有了第一個電機制造成功的經驗，呂辰等人又相繼製造了十三個電機。
按照GCA-201CGS光刻機的工作配置需求，工件臺的X軸、Y軸，掩模臺、Z軸、微動臺等都可能需要。
頂著工業陶瓷和冶金材料研究中心研究員幽怨的眼神，他們掏空了所有的釤、鈷樣品材料。
受限於釤鈷合金材料的稀少，無法大規模生產，但是他們還儘可能製造了兩到三套。
錢蘭整理了全套設計圖紙，包括材料引數、工藝要求，特別是電機繞組的工藝和機構。
組裝好的電機本體直徑42mm、長100mm，看上去像一個銀灰色的圓柱體，握在手裡四根手指剛好能包住。
送別森格頓珠那天早上，北京站的報春花開了一枝。
呂辰遞給他一個帆布包，包裡裝著一個電機、兩條前門煙和一包點心，還有一份用牛皮紙袋封好的圖紙。
“森格頓珠師傅，這是其中一個電機，還有它的全套設計圖紙，複製了一份，您帶著。”呂辰說，“材料引數、工藝要求、繞組方法，都寫在裡面了。”
森格頓珠接過紙袋，沒開啟，就那麼攥著。
“小呂，這……”
“劉教授出差在外，不能專門感謝您，他專門交待，感謝成飛132廠和您對星河計劃的支援，您老遠來一趟，不能空著手回去。”呂辰笑了笑，“這技術擱我們這兒，也就是用在光刻機上。擱你們成飛，說不定能用在更重要的地方。”
呂辰又從包裡拿出一個牛皮紙信封：“這是丘書記為您申請的出差補貼，不多，一點心意。”
森格頓珠默了幾秒，他把信封小心地塞進帆布包最底層，然後抬起頭。
“小呂，諸葛，錢姑娘。”他聲音還是那麼低沉，“我在北京這一個多月，學到的東西，比在廠裡五年都多。”
他頓了頓：“不是技術。是你們這股勁兒。碰到難事，不躲，不繞，就硬碰硬地幹。幹成了，也不藏著，還想著給別人用。”
他伸出手，和呂辰握了握，又和諸葛彪、錢蘭分別握了握。
“以後到成都，到我家來。我讓我媳婦給你們做酥油茶，喝青稞酒。”
汽笛響了，森格頓珠雙手合十：“扎西德勒!”
“扎西德勒!”
他拎起帆布包，轉身走到車門口，回頭看了一眼，衝他們揮了揮手。
然後消失在車廂裡。
火車緩緩開動，車輪碾過鐵軌，發出有節奏的轟隆聲。
呂辰三個人站在月臺上，看著那列綠皮火車越走越遠，最後變成一個點，消失在晨霧裡。
“走吧。”諸葛彪點上一根菸，“回去幹活。”
第二批高頻脈衝電機的晶片，是在森格頓珠走後的第四天送到的。
那天下午，柳工親自把晶片送到驗證室。
專用晶片箱子裡墊著海綿，六十顆晶片整整齊齊碼在凹槽裡，陶瓷封裝，兩排引腳，在燈光下閃著金屬的光澤。
“GPMC-01，第二批。”柳工把木盒往桌上一放，“60顆，你們慢慢測。”
呂辰拿起一顆，對著燈光看了看。
封裝的表面是用絲網印著的字跡，白色的小字，清晰工整。
“謝了，柳工。”
柳工擺擺手，走了。
接下來三天，三個人又過上了暗無天日的日子。
測試臺架重新搭起來，電源、示波器、訊號源、負載板，一一接好。
第一顆晶片插上去，通電，測靜態電流——正常。
輸入測試向量，測功能——透過。
測速度，跑最高頻率——達標。
測功耗，長時間執行——穩定。
“一顆好的。”諸葛彪在記錄本上畫了個勾。
第二顆，同樣流程——好的。
第三顆——好的。
第四顆——好的。
測到第十顆的時候，錢蘭停下筆，看著記錄本上那一排勾，有點不敢相信。
“十顆了，全好？”
諸葛彪也愣了愣，把嘴裡的煙拿下來，盯著測試臺。
“再測。”
第十一顆——好的。
第十二顆——好的。
一直測到第十七顆，終於碰到一顆壞的。
輸入短路，電流直接打到底。
