1965年4月7日,凌晨五點。
呂辰從動力中心的臨時宿舍裡爬起來,用冷水洗了把臉。
窗外還是黑的,但1號廠房的燈光就沒停過。
他披上外套,推開門,冷風撲面而來。
北京四月初的清晨,依然寒氣逼人,地上結著薄薄的白霜。
他走向動力中心的主控室,現在是超純水系統最後一次聯調。
三天前,終端出水已達18.2兆歐厘米,連續穩定執行了48小時。但按照陳光遠的要求,必須再跑一個72小時的全程考核,把所有可能出問題的環節都暴露乾淨。
今天是最後一天。
主控室裡,動力中心的專家正盯著儀表盤,手裡的搪瓷缸子已經涼透。
“王工,怎麼樣?”
“穩。”王工頭也沒回,“昨天晚上十點到現在,所有引數紋絲不動。小呂,這水,比我當年在蘇聯看到的還要純。”
呂辰走到窗前,望著1號廠房那沉默的豎窗。
穿著白色防塵服的人影在裡面晃動。
那是長光所的團隊,正在為光刻機做最後的穩定性測試。
他又轉頭看向2號廠房,工地上,焊光還在閃爍。
那是擴散爐的外圍管道正在安裝,工人們已經連續倒班一個星期了。
一切都在向前走。
上午八點,陳光遠出現在動力中心。
他臉色有些疲憊:“怎麼樣?”
“72小時到了。”王工指著儀表盤,“電阻率18.2,TOC小於20ppb,顆粒物零檢出。陳廠長,成了。”
陳光遠盯著儀表盤上的數字看了很久。
“通知李廠長、丘書記,還有所有車間主任、工段長,下午兩點,在1號廠房裝置通道門口開會。”
他頓了頓,聲音忽然有些發緊:“告訴大夥兒廠,貫通了。”
訊息像長了翅膀一樣傳遍了整個廠區。
呂辰和陳光遠沿著廠區的主幹道往1號廠房走。
路上不斷有人和他們打招呼。
“陳廠長、呂工,超純水成了!”
“咱們是不是要開工了?”
“甚麼時候能見到咱們自己造的晶片?”
他們一一回應,腳步卻沒有停。
走到1號廠房門口,刷了卡,透過風淋室,換上防塵服,走進潔淨車間。
長光所的工程師蹲在那臺巨大的光刻機旁邊,手裡拿著水平儀,眼睛幾乎貼在了儀器上。
“劉工,怎麼樣?”
劉工一臉虔誠:“小呂,你來看。”
呂辰順著劉工的手指,看見了投影物鏡上的微小刻度盤。
指標穩穩地停在零位上。
劉工緩緩道:“兩微米,一微米,半微米……,昨天晚上,最後一微米也調平了。這臺機器,現在可以用了。”
呂辰盯著那個刻度盤:“劉工,辛苦您了。”
劉工搖了搖頭:“談不上辛苦,這臺機器是我們造的,就像自己的閨女,總要讓她在婆家安頓好是不是。”
呂辰比了個大拇指。
下午兩點,1號廠房裝置通道門口,黑壓壓站滿了人。
陳光遠、李懷德、丘巖站在最前面。
後面是來自全國各地的專家們,再後面,是6305廠自己的技術骨幹,是劉星海教授從全國各高校招來的年輕學子,他們剛剛從各協作單位培訓回來。
還有那些即將入駐車間的工人們,穿著嶄新的藍色工裝,胸前彆著廠徽,站得筆直。
陳光遠往前站了一步。
他沒有拿稿子,只是掃視了一遍全場。
“同志們。”
他的聲音在空曠的廠區裡顯得格外清晰:“今天年4月7日,下午兩點整。”
他頓了頓:“6305廠,超純水系統聯調成功,光刻機完成最終調平,塗膠顯影機、刻蝕機、擴散爐全部安裝就緒。”
“全廠一百零七套核心裝置,二百六十八公里管線,全部貫通。”他的聲音開始有些發顫:“從今天起名工人,正式入駐各車間、各系統。”
“從今天起廠,活了。”
沒有人鼓掌,有人在悄悄用袖子擦眼睛,有人肩膀微微顫抖,有人仰著臉,望著廠房那排高高的豎窗,嘴唇緊抿著。
包康健教授摘下了眼鏡,用拇指和食指用力捏了捏鼻樑。
呂辰想起三年前,第一次百工聯席會議,他發現了四項技術,那些無人問津的技術,讓他拼湊出了積體電路的構想。
那時候“星河計劃”只是一個構想,大多數人,連積體電路是甚麼樣都沒見過。
現在,這座凝聚了無數人心血的工廠建成了。
呂辰的腦子裡一遍遍過著那些畫面。
……
第二天一早,呂辰來到6305廠,就被李懷德的通訊員小張叫住。
“呂工,李廠長請您去廠辦一趟,丘書記和陳副廠長也在。”
呂辰知道是甚麼事,產線已經貫通,但有一件大事還沒落地。
那些從全國各地來支援的專家們,怎麼留?
