搞定宣發和youtube,林平安又進入了長時間的開發模式。
五月底的深圳,雨季剛過,空氣中透著一股溼熱的躁動。
觀瀾光刻城一號總裝車間內,那種躁動被徹底隔絕在厚重的防爆牆之外,取而代之的是一種近乎凝固的死寂。
一臺足有兩層樓高、佔地幾十平方米的銀白色巨獸,靜靜地矗立在超淨間的中央。
它有著複雜的管路、精密的鏡頭組、以及那個被無數工程師視為“禁區”的核心部件——浸沒式光刻頭。
這就是代號“盤古”的國產首臺浸沒式光刻機原型機。
此時此刻,它像是一頭沉睡的巨龍,等待著最後的喚醒。
現場的氣氛壓抑得讓人喘不過氣來。
彼得雙手死死地抓著控制檯的邊緣,他的額頭上滲出了細密的汗珠,儘管車間裡的恆溫系統一直維持在令人舒適的22度。
不僅是他,身後那幾十名來自全球各地的頂尖工程師,此刻也都像是等待宣判的囚徒。
有人在胸口畫著十字,有人在轉動手裡的筆,還有人在不停地吞嚥口水。
“First Light”(首光)。
這是光刻機制造領域最神聖、也最令人畏懼的詞彙。
它意味著這臺由十萬個零件組成的精密機器,將第一次真正通電、通光、通水,去挑戰物理學的極限。
一旦失敗,可能意味著無數個日夜的努力化為泡影。
“老闆,所有子系統自檢完畢。”
何奇的聲音打破了死寂,“水迴圈系統正常,鐳射器預熱完成,工件臺……準備就緒。”
所有人的目光都集中到了那個站在總控臺前的年輕人身上。
林平安。
他依然穿著那身潔白的防塵服,護目鏡後的眼神平靜如水,彷彿他面對的不是人類工業皇冠上的明珠,而是一臺普通的微波爐。
“彼得,你看起來很緊張?”
林平安轉過頭,甚至還有心情調侃了一句。
“BOSS……這可是浸沒式!水和光,這兩種東西本來就是冤家!”彼得的聲音都在抖,“只要有一個氣泡,哪怕是微米級的氣泡,光路就會發生折射,曝光就會失敗!這就像是在每秒高速移動的過山車上穿針引線!”
“在別人那裡,是冤家。”
林平安轉過身,手指輕輕放在了那個紅色的“啟動”按鈕上。
“但在我這裡,它們是情人。”
林平安小聲開口,“小白,接管全系統。”
“明白,先生。”
耳機裡傳來小白那讓人無比安心的聲音,“流體力學模型載入完畢,熱透鏡效應補償演算法已就位,實時波前像差校正已啟動。”
“那就……點火。”
林平安的手指輕輕按下。
“嗡——”
一聲極低沉、極具穿透力的電流聲瞬間響徹車間。
這頭沉睡的巨獸,甦醒了。
“注水!”
隨著指令下達,那個最令人提心吊膽的環節開始了。
超純水透過特製的噴嘴,被注入到投影鏡頭和晶圓之間的那層狹小縫隙中。
那是隻有幾毫米的間隙!
水流必須形成一個完美、穩定、且隨著晶圓臺高速運動而不會破碎的“水膜”。
這就好比你要在疾馳的高鐵頂上頂著一杯水,還得保證水面連一絲漣漪都沒有。
大螢幕上,高速攝像機實時傳回了微觀視角的畫面。
彼得瞪大了眼睛,死死盯著螢幕。
“氣泡!千萬別有氣泡!”他在心裡瘋狂祈禱。
然而,畫面上的一幕讓他徹底傻眼了。
水流極其順滑地流過,在空氣氣簾的約束下,乖巧得像是一塊凝固的水晶。
沒有湍流。
沒有飛濺。
更沒有該死的氣泡!
“這……這流體控制……”彼得喃喃自語,“這簡直就是藝術!它是怎麼做到的?它是怎麼預判液體流向的?”
他不知道,在小白的算力世界裡,每一個水分子的運動軌跡都已經被模擬了上億次。
這就是“全知全能”。
“流場穩定。”林平安的聲音依舊平淡,“開始曝光。”
“滋——滋——滋——”
深紫色的ArF鐳射束穿過複雜的透鏡組,穿過那層完美的水膜,狠狠地撞擊在塗滿光刻膠的12寸晶圓上。
工件臺開始瘋狂移動。
那是令人眼花繚亂的速度,每秒鐘移動數百次,還要保持奈米級的定位精度。
“這就是所謂的‘加強版雙工件臺’技術?”
旁邊的一個德國工程師看得目瞪口呆,“這速度比以前的ASML的還要快30%!而且穩得像磐石一樣!”