“總算有壞的了。”諸葛彪鬆了口氣，反而笑了，“不然我還以為見鬼了。”
六十顆晶片全部測完，錢蘭把記錄本攤在桌上，一頁一頁翻過去，最後在最後一頁寫下統計結果：
總片數：60片
功能完好：37片
區域性故障：14片（多為個別引腳失效或速度略低）
完全失效：9片（短路、擊穿、開路）
良率：61.7%
她把本子轉過來，讓呂辰和諸葛彪看。
“37顆能用。”她說，“比上一輪8顆，翻了四倍多。”
諸葛彪點上一根菸：“不枉我等當了一回反面教材，要是再不成，我都不知道怎麼抬起頭來了。”
錢蘭也有點感慨：“這幾乎是設計和工藝的推倒重來，有這樣的提升在情理之中。”
呂辰拿起一顆好的晶片，在手裡轉了轉：“萬事俱備，就等光柵尺和脈衝發生器了。”
光柵尺是在三月底送到的，長光所的吳高工親自送來，拎著一個木頭箱子，像拎著寶貝似的。
他把箱子放在桌上，開啟搭扣，掀開蓋子。
裡面墊著厚厚的絨布，兩把玻璃尺躺在絨布凹槽裡，尺身細長，透明，像兩條冰做的尺子。
“呂工，這是你們要的光柵尺。”
吳高工介紹：“主尺250毫米，副尺150毫米。刻線密度每毫米100線，配合四細分，解析度能到1.5微米。”
呂辰湊近了看，玻璃尺的表面，密密麻麻刻滿了線條，細得像頭髮絲，用肉眼幾乎看不清，只能在光線下隱隱約約看見一道道反光。
“這怎麼刻出來的？”諸葛彪眼睛都快貼上去了。
“電子束刻。”吳高工驕傲的說道，“這可是我們所的獨門技術，王先生說了，這一根尺子，外國人也就這水平，可惜讀數頭精度差了點，不然能到亞微米級。”
這的確值得驕傲。
呂辰道：“長光所果然名不虛傳，您不如等幾天，我們測試好了，把電機給您一起帶回長光所。”
吳高工擺擺手：“你們慢慢測，如果不是要找陳副所長拿GCA-201CGS的使用反饋，我是根本沒時間跑這一趟的，第二代光刻機已經進入具體的方案論證環節，我的時間非常緊，陳副所長會親自到長光所參與光刻機的研製，你們測試好後，到時候請他帶來就可以了。”
長光所的人還是習慣稱呼陳光遠為副所長。
脈衝發生器是秦世襄教授的學生送來的，比光柵尺晚了兩天。
是一個小盒子，裡面是一塊pc電路板，用舊報紙包著，外面纏著麻繩。
開啟盒子，電路板露出來，巴掌大小，上面焊著石英晶體、三極體、電阻電容，手工佈線，整整齊齊。
板子一角貼著一張白膠布，上面用鋼筆寫著三個字：脈衝源。下面還有一行小字：z，±5ppm。
“±5ppm。”諸葛彪唸叨了一句，“一百萬次只差五次，這精度……”
他把板子翻過來看背面，焊點圓潤飽滿，走線規整得像印刷上去的。
“西軍電的人，手真穩。”
驗證室被騰空了一半。
實驗臺靠牆擺開，從左到右依次是：脈衝發生器、示波器、GPMC-01驗證板、電機驅動板、電機本體。
電機旁邊架著一個簡易工裝，是請任長空搭建的。
一塊鑄鐵平板，上面立著一根絲槓，絲槓上套著滑塊，滑塊上固定著讀數頭。
絲槓頂端裝著一個手輪，搖動手輪，絲槓轉，滑塊上下移動。
光柵尺的尺身固定在工裝上，讀數頭固定在滑塊上。
滑塊一動，讀數頭劃過尺身，兩路正交脈衝就出來了。
“先把手轉跑通。”呂辰說。
諸葛彪坐到工裝前，右手握住手輪，左手扶著滑塊，像準備做甚麼精細手術似的。
“慢點轉。”錢蘭在旁邊盯著示波器。
諸葛彪輕輕轉動手輪，絲槓轉一圈，滑塊走4毫米。
讀數頭劃過光柵尺，示波器上開始跳波形。
兩路方波，一前一後，像兩個錯開半步計程車兵。
“相位差90度。”錢蘭盯著波形，“方向能判了。”
