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第365章 浸沒式光刻機?

圖紙上密密麻麻全是英文標註,繪製著極其複雜的機械結構圖。乍一看,像是某種精密的航天器內部構造。

站在一旁的彼得只是掃了一眼,眼珠子就差點瞪出來。他猛地撲到桌子上,顫抖著手指沿著圖紙上的線條劃過,嘴裡不可置信地喃喃自語:

“Oh my god... Immersion?(浸沒式?)”

“但這不對……這跟我們在荷蘭實驗室裡搞的不一樣!這個液流控制系統的設計……更簡潔,更合理,更高效!”

彼得猛地抬頭看向林飛羽,眼神中充滿了驚恐和狂熱:“BOSS!這是誰設計的?這一處的光路摺疊結構,解決了ASML困擾了整整三年的像差問題!這是天才的設計!不,這是上帝的設計!”

李副市長雖然聽不懂技術細節,但看彼得這個洋專家的反應,也知道這東西不得了。

“林先生,這到底是……”李副市長指著圖紙。

林飛羽微微一笑,手指輕輕點了點圖紙右下角的那個Logo。

那不是ASML的標誌。

而是一個由漢字“光”字變形而成的幾何圖形,下面寫著一行英文:Lithography Future(光刻未來)。

“這是世界上最先進的浸沒式光刻機全套設計圖。”

林飛羽語氣平淡,卻石破天驚:

“這是一家科技公司——‘光刻未來’(Lithography Future),秘密研發的成果。”

“哦,相關技術專利他們已經賣給了我。”

“它比ASML剛剛被燒燬的那幾臺原型機,還要先進整整一代。”

“什……甚麼?”科技局局長感覺腦子不夠用了,“光刻未來?咱們中國的公司?”

“沒錯,註冊在開曼,但核心技術團隊是華人的。”林飛羽開始一本正經地胡說八道,“至於你們擔心的智慧財產權問題……”

林飛羽冷笑了一聲,眼神中透著一股掌握真理的霸氣:

“李市長,各位領導。你們以為ASML為甚麼那麼急著造浸沒式樣機?”

“其實,關於浸沒式光刻的核心專利,早在03年前,就已經被‘光刻未來’在全球範圍內註冊完畢了。”

“ASML那是狗急跳牆,他們試圖繞過我們的專利壁壘,強行生產。”

“說句難聽的,就算ASML的工廠沒炸,就算他們真的把那是幾臺樣機造出來了,他們也賣不出去!因為那是侵權產品!”

“只要他們敢商用,光刻未來就敢在全世界任何一個法院起訴他們,讓他們賠得傾家蕩產!”

“轟——!”

會議室裡的人徹底被震住了。

這劇情反轉得太快了!

原本以為林飛羽是去“偷”了ASML的技術回來,結果現在變成了——ASML才是小偷,而核心技術和專利,原本就掌握在中國人手裡!

只是現在被賣給了對方。

這就完全不一樣了!

如果這技術是偷的,政府接手還有顧慮,怕引起國際糾紛。

但如果這技術本來就是咱們擁有專利的,是ASML侵權在先,那咱們在深圳建廠生產,就是天經地義!是拿回屬於自己的東西!

“林先生……您沒開玩笑?”李副市長激動得聲音都有點顫抖。

“我這有全套光刻未來的專利證書和法律檔案。”

林飛羽對外招了招手,保鏢立刻遞上來另一個厚厚的檔案袋。

“這就是底氣。”

林飛羽看著李副市長,眼神堅定:

“現在,ASML沒了,專利在我們手裡,最先進的圖紙(小白最佳化版)也在我們手裡。”

“我們不是在追趕,我們是在——領跑。”

說到這裡,林飛羽突然站起身,走到會議室牆上掛著的那幅巨大的深圳市規劃圖前。

他拿起一支紅色的馬克筆,在觀瀾那片待開發的區域,畫了一個巨大的圈。

那個圈,比之前的電池廠和螢幕廠加起來還要大好幾倍。

“李市長,各位領導。”

林飛羽轉過身,聲音變得低沉而充滿壓迫感:

“但我今天要談的,不僅僅是一臺光刻機。”

“如果只是造個殼子,哪怕核心技術有了,我們也還是會被人卡脖子。鏡頭(蔡司)、光源(Cymer)、光刻膠(JSR)、掩膜版……這些上下游的命脈,依然掌握在西方和日本人手裡。”

“我們就不能只做組裝廠。”

林飛羽手中的筆重重地點在那個紅圈上:

“我要做的,是全產業鏈閉環。”

“我要建的不是一個廠,而是一座城——‘光刻產業城’!”

“甚麼?全產業鏈?!”

在座的科技局局長和招商局領導們面面相覷,他們懂行,所以更覺得恐怖。這相當於要把ASML、蔡司、Cymer、JSR這些行業巨頭的活兒,一家公司全乾了?這在工業史上聞所未聞!

“沒錯。”林飛羽神色狂傲,“別人幹不了,但我能幹。我有技術,我有錢。”

他伸出手指,開始在那個紅圈裡進行詳細的功能區劃分,每一句話都像是一記重錘,砸在眾人的心口上:

“A區,核心總裝與研發中心,我要500畝。”

“這裡是心臟。要做整機組裝、雙工件臺除錯。要求絕對防震、絕對潔淨。地基要打到岩石層,旁邊連重型卡車都不許過!”

“B區,精密光學與機械加工區,我要400畝。”

“光刻機的鏡頭是蔡司做的?以後就是我們做!磨玻璃需要巨大的拋光機,加工金屬零件需要重型數控機床。噪音大,粉塵多,必須和A區物理隔離。”

“C區,光源與特種氣體區,我要300畝。”

“深紫外鐳射器、氟氣、氬氣提純。這是危險品區,必須放在下風口,還要有巨大的安全緩衝區。萬一炸了(雖然不會),不能影響隔壁。”

“D區,光刻膠與化學材料區,我要400畝。”

“日本人壟斷的光刻膠、顯影液,我們自己造!這是精細化工,要有獨立的汙水處理和環保設施,離辦公區越遠越好。”

“E區,掩膜版與配套區,200畝。”

林飛羽一口氣說完了五個工業分割槽,然後筆鋒一轉,畫了一片風景優美的區域:

“最後,F區,生活配套與專家村,我要400畝。”

“我從歐洲挖來了彼得,以後還會挖來幾千名世界頂級的科學家,包括我們自己的科學家。我不能讓他們住板房。”

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