四月的鵬城,春意盎然。風華半導體研究院新建的釋出大廳裡,人頭攢動。來自全國各地的媒體記者、行業專家、政府官員、合作伙伴,把能容納三百人的大廳擠得水洩不通。
這是“風鵬計劃”原理樣機的首次公開亮相。舞臺中央,被紅色綢布覆蓋的樣機靜靜矗立,像一座等待揭幕的紀念碑。臺下,攝像機、照相機林立,閃光燈此起彼伏。
韓風站在後臺,透過幕布的縫隙看著臺下黑壓壓的人群。他能聽到自己的心跳聲,快而有力。今天,他們將向全世界展示中國人自己的EUV原理樣機。這是幾個月來團隊心血的結晶,也是對國家支援的交代。
“緊張嗎?”張建國走到他身邊,輕聲問道。
“有點。”韓風坦誠地說,“畢竟,這是第一次公開亮相。外界會有期待,也會有質疑。”
李振華教授整理了一下領帶:“技術資料我們都複核了三遍,樣機也連續執行了七十二小時,穩定性沒問題。今天只要正常演示,就能證明我們的實力。”
“關鍵是光刻演示環節。”趙工補充道,“那是EUV的核心功能。我們準備了三種不同線寬的測試圖案,從28奈米到7奈米,逐級展示。”
韓風點點頭。這三個線寬,代表著三個技術臺階。28奈米是當前國內最先進的水平,14奈米是國際主流,7奈米則是前沿。如果他們能在原理樣機上實現7奈米的光刻,就意味著技術上已經達到了世界先進水平。
但風險也在這裡。如果演示過程中出現任何問題——圖形失真、線條斷裂、對位不準——都會被無限放大。那些等著看笑話的人,正盯著每一個細節。
“時間到了。”工作人員提醒。
韓風深吸一口氣,整理了一下西裝,大步走上舞臺。聚光燈打在他身上,臺下瞬間安靜下來。
“各位來賓,各位朋友,大家上午好。”韓風的聲音透過麥克風傳遍全場,“我是風華集團的韓風。今天,我很榮幸地站在這裡,向大家展示一項可能改變中國半導體產業格局的技術——我們自主研發的EUV光刻原理樣機。”
他頓了頓,環視全場:“在揭幕之前,我想先講幾個數字。過去六個月,我們的研發團隊累計工作了十萬個小時;進行了三千多次實驗;攻克了十二項關鍵技術難題;申請了四十八項發明專利。”
臺下響起掌聲。這些數字背後,是無數人的汗水和付出。
“但這還不夠。”韓風話鋒一轉,“數字只能說明過程,不能說明結果。今天,我們將用事實說話——用這臺樣機的實際表現,證明中國民營企業也有能力攻克世界級的技術難題。”
他走到樣機旁,抓住紅色綢布的一角:“現在,請允許我為大家揭曉——‘風鵬一號’EUV光刻原理樣機!”
綢布滑落,樣機露出真容。三米多高的裝置,銀灰色的外殼泛著金屬光澤,各種指示燈閃爍著綠光。雖然外觀還略顯粗糙,但那種工業美感,讓所有人為之震撼。
掌聲雷動。閃光燈連成一片,整個大廳亮如白晝。
接下來是技術講解環節。李振華教授上臺,詳細介紹了樣機的技術引數和設計理念。他的講解深入淺出,既有理論高度,又有實踐細節,贏得了專家們的頻頻點頭。
“我們的光源系統,採用了全新的材料配方,發光效率比傳統方案提高了百分之三十。”
“光學系統使用了自主設計的五鏡片結構,像差控制在理論極限內。”
“真空系統實現了10^-8帕的超高真空度,為光刻創造了理想環境。”
每一個引數,都代表著技術的突破。臺下,不少業內專家開始認真做筆記,有的還拿出計算器驗證資料。
然後是演示環節。這是最關鍵的步驟。工作人員將一片矽片送入樣機,趙工在控制檯上操作。大螢幕上實時顯示著光刻過程——鐳射激發、光線傳輸、掩模成像、矽片曝光。
第一組圖案:28奈米線條。螢幕上的影象清晰銳利,線條均勻筆直,邊緣整齊。
第二組圖案:14奈米線條。更細的線條出現在螢幕上,依然保持良好的一致性。
第三組圖案:7奈米線條。這是真正的挑戰。當那些細如髮絲的線條出現在螢幕上時,臺下響起了驚呼聲。線條不僅清晰,而且間距均勻,沒有出現斷線或粘連。
演示結束,全場寂靜了幾秒鐘,然後爆發出雷鳴般的掌聲。專家們站起來鼓掌,記者們瘋狂拍照,合作伙伴們面露喜色。
韓風重新走上舞臺,眼眶有些溼潤:“各位,這就是我們的‘風鵬一號’。它還很年輕,還有很多需要改進的地方。但它證明了一件事——在EUV這個被譽為‘半導體工業皇冠上的明珠’的領域,中國人也能做出世界級的技術。”
他看向臺下的團隊成員:“我要感謝我的團隊。感謝張建國總工程師,您三十年的堅守,為今天奠定了基礎;感謝李振華教授,您放棄國外的優厚條件,回來帶領我們攻堅;感謝趙工,您精湛的技藝,讓鏡面達到了原子級的平整;感謝每一位技術人員,你們熬過的每一個夜,做過的每一次實驗,都為今天的成功貢獻了力量。”
臺下,張建國、李振華、趙工等人,都紅了眼圈。這幾個月,他們付出了太多,但所有的付出,在這一刻都值得了。
提問環節開始。記者們的問題像連珠炮一樣拋來。
“韓總,原理樣機到量產還有多遠?”