諸葛彪又反轉手輪，兩路波形的順序立刻顛倒過來。
“好。”呂辰說，“尺子沒問題。”
接下來是脈衝發生器。
接通電源，石英晶體開始震盪。
示波器上出現一條穩定的方波，千赫，佔空比50%，方方正正，邊緣陡得像刀切的一樣。
諸葛彪盯著那條波形，愣了幾秒，然後嘟囔了一句：“西軍電的東西，真穩。”
驗證板是重新搭建的，GPMC-01晶片插在電路板上，周圍密密麻麻焊著電阻電容、膠合邏輯，飛線整齊了許多，紅的、黃的、藍的，走得規規矩矩，該拐彎拐彎，該固定固定，貼著標籤，一點都不亂。
呂辰拿起一份手寫的程式清單，幾十行指令，對應著晶片內部的微程式碼。
那是他熬了兩個通宵編的，把“心跳程式”翻譯成晶片能懂的0101。
他深吸一口氣，蹲下去，把程式清單放在地上，然後開始撥動驗證板上的開關。
一排八個開關，對應八位資料。
他看一眼清單，撥第一組：01。
按一下“寫入”按鈕。
再看清單，撥第二組：02。
再按“寫入”。
00 01 02 03 04 05……
每撥一組，按一次寫入。
四十分鐘後，一百二十八條指令全部寫進晶片。
呂辰站起來，腿都有點麻。
他扶著桌子，活動了一下膝蓋：“通電。”
諸葛彪合上閘刀。
示波器螢幕亮起來，數字表開始跳。
驗證板上，幾盞指示燈開始閃爍。
慢閃三次，快閃五次，然後滅掉。
過了一秒，又重複一遍。
“心跳程式跑通了。”錢蘭鬆了口氣，“晶片活著。”
呂辰點點頭，這才剛剛開始：“把脈衝接進去。”
諸葛彪拿起一根訊號線，一頭插在脈衝發生器的輸出口，一頭插在驗證板的一個輸入引腳上。
示波器上，那條千赫的方波，被晶片“看見”了。
“光柵尺。”
諸葛彪又拿起兩根線，把光柵尺的兩路正交訊號，接到另外兩個輸入引腳上。
然後他坐回工裝前，握住手輪。
“開環先跑一下。”
轉動手輪，滑塊上下滑動，讀數頭劃過光柵尺，脈衝訊號源源不斷地送進晶片。
示波器上，除了時鐘方波，又多出兩路位置脈衝。
錢蘭盯著數字表，那上面顯示著晶片算出來的當前位置。
“毫米……移動方向……正向……速度……”
她念著數字，聲音越來越小，像怕驚擾了甚麼。
諸葛彪繼續轉手輪，滑塊走到頂端，又走回來。
數字表上的數字跟著變，從大到小，從小到大，每一步都跟得上，每一步都對得上。
“晶片把位置算對了。”錢蘭說。
呂辰盯著示波器看了幾秒，然後說：“換閉環。”
諸葛彪撥動一個開關。
晶片的輸出訊號開始驅動電機。電機嗡嗡響起來，絲槓開始自動轉動，滑塊向上爬升。
呂辰在驗證板上撥了一個數字：。
那是目標位置，單位毫米。
晶片程式裡預設了這個目標。
電機繼續轉，讀數頭一路跟著，脈衝訊號不斷反饋回晶片。
數字表上的數字一路跳。
…………………………
越來越接近。
最後停在毫米。
誤差1微米。
三個人盯著那個數字，誰都沒說話。
示波器上，波形還在跳，方波整整齊齊，一列一列，像士兵的腳步。
電機嗡嗡地響著，聲音低沉穩定，像一頭剛剛被馴服的野獸。
諸葛彪嚥了口唾沫，煙叼在嘴角，半天沒點。
“再試一次。”他說，聲音有點啞。
呂辰把目標改成毫米。
電機又轉起來，絲槓嗡嗡嗡，讀數頭一路向上，停在毫米。
誤差還是1微米。
錢蘭輕輕吸了一口氣：“精度夠了，GCA-201CGS光刻機工作臺的要求，就是正負五微米，這遠遠達到了要求。”
呂辰又撥了一個數字，目標0.1毫米。
電機輕輕一抖，絲槓幾乎看不出動，讀數頭微微挪了一點點。
數字表從往下跳：………………
