十月,燕京的秋意已濃。香山的紅葉開始變紅,但韓風無暇欣賞。第二次中期評估在即,他忙著準備材料,核對資料,模擬答辯。
這天下午,他正在辦公室審閱技術報告,林曉敲門進來,臉色有些古怪。
“韓總,有人找您。”林曉說,“她說她叫陳雪茹,是您的老同學。”
陳雪茹?韓風愣了一下。這個名字,已經很多年沒聽過了。高中時的同桌,大學時的校友,曾經有過一段朦朧的感情。後來她去了美國留學,就漸漸斷了聯絡。
“她怎麼找到這裡的?”韓風問。
“她說是在新聞上看到‘風鵬計劃’的報道,特意回國來找您的。”林曉說,“現在在接待室,您要見嗎?”
韓風猶豫了一下。這個時候見老同學,不太合適。但人家特意找來,不見又不禮貌。
“請她進來吧。”
幾分鐘後,一個穿著得體職業裝的女人走進來。三十多歲的年紀,保養得很好,氣質優雅,但眼神中透著疲憊。
“韓風,好久不見。”陳雪茹微笑著伸出手。
“雪茹?真的是你?”韓風有些驚訝。十幾年不見,她變化很大,從青澀的少女變成了成熟的女性,但眉眼間還能看出當年的影子。
兩人握手,坐下。林曉識趣地退出去,關上門。
“聽說你在做EUV?”陳雪茹開門見山,“我在美國的新聞上看到了報道,很震撼。所以回來看看,能不能幫上忙。”
“你在美國做甚麼?”韓風問。
“我在英特爾工作了十年,負責工藝整合。”陳雪茹說,“最近剛離職,準備回國發展。”
英特爾?工藝整合?韓風心中一動。這正是他們需要的人才。EUV不僅是裝置問題,還有工藝問題——如何用EUV製造晶片,需要大量的工藝經驗。而陳雪茹在英特爾這樣的巨頭工作了十年,經驗豐富。
“你為甚麼離職?”韓風謹慎地問。
陳雪茹苦笑:“幾個原因吧。一是想回國了,父母年紀大了,需要人照顧。二是在那邊遇到了天花板,華人做到中層就很難再往上走了。三是......”她頓了頓,“我想做點有意義的事。在英特爾,我只是流水線上的一顆螺絲釘。回來參與EUV,可能是改變產業格局的機會。”
這話打動了韓風。想做有意義的事,這正是他團隊很多人的心聲。
“你瞭解我們的專案嗎?”他問。
“瞭解一些。”陳雪茹說,“我研究了所有公開資料,也託國內的朋友打聽過。你們很不容易,能在這麼短時間內做到這個程度,很了不起。但我也知道,你們缺工藝經驗。EUV裝置造出來,還要有人會用,有工藝支援,才能真正製造晶片。”
“你說得對。”韓風點頭,“我們確實缺這方面的人才。但雪茹,我要說實話,我們這裡條件艱苦,待遇也比不上英特爾。而且壓力很大,很多人都不看好我們。”
“如果我看重待遇,就不會回來了。”陳雪茹說,“韓風,你知道我為甚麼找你嗎?因為我相信你。高中時你就和別人不一樣,有想法,敢行動。現在你做的事,證明了我沒看錯人。”
韓風有些感動。這麼多年過去了,還有人記得當年的他。
“謝謝你信任我。”他說,“但這件事,我需要和團隊商量。你畢竟剛從英特爾出來,有些敏感。我們要做好背景審查,也要考慮可能的技術限制。”
“我理解。”陳雪茹說,“我可以等。另外,我這次回來,不是一個人。我在英特爾有幾個華人同事,也有回來的意向。他們都是在工藝、裝置、材料方面的專家。如果我們能組成一個團隊,對你們的幫助會更大。”
這真是個好訊息。一個人回來,和帶一個團隊回來,效果完全不同。
“他們甚麼時候能到?”韓風問。