“預計需要兩年時間。接下來是工程樣機階段,要解決可靠性、穩定性、成本等問題。”
“技術是完全自主的嗎?有沒有使用國外受管制的技術?”
“完全自主。”韓風堅定地說,“所有核心技術都是我們自己研發的,擁有完全的智慧財產權。”
“投資這麼大,商業化前景如何?”
“前景廣闊。”韓風說,“隨著5G、人工智慧、物聯網的發展,對高階晶片的需求會越來越大。EUV是製造這些晶片的關鍵裝置,市場潛力巨大。”
一個外國記者提問:“韓先生,國際上有觀點認為,中國做EUV是重複造輪子,浪費資源。您怎麼看?”
這個問題很尖銳。韓風沉吟片刻,答道:“在別人已經修好的高速公路上開車,和自己修路開車,感覺是不一樣的。我們修路,不僅是為了到達目的地,更是為了掌握修路的技術。今天我們可以修EUV這條路,明天我們就可以修更先進的路。這種能力,是買不來的,必須自己掌握。”
回答贏得了熱烈的掌聲。那個外國記者也點了點頭,在筆記本上認真記錄。
釋出會持續了兩個小時。結束後,韓風被媒體團團圍住。他耐心地回答每一個問題,直到嗓子都有些沙啞。
“韓總,喝口水。”林曉遞過來一瓶水。
韓風接過,一口氣喝了半瓶。這時,他的手機響了,是一個陌生的號碼。
“韓總,恭喜啊。”電話那頭的聲音很熟悉,是於德利,“今天的釋出會很成功,你們的技術突破令人印象深刻。”
“於總過獎了。”韓風平靜地說。
“不過韓總,我要提醒你一句。”於德利的語氣變得微妙,“樹大招風。你們今天這麼高調,會引來很多關注。有些關注,可能不是好事。”
“謝謝於總提醒。”韓風說,“但我們做技術,就是要拿出來讓大家看的。藏藏掖掖,不是我們的風格。”
“好,有氣魄。”於德利笑了笑,“那祝你們好運。希望下次見面,你們還能這麼風光。”
電話結束通話了。韓風皺起眉頭。於德利的話,明顯是威脅。看來,接下來的路不會太平。
但韓風不怕。今天的釋出會,給了團隊巨大的信心,也給了國家巨大的信心。有這些,就足夠了。
晚上,團隊在研究院的食堂舉辦了簡單的慶功宴。沒有豪華酒店,沒有山珍海味,只有家常菜和啤酒,但氣氛熱烈而真摯。
韓風舉起酒杯:“這第一杯酒,敬大家。沒有你們,就沒有今天的‘風鵬一號’。”
所有人都站起來,舉杯相碰。
“第二杯酒,敬國家。”韓風說,“沒有國家的支援,我們走不到今天。”
“第三杯酒,敬未來。”他環視眾人,“今天只是開始,後面還有更長的路要走。但我相信,只要我們同心協力,一定能走通EUV這條路,走通中國晶片的自主之路!”
“乾杯!”所有人齊聲高呼。
慶功宴持續到深夜。年輕人唱歌跳舞,老專家們圍坐聊天。韓風坐在角落裡,看著這一幕,心中充滿了感動。
這時,手機震動,是周曉白髮來的視訊通話請求。
接通後,小雪兒的小臉出現在螢幕上:“爸爸!我在電視上看到你了!你好帥啊!”
韓風笑了:“雪兒怎麼還沒睡?”
“我要等爸爸回來。”小雪兒說,“爸爸,你造的那個大機器好厲害啊!我們老師都說了,你是英雄!”
“爸爸不是英雄,爸爸只是做了該做的事。”韓風溫柔地說,“雪兒,等爸爸回家,給你講大機器的故事,好不好?”
“好!拉鉤!”
掛掉影片,韓風走出食堂。夜色中的研究院,燈火通明。實驗室裡,還有人在工作;辦公室裡,還有人在整理資料。這就是他的團隊,一刻也不鬆懈。
他走到樣機前,輕輕撫摸著冰涼的金屬外殼。這臺裝置,承載著太多人的夢想。今天,它向世界證明了中國人的能力。明天,它將帶領中國晶片走向更遠的未來。
路還很長,很難。
但有這樣的團隊,有這樣的精神,再難的路也能走下去。
晶片之夢,正在一步步變成現實。
韓風相信,不久的將來,中國晶片將不再受制於人。
而他們,將是這個歷史的見證者和創造者。
為了這個目標,所有的付出都值得。
夜深了,但星光正亮。