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第620章 第618章 技術瓶頸

2025-12-18 作者:青衫醉雲畫

風華半導體研究院的深夜裡,燈光依舊通明。

材料實驗室裡,李振華教授盯著顯微鏡,眉頭緊鎖。旁邊的工作臺上,散落著幾十個玻璃皿,每個裡面都裝著不同配比的材料樣品。有的顏色暗淡,有的表面粗糙,有的已經開裂。

“還是不行。”李教授直起身,揉了揉發酸的眼睛,“第三十七次實驗,光譜特性還是達不到要求。”

助手小陳遞過來一杯濃茶:“教授,您已經連續工作了十八個小時,休息一會兒吧。”

“沒時間休息。”李教授接過茶杯喝了一口,“光源材料是EUV的命門,這個坎過不去,後面的一切都是空談。”

他看著那些失敗的樣品,心中湧起一股無力感。在美國的實驗室,他有最先進的裝置,最純的原料,最全的資料庫。可在這裡,裝置是二手的,原料要自己提純,資料要自己積累。每一項實驗,都要付出幾倍的努力。

“教授,要不要試試那個思路?”小陳小心翼翼地問。

“哪個思路?”

“就是您昨晚說的,用多層薄膜結構,模擬單一材料的特性。”小陳說,“雖然工藝複雜,但至少理論上可行。”

李教授沉思著。這個思路是他昨晚突發奇想想出來的,但實現難度極大。需要精確控制每一層薄膜的厚度,誤差不能超過奈米級別。以他們現有的裝置,幾乎不可能做到。

“裝置精度不夠。”他搖頭。

“我們可以改造裝置。”一個聲音從門口傳來。

張建國走了進來,手裡拿著幾份圖紙:“李教授,你看這個。我們的機械工程師設計了新的夾具和控制系統,能把現有鍍膜機的精度提高一個數量級。”

李教授接過圖紙,仔細研究。圖紙設計得很巧妙,用機械補償的方式,彌補了裝置精度的不足。雖然比不上最先進的裝置,但確實有可能實現奈米級的控制。

“誰設計的?”他驚訝地問。

“小王,就是那個提出降頻方案的年輕人。”張建國笑道,“他說既然買不到好裝置,就把現有的裝置改造到最好。”

李教授感慨:“真是江山代有才人出啊。好,就按這個方案試試。小陳,準備材料,我們今晚就做第一次試驗。”

“是!”小陳興奮地跑向庫房。

張建國看著李教授佈滿血絲的眼睛,忍不住勸道:“教授,您還是休息一下吧。這樣連軸轉,身體會垮的。”

“張總,你不也在連軸轉嗎?”李教授反問,“我剛才路過光學實驗室,看到你帶著人在除錯鏡面拋光機,也是通宵吧?”

張建國苦笑:“沒辦法,時間不等人啊。韓總那邊壓力很大,手機業務等不起。我們早一天突破,風華就早一天擺脫困境。”

兩人相視苦笑。他們都是經歷過困難年代的人,知道甚麼是“爭氣”。只是這一次,爭的不只是一口氣,更是一個產業的未來。

凌晨三點,材料實驗室裡依然燈火通明。改造後的鍍膜機發出低沉的嗡鳴聲,機械臂在精密導軌上移動,將一層層薄膜沉積在基片上。

李教授和小陳緊緊盯著監控螢幕,上面的資料曲線如同心跳般波動。

“第一層完成,厚度偏差百分之零點三。”

“第二層完成,厚度偏差百分之零點二。”

“第三層......”

當第十二層薄膜沉積完成時,小陳激動地喊道:“教授,成功了!十二層薄膜,總厚度偏差控制在百分之一以內!”

李教授看著螢幕上的資料,長長舒了一口氣。雖然離理想值還有差距,但至少證明這個思路是可行的。

“取樣,做光譜分析。”他吩咐道。

半小時後,分析結果出來了。看著光譜曲線,李教授的眼睛亮了:“接近了!雖然還沒達到EUV的要求,但比之前的任何樣品都接近!”

他立即撥通韓風的電話,儘管現在是凌晨四點。

“韓總,好訊息。”李教授的聲音因為興奮而有些顫抖,“我們在光源材料上取得了突破。雖然還沒完全成功,但找到了正確的方向。”

電話那頭,韓風顯然也被吵醒了,但聲音立刻清醒:“太好了!李教授,需要甚麼支援,儘管說。”

“我們需要更純的原料,還有更精密的檢測裝置。”李教授說,“另外,我想成立一個專門的工藝組,研究如何把實驗室成果轉化為量產工藝。”

“沒問題。我讓蘇總全力配合。原料和裝置,不計成本,儘快採購。”韓風頓了頓,“教授,您要注意身體。突破很重要,但您的健康更重要。”

“我沒事。”李教授笑道,“有了進展,比睡甚麼覺都解乏。”

掛掉電話,李教授對小陳說:“把資料整理好,明天上午開組會,討論下一步方案。”

“教授,您不去睡一會兒?”