三個月前,丘巖提出要按保密條例執行脫密程式,強行留人。
陳光遠堅決反對,說那是“過河拆橋”。
最後是呂辰提了個思路:不能強留,要讓人自願。
一個一個去談,瞭解他們的困難,解決後顧之憂,給事業平臺。
還要和原單位有個交代,不能殺雞取卵。
當時李懷德定了調子:這件事廠自己辦,呂辰不參與,免得劉星海教授難做。
三個月過去了,談得怎麼樣了?
呂辰跟著小張來到李懷德辦公室,李懷德、丘巖、陳光遠都在。
桌上放著一疊厚厚的檔案。
“小呂,坐。”李懷德指了指空椅子。
呂辰坐下,點了一支菸。
李懷德先開口,聲音興奮:“87個專家,談了三個月。你猜,留下了多少?”
呂辰搖了搖頭。
“四十二個。”李懷德把那疊檔案推到呂辰面前,“這是名單。”
呂辰接過來,一頁一頁翻看。
長光所劉工——留任6305廠光刻車間主任。
半導體所劉高工——留任6305廠材料研發中心主任。
上海機床廠吳工——留任6305廠精密機械總工程師。
北大理論中心黃博士——留任6305廠設計中心顧問。
成電鄭長楓老師——留任6305廠檢測中心主任。
武水院……
四十二個名字,每一個他都認識。
都是並肩作戰、一起熬過無數個不眠之夜的戰友。
“這些人,”丘巖肯定道,“是6305廠的脊樑。”
陳光遠接話道:“長光所劉工等人,以前就是我的兵,這次我留下五個,王先生給了巨大的支援,這些都是研發gca-201cgs的核心主力,他們不僅是光刻環節的核心,也承擔著下一代光刻機的研發任務。”
他頓了頓:“其他人也都一樣,各兄弟單位顧全大局,支援星河計劃,支援6305廠,但同時這些專家也承擔著下一代裝置的研究任務。”
呂辰點點頭:“這是合理的,研發和生產閉環,對星河計劃最有利。”
李懷德笑道:“安排專家們的家庭,可是花了大功夫,衣食住行、上學上工,機三廠、棉紡廠、街道辦、子弟學校、廠醫院……,能用的關係我都用到了,算是能給你和劉星海教授一個交代了。”
呂辰笑道:“多謝李廠長,能給專家們安排妥當,我和老師也能和兄弟單位交代了。”
“宋教授剛剛把名單送過來。”陳光遠從檔案袋裡又抽出一份名單,“紅星所定向培養的350人,今天正式到崗,全部進入設計中心。”
他把名單推給呂辰:“小呂,紅星所是6305廠的技術策源地,是整個星河計劃的牽頭單位,星河計劃第一批2700萬資金,紅星所一分沒拿,全部分給了半導所、真空所等薄弱單位。劉教授高瞻遠矚,不遺餘力支援整個星河計劃,大家都看在眼裡。”
他頓了頓:“500人的種子隊伍,已經從星河計劃各單位培訓結束。今天全部集中在紅星軋鋼廠的模擬線車間,開始大會戰。我們是這樣想的,這五百人是劉教授去全國招來的,我們就以這個模擬線為基地,由6305廠和積體電路實驗室廠校雙聘,建立產學研基地,為星河計劃輸血,反補星河計劃各協作單位。”
呂辰點點頭:“這是好事,想必劉教授樂見其成。”
李懷德接過話:“這500人,是從全國二十一個省、市、自治區的協作單位培訓回來的。他們在長光所學過光刻,在半導體所學過材料,在北大理論中心學過設計,在哈工大學過精密機械。”
他加重了語氣:“模擬線的產出是人,不光能將分散的流程集中起來,也能讓負責各環節的人更能明白上下游之間的聯絡,這是星河計劃天熱的練兵地,各單位的人都可以在這裡得到鍛鍊。”