“最快一個月。”陳雪茹說,“但前提是,這裡要有讓他們安心的條件。不是錢的問題,是平臺、機會、意義。他們和我一樣,在那邊做得再好,也是給別人打工。回來參與自主創新,這種成就感,是錢買不到的。”
“我明白。”韓風說,“這樣,你先在燕京住下,我安排人帶你參觀研究院,見見團隊。如果你和團隊互相認可,我們再談具體的合作。”
“好。”陳雪茹起身,“韓風,謝謝你還願意見我。我知道你現在很忙,壓力很大。但請相信,我不是來添亂的,是來幫忙的。”
“我相信。”韓風送她到門口。
陳雪茹離開後,韓風立即召開核心團隊會議,通報了這個情況。
“陳雪茹?我聽說過她。”李教授說,“她在英特爾是資深工程師,發表過不少論文,在工藝整合方面很有建樹。如果她能來,對我們的工藝開發會有很大幫助。”
“但她是英特爾出來的,會不會有技術限制?”張建國擔心,“美國對華技術封鎖很嚴,從英特爾出來的人,可能要受到競業禁止和技術保密協議的限制。”
“這個我問過了。”韓風說,“她已經離職三個月,競業禁止期已過。至於技術保密,她說她會遵守協議,不帶來英特爾的專有技術。但她個人的經驗、知識、方法論,是可以用的。”
“那她帶來的團隊呢?”趙工問。
“同樣的情況。”韓風說,“都是華人工程師,在英特爾工作多年,經驗豐富。他們願意回來,是因為想參與自主創新,想做有意義的事。”
團隊討論了很久。最終,大家一致認為,可以接受陳雪茹和她的團隊,但要做好管理和保密工作。
“他們來了之後,不能立即接觸核心技術。”張建國建議,“先安排他們在外圍工作,觀察一段時間。如果沒問題,再逐步深入。”
“我同意。”李教授說,“但也要給予足夠的信任和尊重。這些人是放棄了國外的優厚條件回來的,如果感受到不信任,可能會寒心。”
韓風點頭:“我明白。這件事我來把握。”
接下來的一週,陳雪茹參觀了研究院,見了團隊的主要成員。她表現得很專業,問的問題都在點子上,提的建議也很中肯。
“你們的光學系統做得很好,但工藝匹配性可能有問題。”在參觀樣機時,她對李教授說,“EUV的光刻工藝很敏感,對材料的均勻性、表面的清潔度、環境的穩定性要求極高。你們在裝置層面解決了問題,但工藝層面還需要大量工作。”
“你說得對。”李教授說,“我們正在組建工藝團隊,但缺乏經驗。如果你能來,這塊就能快速突破。”
“我願意。”陳雪茹說,“但我有個條件——我要有足夠的自主權。工藝開發是一個系統工程,需要統籌裝置、材料、環境、人員。如果處處受制,很難做出成果。”
“這個可以談。”韓風說。
經過幾次深入交流,雙方達成了共識。陳雪茹擔任工藝開發總監,帶一個五人團隊加入。待遇不是最高,但有充分的自主權和決策權。她的團隊負責將EUV裝置轉化為可用的生產工藝,目標是六個月內,拿出完整的工藝方案。
簽約那天,陳雪茹感慨地說:“韓風,謝謝你給我這個機會。在英特爾十年,我學到了很多,但也失去了很多。現在回來,像是找到了根。”
“歡迎回家。”韓風真誠地說。
陳雪茹和團隊的加入,像一股新鮮血液,給研究院帶來了新的活力。他們帶來了國際先進的工藝理念和方法論,也帶來了嚴謹的工作習慣和系統思維。
工藝開發很快步入正軌。陳雪茹組織團隊,制定了詳細的工藝開發計劃,從基礎研究到工程驗證,從單步工藝到整合流程,每一步都有明確的目標和時間節點。
