊排列,邊緣清晰,完全符合要求。
“成功了!”他激動地擁抱身邊的張建國。
“成功了!”團隊歡呼起來。
王總也進來了,看著檢測結果,連連點頭:“好,好!韓總,恭喜!”
“謝謝王總給我們這個機會!”
第一次測試成功,讓大家信心大增。接下來進行了連續十次測試,全部成功。
“韓總,裝置穩定性很好。”中芯國際的工程師說,“比我們預想的還要好。”
韓風長出一口氣。最難的關過了。
試用將持續一個月,進行各種工藝驗證和穩定性測試。但只要第一次成功,後面的問題就好解決了。
晚上,中芯國際安排了慶功宴。王總舉杯:“韓總,今天的結果證明了,國產EUV是可行的。我代表中芯國際,正式宣佈,試用期結束後,我們將採購五臺裝置!”
掌聲雷動。
韓風激動地說:“謝謝王總的信任!我們一定不負所托,提供最好的裝置,最好的服務!”
宴會上,大家開懷暢飲。三年的艱辛,在這一刻得到了回報。
韓風喝了不少酒,但頭腦清醒。他知道,這只是一個開始。後面還有量產、交付、維護、升級......路還很長。
但至少,他們邁出了最關鍵的一步。
宴會結束後,韓風回到公司。雖然已經晚上十點,但很多員工還沒走,都在等訊息。
看到韓風回來,大家圍上來。
“韓總,怎麼樣?”
韓風看著一張張期待的臉,大聲宣佈:“試用成功了!中芯國際決定採購五臺裝置!”
“太好了!”
“我們成功了!”
“國產EUV萬歲!”
歡呼聲、掌聲、哭聲......各種聲音交織在一起。很多人相擁而泣,三年的壓力在這一刻釋放。
韓風也眼眶溼潤。這一路走來,太不容易了。
“大家靜一靜。”韓風說,“今天成功,是所有人的功勞。我宣佈,這個月所有人發雙倍工資,發專案獎金!”
“韓總萬歲!”
慶祝持續到深夜。韓風讓大家都回去休息,明天還要繼續工作。
他一個人留在辦公室,給周曉白打電話。
“曉白,我們成功了。”
“我知道,小雪告訴我了。”周曉白的聲音帶著笑意,“韓風,恭喜你。”
“謝謝。曉白,我想你了。”
“我也想你。等你回來。”
掛了電話,韓風走到窗前。夜色中的燕京城,燈火璀璨。
他想起了三年前,那個一無所有的開始。想起了無數個不眠之夜,想起了攻克難關的喜悅,想起了團隊奮鬥的身影。
這一切,都值得。
手機又響了,是方婷。
韓風猶豫了一下,接了。
“恭喜。”方婷的聲音聽不出情緒。
“謝謝。”
“韓風,你贏了這一局。”方婷說,“但遊戲還沒結束。ASML已經決定,在華國市場降價30%,和你們打價格戰。你們那點成本優勢,蕩然無存了。”
韓風心中一沉,但語氣平靜:“那就打吧。我們不怕競爭。”
“還有。”方婷繼續說,“我在聯絡其他晶片製造企業,說服他們不要採購你們的裝置。中芯國際買了,不代表其他企業也會買。”
“方婷,何必呢?”韓風說,“你已經贏了那麼多,為甚麼非要和我們過不去?”
“因為我不允許你離開我。”方婷的聲音突然激動起來,“韓風,你是我的,只能是我的。如果你不屬於我,那我就要毀掉你的一切。”
“你瘋了。”
“我是瘋了,被你逼瘋的。”方婷掛了電話。
韓風放下手機,心情複雜。方婷的執念,已經變成了偏執。這樣的人,甚麼事都做得出來。
但他不怕。經歷了這麼多,他已經無所畏懼。
第二天,行業媒體鋪天蓋地報道了風華半導體試用成功的訊息。
“國產EUV首次商用測試成功,打破國外壟斷!”
“風華半導體獲中芯國際五臺訂單,國產晶片裝備崛起!”
“從零到一:中國EUV的逆襲之路!”
這些報道引起了巨大反響。很多晶片製造企業主動聯絡風華半導體,表示有興趣試用或採購。
大基金的第二批資金也到位了,五個億。王總打電話說:“韓總,董事會看到了你們的成果,決定追加投資。好好幹!”
“一定!”
形勢一片大好。但韓風沒有鬆懈。他知道,真正的挑戰剛剛開始。
量產五臺裝置,需要擴大產能,需要培訓團隊,需要建立售後服務體系。這些都是全新的課題。
他召開了戰略會議。
“現在,我們進入了新的階段。”韓風說,“從研發轉向研發+製造+服務。我們要建立完整的產業體系。”
“我宣佈幾項決定:第一,成立製造事業部,張總負責,擴大產能,建立質量管理體系。第二,成立工藝支援部,陳總監負責,為客戶提供工藝開發和最佳化服務。第三,成立售後服務部,趙工負責,建立快速響應機制。第四,成立市場銷售部,我親自抓,開拓市場,擴大份額。”
“我們的目標很明確:三年內,佔領國內EUV市場30%的份額;五年內,推出下一代產品,達到國際領先水平;十年內,成為全球頂尖的半導體裝備企業!”
“大家有沒有信心?”
“有!”
團隊鬥志昂揚。新的征程開始了。
韓風知道,這條路依然充滿挑戰。ASML的價格戰,方婷的暗中破壞,國際技術封鎖,自身的技術短板......每一個都是難題。
但他相信,只要團隊在,夢想在,就沒有過不去的坎。
中國的EUV,一定會走向世界。
中國的晶片,一定會崛起。
而他和他的團隊,將是這個歷史的見證者和創造者。
夜深了,韓風還在辦公室工作。桌上是厚厚的檔案——生產計劃、工藝方案、市場分析、財務預算......
雖然累,但心裡踏實。
因為夢想,正在一步步變成現實。
窗外,星光閃爍。
就像EUV之路,雖然曲折,但總有光亮。
韓風相信,只要堅持走下去,就一定能到達彼岸。
一定。