“他們在這裡能親眼看見,一塊矽片,是怎麼變成晶片的。能親手操作,每一個環節,每一個步驟,每一道工序。能把學到的碎片,拼成一張完整的圖。”
李懷德接道:“這算是我們6305廠,給星河計劃,給劉教授的支援。”
……
從廠辦大樓出來,呂辰騎著腳踏車,往紅星軋鋼廠的方向走。
1200名工人,已經全部入駐。
他們正在熟悉環境,學習操作規程,一遍一遍演練。
再過幾天,第一片矽片,就要正式投入這條生產線。
呂辰在一號樓停下,站了很久。
他在6305廠的工作已經完成,系統整合專員的臨時任命,隨著產線的建成也走到了盡頭。
下午兩點,呂辰趕到紅星軋鋼廠。
來到模擬線車間,推開大門,一股熟悉的味道撲面而來。
機油、焊錫、松香、還有那種混合著金屬和塑膠的特殊氣息。
車間裡已經擠滿了人。
穿著各種顏色工裝的年輕人,三五成群,圍在裝置旁邊。
有的在低聲討論,有的在本子上記著甚麼,有的蹲在裝置前仔細打量著每一個部件。
謝凱站在車間中央的一個高臺子上,手裡拿著一個鐵皮捲成的話筒,正在大聲喊著甚麼。
“各組注意!各組注意!現在開始點名!”
“光刻組——!”
“到!”一片整齊的回應,至少有七八十人。
“擴散組——!”
“到!”
“刻蝕組——!”
“到!”
“薄膜組——!”
“到!”
“封裝組——!”
“到!”
……
從全國各地培訓回來的500人,今天全部集中在這裡。
他們要在這條模擬線上,用三個月時間,把晶片製造的全流程跑通。
然後進入6305廠,成為這座工廠的第一批核心骨幹。
這幫年輕人,個個眼睛都放著光,恨不得現在就開機。
謝凱舉起鐵皮話筒:“全體注意!”
車間裡瞬間安靜下來。
“今天,是模擬線大會戰的第一天。站在這裡的500人,是從全國二十一個省、市、自治區,三十七家協作單位,培訓回來的技術骨幹。”
他的聲音清晰地落進每個人耳朵裡:“我們在長光所學過光刻,在半導體所學過材料,在北大理論中心學過設計,在哈工大學過精密機械。”
他頓了頓:“但是,我們學的是分散的。今天,我們要做的,就是把這些碎片,拼成一張完整的圖。”
“從今天起,三個月時間,我們要在這條模擬線上,從頭到尾跑一遍晶片製造的全流程。”
“從矽片清洗,到氧化擴散,到光刻對準,到刻蝕摻雜,到金屬化,到封裝測試——”
“每一個環節,都要親手操作。每一道工序,你們都要親眼看見。每一個可能出現的問題,你們都要親身體會。”
他放下話筒,掃視全場:“三個月後,我們將走進6305廠,成為這座工廠的第一批核心骨幹。”
“到那時候,你們要做的,不是按按鈕,不是看儀表,是帶著那些剛進廠的工人,手把手教他們,怎麼造出咱們中國人自己的晶片。”
車間裡一片寂靜。
然後,不知道是誰第一個喊了出來:“保證完成任務!”
緊接著,第二個,第三個,越來越多。
喊聲像潮水一樣,一浪高過一浪,幾乎要把車間的屋頂掀翻。
晚上八點,模擬線正式開機,500人分成三班,開始有序地進入各自崗位。
光刻組圍在光刻機旁邊,小心翼翼地把第一片矽片送進樣片臺。
擴散組守在擴散爐前,盯著儀表盤上的溫度曲線。
刻蝕組一遍一遍除錯著刻蝕機。
薄膜組在化學氣相沉積裝置前,記錄著每一次沉積的厚度資料。
封裝組圍在工作臺邊,練習著最基礎的引線鍵合。
一切都井然有序,充滿希望。