“睡不著。”李教授看著窗外漸亮的天色,“天快亮了,正好看看日出。”

兩人走到樓頂,東方的天空已經泛起了魚肚白。晨風吹來,帶著草木的清香。

“小陳,你後悔回來嗎?”李教授突然問。

小陳愣了一下,然後搖頭:“不後悔。雖然這裡條件艱苦,但做的事情有意義。在美國,我永遠是個助手,做的永遠是別人分配的工作。在這裡,我能參與創造,能見證歷史。”

“說得好。”李教授拍拍他的肩膀,“我們這一代人,見證了國家從貧窮到富強。你們這一代人,要見證國家從跟跑到領跑。這是我們的幸運,也是我們的責任。”

太陽從地平線上升起,金色的陽光灑滿大地。新的一天開始了,新的戰鬥也將開始。

同一時間,光學實驗室裡,張建國和團隊也取得了進展。

經過無數次失敗,他們終於摸索出了一套獨特的鏡面拋光工藝。雖然效率很低,但加工出的鏡面平整度,已經接近EUV的要求。

“張總,你看這個資料。”一個年輕工程師興奮地指著螢幕,“表面粗糙度達到了0.1奈米,比我們之前的最好成績提高了十倍!”

張建國仔細看著資料,心中激動不已。光學系統是EUV的另一個關鍵,鏡面的平整度直接決定了光刻的精度。這個突破,意味著他們離目標又近了一步。

“怎麼做到的?”他問。

“我們改進了拋光液的配方,加入了奈米金剛石顆粒。”工程師解釋道,“另外,小王設計的那個自適應夾具也起了作用,能實時調整壓力,保證拋光均勻。”

又是小王。張建國感慨,這個年輕人真是個天才。不僅在晶片設計上有想法,在裝置改造上也有創意。

“通知所有人,上午開慶功會。”張建國說,“雖然離最終目標還有距離,但每一個進步都值得慶祝。”

上午九點,研究院的小會議室裡坐滿了人。雖然每個人臉上都寫著疲憊,但眼中都閃著光。

李教授首先彙報了材料組的進展,張建國彙報了光學組的突破。接著,系統整合組也報告了他們的進展——透過改造多臺舊裝置,他們搭建了一個簡易的EUV原理驗證平臺,雖然功能不全,但至少能驗證各個模組的協調性。

韓風透過影片參加了會議。聽完彙報,他沉默了很久。

“各位,”他緩緩開口,“我知道你們很辛苦,知道你們付出了多少。但我想說的是,你們的每一個突破,都不只是技術上的突破,更是信心上的突破。”

“我們證明了,即使條件艱苦,即使裝置落後,中國人也能做出世界級的技術。我們證明了,自主創新不是口號,是實實在在的行動。”

他的聲音變得堅定:“接下來,我會為你們爭取更多的資源,更好的條件。但最重要的是,你們要繼續保持這種勁頭,這種不服輸的精神。”

“晶片這場仗,我們一定要打贏。不為別的,就為證明,中國人能做到,中國民營企業能做到!”

掌聲在會議室裡響起,經久不息。

會議結束後,韓雪找到哥哥:“三哥,我有個想法。”

“說。”

“我們應該建立一個知識庫。”韓雪說,“把所有的實驗資料、失敗經驗、成功案例都記錄下來。這樣即使有人離開,知識也不會流失。而且能幫助新加入的人快速上手。”

“好主意。”韓風讚賞道,“你負責這件事。不僅要建知識庫,還要建立培訓體系。我們要培養出一支能打硬仗、能打持久戰的隊伍。”

“明白!”

離開研究院,韓風的心情好了很多。雖然前路依然艱難,但至少看到了希望。就像在黑暗中行走,終於看到了遠處的一絲光亮。

手機響了,是周曉白。

“韓風,今天是小雪兒的生日,你記得嗎?”

韓風一愣,隨即懊惱地拍了下額頭。最近太忙,把女兒的生日都忘了。

“我記得我記得。”他連忙說,“晚上一定回去。你幫我訂個蛋糕,要小雪兒最喜歡的巧克力口味。”

“蛋糕我早訂好了。”周曉白笑道,“你人能回來就行。小雪兒說,不要禮物,只要爸爸陪她吃蛋糕。”

韓風心中一暖:“我一定回去。”

掛掉電話,他看著車窗外飛逝的街景。這座城市每天都在變化,每個人都在為生活奔忙。而他要做的,就是讓這些奔忙的人,能用上自己國家生產的晶片。

這個目標很大,很難。

但他相信,只要方向對,路再遠也能走到。

就像此刻,雖然還在黑暗中摸索,但已經有了光的方向。

而這束光,將照亮前路,也照亮這個產業的未來。

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