最後停在毫米。
移動量毫米，1微米。
諸葛彪把煙叼上，沒點，就那麼叼著，愣愣地看著那個數字。
“成了。”他說，煙在嘴角抖了抖，“真成了。”
錢蘭長長地吐了口氣，肩膀塌下去，整個人像被抽走了骨頭。
呂辰站著，盯著那個數字，看了很久：“再試一次。”
諸葛彪又試了一次，目標改成50毫米。
電機轉，滑塊走，停在——毫米。
誤差兩微米。
“再試。”
目標毫米。
電機輕輕一抖，滑塊幾乎看不出動，數字表慢慢跳，最後停在毫米。
誤差零。
三個人盯著那個數字，誰都沒說話。
過了很久，諸葛彪把煙點上了。
他狠狠吸了一口，然後吐出來，煙在空氣中慢慢散開。
他指了指那個還在轉的電機：“森格頓珠師傅走早了，他應該親自見證。”
錢蘭笑得眼睛有點紅：“我寫信告訴他。”
接下來幾天，他們又搭建了一個更復雜的模擬系統。
一張兩尺見方的鑄鐵平板，上面架著X軸和Y軸兩個滑臺。
每個滑臺都由一個電機驅動，絲槓傳動，光柵尺反饋。
X軸行程200毫米，Y軸行程150毫米。
他們把長光所送來的兩把光柵尺都裝上了，X軸一把，Y軸一把。
重新焊出來兩個驅動板，每塊板子上一個GPMC-01晶片，專門控制一個軸。
控制程式寫在二維卡上。
80*80的點位裡，存著工件臺的初始位置引數，然後是一串指令：
X軸正向，移動20毫米，停3秒。
X軸正向，再移動20毫米，停3秒。
重複7次。
然後Y軸正向，移動20毫米，停3秒。
再重複X軸的那一串，如此迴圈。
他把卡片塞進讀卡機，讀卡機的輸出線接到驗證板上。
呂辰合上讀卡機的蓋子。
“準備。”呂辰說。
諸葛彪盯著兩個滑臺，錢蘭盯著示波器。
“通電。”
讀卡機的訊號燈依次閃爍，矩陣探針讀入資料。
驗證板上的晶片收到指令，開始計算，然後發出訊號。
X軸電機動了。
滑臺悄無聲息開始向前移動，讀數頭劃過光柵尺，脈衝訊號源源不斷返回晶片。
晶片比較目標位置和實際位置，調整輸出，電機繼續轉。
20毫米到了，停。
三秒後，又動了。
20毫米，停。
三秒後，又動。
X軸滑臺一步一步往前走，每一步20毫米，每一步停三秒，每一步都走得穩穩當當，誤差不超過2微米。
走完七步，X軸滑臺停在140毫米的位置。
然後Y軸動了。
同樣20毫米一步，同樣停三秒，同樣穩。
Y軸走完七步，X軸又開始往回走。
一步一步，一格一格，像士兵走正步，像鐘錶走秒，像某種精密到極點的舞蹈。
“成了。”諸葛彪又點上一根菸，靠在椅子上，看著那兩個還在動的滑臺，“這回是真成了。”
錢蘭拿起一塊報廢的GPMC-01晶片，對著燈光看了很久。
“咱們為GCA-201CGS，造出了半自動的工件臺。”
那天下午，三個人坐在驗證室裡，看著那兩個滑臺一遍一遍地走。
走完一遍程式，重新塞一次卡片，再走一遍。
走了一百遍，誤差始終沒超過2微米。
呂辰出去了一趟，回來的時候拎著一瓶酒，三個搪瓷缸子。
他把酒倒上，三個缸子碰在一起，發出清脆的響聲。
“敬森格頓珠師傅。”
“敬長光所。”
“敬西軍電。”
“敬咱們自己。”
酒喝完的時候，窗外已經是紅霞漫天。
諸葛彪把煙掐滅，站起來，走到窗前，推開窗戶。
冷風灌進來，人間四月天，帶著泥土和青草的芬芳。
呂辰和錢蘭走過來，三人站在窗前，看著天邊絢爛的晚霞。
身後，那個滑臺還在走。
X軸，20毫米，停三秒。
Y軸，20毫米，停三秒。
一步一步，一格一格。
像某個巨大機器的脈搏，沉穩，精確，永不停歇。
早霞不出門，晚霞行千里。