“EUV工藝的關鍵是穩定性。”她在第一次工藝會議上說,“奈米級的精度,意味著任何微小的波動都會影響結果。我們要做的,不是追求最高的效能,而是追求最穩的效能。穩了,才能量產,才能商用。”
這個思路得到了團隊的認同。之前他們過於追求效能引數,忽視了穩定性問題。陳雪茹的到來,糾正了這個偏差。
工藝開發迅速展開。材料組研究光刻膠的特性,裝置組最佳化工藝引數,環境組控制潔淨度,整合組協調各環節。大家分工合作,效率很高。
一個月後,工藝團隊拿出了第一版工藝方案。在樣機上進行了首次工藝驗證,結果令人振奮——28奈米線條的光刻成功率達到了百分之九十,14奈米達到了百分之八十五,7奈米達到了百分之八十。
雖然還有提升空間,但已經證明了工藝的可行性。
“很好!”韓風在工藝評審會上說,“這個起點很高。接下來,我們要最佳化,要穩定,要可重複。”
“我們已經在做。”陳雪茹彙報,“第二版工藝方案重點解決穩定性問題。我們引入了統計過程控制(SPC),實時監控關鍵引數,及時發現和糾正偏差。目標是將波動控制在正負百分之五以內。”
“需要甚麼支援?”
“更多的測試機會。”陳雪茹說,“工藝開發需要大量的實驗資料。我們請求增加樣機的工藝測試時間,從現在的每天八小時增加到每天十六小時。”
“可以。”韓風拍板,“工程樣機的測試已經基本完成,可以轉入工藝開發階段。從明天起,樣機白天做工藝測試,晚上做裝置維護。我們要搶時間。”
有了韓風的支援,工藝開發加速推進。陳雪茹和團隊吃住在研究院,每天工作十四五個小時。她的專業和敬業,很快贏得了團隊的尊重。
但也不是一帆風順。一次工藝實驗中,由於操作失誤,導致一批珍貴的測試矽片報廢,損失幾十萬元。負責的年輕工程師很自責,提出了辭職。
“失誤是難免的。”陳雪茹在團隊會議上說,“我在英特爾時,也犯過更嚴重的錯誤。關鍵不是不犯錯,而是從錯誤中學習。這批矽片報廢了,但我們知道了那個操作不能那麼做。這個經驗,值幾十萬。”
她的話讓團隊釋然。年輕人收回了辭職信,表示會更加小心。
這件事讓韓風看到了陳雪茹的領導能力。她不僅有技術,還有管理智慧,懂得如何帶團隊,如何營造氛圍。
隨著工藝開發的深入,陳雪茹和團隊的貢獻越來越大。他們不僅解決了具體的工藝問題,還建立了一套完整的工藝開發體系,包括文件管理、資料採集、分析流程、知識積累。這套體系,對未來的量產至關重要。
第二次中期評估前夕,工藝團隊完成了第三版工藝方案。在樣機上進行了連續一百次的工藝驗證,成功率穩定在百分之九十五以上,波動控制在正負百分之三以內。
“這個資料,已經達到了量產要求。”陳雪茹在彙報時說,“當然,這只是在樣機上的小批次驗證。真正的大規模量產,還需要更多的最佳化。但至少證明,我們的裝置是能用的,我們的工藝是可行的。”
韓風很滿意。有了工藝資料,中期評估就更有底氣了。他們不僅可以展示裝置效能,還可以展示工藝能力,展示從裝置到工藝的完整解決方案。
評估前一天晚上,陳雪茹找到韓風。
“韓風,有件事我要告訴你。”她的表情有些嚴肅,“我收到一封郵件,是英特爾的前同事發來的。他說,公司正在調查我的離職,懷疑我帶了技術回國。可能要對我提起訴訟。”
韓風心中一緊:“嚴重嗎?”
“目前還不清楚。”陳雪茹說,“但我沒有帶走任何技術資料,所有的工藝方案都是我們自己開發的。他們告不贏,但可能會製造麻煩。”
“你需要甚麼幫助?”