十分鐘。
僅僅十分鐘,一張晶圓曝光完成。
機械臂將其送入顯影機。
所有人都屏住了呼吸,等待著那個最終的判決。
顯影完成。
晶圓被送到了高倍電子顯微鏡下。
影象被投射到了中央大螢幕上。
那一刻。
車間裡響起了一片抽氣聲。
螢幕上,是一排排整齊、銳利、如同刀切豆腐般完美的電路圖。
線條筆直,邊緣清晰,沒有任何駐波效應,沒有任何線寬粗糙(LER)。
“測量線寬!”彼得吼道。
“線寬……!”
檢測員的聲音因為極度亢奮而破音了,“誤差……小於!套刻精度……2nm!”
“轟——!!!”
雖然車間裡禁止大聲喧譁,但此刻沒人顧得上了。
“成功了!我們成功了!”
“45奈米!一次成功!上帝啊!”
“這怎麼可能?我們居然一次就做到了完美?”
彼得衝到螢幕前,像個瘋子一樣撫摸著那張影象,眼淚奪眶而出。
“完美……這是我這輩子見過的最完美的光刻線條!這是工業的奇蹟!”
他轉過身,看著林平安的眼神裡充滿了狂熱的崇拜,就像是在看一個降臨凡間的神祗。
“老闆!您知道這意味著甚麼嗎?我們跨過了90奈米,跨過了65奈米,直接幹到了45奈米!”
“我們領先了世界整整一代!”
然而,林平安並沒有表現出太多的激動。
他只是看了一眼資料,微微皺眉。
“良品率才95%?”
他搖了搖頭,“不夠。”
“甚麼?95%還不購?”彼得差點一口氣沒上來,“老闆,這是原型機!第一次曝光!ASML以前的量產機良品率剛開始也才80%啊!”
“那是他們菜。”
林平安語氣淡然,卻狂妄至極。
“我們要做的,不是追趕,是碾壓。”
“小白,啟動‘光刻之神’模式。”林平安再次輕聲呼喚。
“收到,先生。正在進行全引數反向最佳化。”
下一秒。
螢幕上的資料開始瘋狂跳動。
那不是幾十個引數在變,那是幾億個變數在同時調整!
鐳射功率、焦距微調、液流速度、工件臺加速度、甚至連環境溫度的度波動……
小白透過機器學習,在幾秒鐘內完成了人類工程師需要數年才能完成的“校準迴圈”。
“最佳化完畢。引數已更新。”
“再來一次。”林平安下令。
第二張晶圓送入。
曝光。
顯影。
檢測。
當新的資料跳出來的時候,整個車間徹底安靜了。
那種安靜,是因為極度的震撼而導致的失語。
良品率:99.9%!
這是一個在半導體制造領域被稱為“神之領域”的數字。
這意味著,這臺機器生產出來的晶片,幾乎沒有廢品!
這意味著,成本將大幅降低,產能將爆炸式增長!
彼得的雙腿一軟,直接跪在了地上。
他看著那臺銀白色的巨獸,嘴唇哆嗦著:
“這不是機器……這是……這是神蹟……”
“幾分鐘……只用了幾分鐘就完成了幾年的校準……”
“老闆,您到底是甚麼人?”
林平安脫下護目鏡,露出一張年輕而英俊的臉龐。
他走到彼得面前,伸手將這位世界頂級的技術專家扶了起來。
“我?”
林平安笑了笑,拍了拍彼得的肩膀。
“我只是個相信科學的生意人。”
“彼得,別跪著了。以後這種場面還多著呢,你得習慣。”
他轉身,面向所有目瞪口呆的工程師和員工,張開雙臂。
“各位。”
“今天,我們創造了歷史。”
“我宣佈,中國第一臺,也是世界第一臺量產型浸沒式光刻機——”
“【盤古一號】。”
“正式下線!”
“譁——!!!”
掌聲、歡呼聲、尖叫聲,如同海嘯一般淹沒了整個車間。
有人把帽子扔向空中,有人互相擁抱痛哭,甚至有人激動得暈了過去。
太不容易了!
從被封鎖、被嘲笑、被質疑,到今天的一鳴驚人、一飛沖天!
他們僅僅用不到一年的時間,走完了西方三十年的路!
而在這片狂歡的海洋中心。
林平安依然保持著那份獨特的冷靜。
“盤古開天闢地。”
“從今天起,這片混沌的半導體世界,該由我們來重新定義規則了。”
他轉頭看向窗外。
那裡是南方。
是臺積電的廢墟,是ASML的灰燼。
“抱歉了,各位同行。”
“你們沒路走了。”
“因為路,都在我腳下。”
……
當天晚上。
慶功宴就在光刻城的食堂舉行。
沒有五星級酒店的奢華,但有最硬的菜,最烈的酒。
林平安端著酒杯,走到彼得那一桌外國專家面前。
這幫老外此刻已經喝嗨了,一個個面紅耳赤,在那兒用各種語言高呼“林總萬歲”。
“彼得。”
林平安敬了他一杯。
“老闆!”彼得趕緊站起來,有些大舌頭,“這酒……真帶勁!就像那臺機器一樣!”
“喜歡就好。”
林平安笑著說道,“不過,這只是個開始。”