“我需要一個律師,熟悉國際智慧財產權法律的。”陳雪茹說,“另外,我們的工藝開發要做好記錄,證明所有的成果都是我們自己研發的,沒有使用英特爾的專有技術。”
“我馬上安排。”韓風說,“雪茹,謝謝你。為了回來,你承擔了風險。”
“值得。”陳雪茹微笑,“韓風,你知道嗎?這幾個月,是我職業生涯中最累但也最有成就感的幾個月。看著一個個工藝難題被攻克,看著資料一點點變好,那種成就感,是在英特爾十年都沒有過的。”
“這就是自主創新的魅力。”韓風說,“雖然難,雖然苦,但每一步都是自己的,每一份成就都是實實在在的。”
“是的。”陳雪茹點頭,“所以我不後悔。就算他們起訴,我也不怕。我沒有做錯任何事,我只是回到了自己的國家,為自己的產業做貢獻。”
看著陳雪茹堅定的眼神,韓風心中充滿敬意。這就是中國的科技人——有情懷,有擔當,有勇氣。
第二天,中期評估如期舉行。韓風帶著團隊,展示了裝置效能資料和工藝驗證結果。當螢幕上出現“工藝成功率95%,波動±3%”的資料時,評審專家們都露出了讚許的表情。
“從裝置到工藝,你們形成了完整的解決方案。”王院士總結時說,“這很不容易。很多企業能做裝置,但做不好工藝;能做工藝,但做不好裝置。你們兩者都做到了,而且做得很好。”
“這都是團隊的功勞。”韓風說,“我們有最好的裝置工程師,最好的工藝工程師,最好的材料科學家。大家同心協力,才有了今天的成果。”
“後續有甚麼計劃?”
“接下來是工程樣機的最佳化和量產機型的開發。”韓風彙報,“我們計劃用一年時間,完成工程樣機的所有驗證;再用兩年時間,推出第一代量產機型。目標是在三年內,實現EUV的國產化替代。”
“有信心嗎?”
“有!”韓風堅定地說,“因為我們的團隊,我們的精神,我們的決心。”
評估順利透過。評審組決定,撥付剩餘的五億資金,支援後續開發。同時,將“風鵬計劃”升級為國家重點專項,給予更多的政策支援。
訊息傳來,團隊歡欣鼓舞。這是對他們工作的肯定,也是對未來道路的認可。
深夜,韓風站在研究院的樓頂,看著滿天的繁星。陳雪茹走到他身邊。
“想甚麼呢?”她問。
“想這一路走來的不易。”韓風說,“從一無所有,到原理樣機,到工程樣機,到工藝驗證。每一步都很難,但每一步都走過來了。”
“因為有你在前面領著。”陳雪茹說,“韓風,你有一種特殊的魅力,能讓所有人相信,跟著你走,就能走到想去的地方。”
“不是我一個人的功勞。”韓風說,“是大家的努力,是國家的支援,是時代的機遇。”
“但你抓住了機遇。”陳雪茹看著他的側臉,“韓風,我有時在想,如果當年我沒有出國,我們會怎樣?”
韓風愣了一下,隨即笑了:“過去的事,就讓它過去吧。重要的是現在,是未來。我們現在是戰友,在為同一個目標奮鬥。這種關係,比甚麼都珍貴。”
“你說得對。”陳雪茹也笑了,“戰友,這個詞好。那韓總,接下來有甚麼指示?”
“繼續攻關。”韓風望向遠方,“我們要做出真正的EUV,不比任何人差的EUV。為了這個目標,我們要繼續努力。”
“是,韓總!”
兩人相視而笑。星光下,兩個曾經的少年,如今的中堅,為了一個共同的夢想,並肩而立。
晶片之路,雖然漫長,但他們已經有了清晰的路徑,有了強大的團隊,有了國家的支援。
接下來的路,會更容易嗎?不會。
但他們會走得更堅定,更從容。
因為希望在前,光明在前。