1965年1月19日。
呂辰站在6305廠動力中心的樓頂,手裡夾著一隻大前門,望著遠處1號廠房灰白色的外牆。
燕山吹來的北風,颳得人臉生疼。
他在這裡站了快十分鐘,菸捲在指間燃盡,燙了手指才回過神。
樓下,管廊工地的焊光還在閃爍,工人們裹著軍大衣,在零下十三度的寒風裡鋪設最後一段特種氣體管道。
焊接的青煙被風撕成碎片,轉眼散盡。
一切都在按計劃推進。
光刻機初步調平,長光所王工的團隊在潔淨區,像伺候瓷器一樣伺候那臺機器,每天進門前要過三道風淋,手套換三雙。
塗膠顯影機的第一組模組前天運抵,正在開箱驗收。
哈工大包康健教授派來的三位工程師蹲在箱體旁,用水平儀一點一點找基準,忙了整整兩天,還沒敢往基座上落。
擴散爐的爐體已經到了北京站,押運員打來電話說,鐵路排程出了點問題,要晚兩天才能送進廠。
動力中心的王工程師正在和運輸科扯皮,聲音從電話聽筒裡穿透出來,整個排程室都聽得見。
超純水系統的終端已經完成哈氏合金管件更換,第一批試執行的水樣送去分析,電阻率18.2,達標。
一切都在向前走。
但有一件事,靜得像凍住了。
呂辰從樓頂下來,來到廠辦指揮部辦公室,撥通了真空所的電話。
總機轉了快三分鐘,才接到顧贇的分機。
“顧工,我是呂辰。”
電話那頭沉默了兩秒。
“呂工。”顧贇的聲音很輕,像壓著甚麼東西,“你……是為電鏡的事?”
“樣機怎麼樣了?”
又是一陣沉默。
呂辰聽見電話那頭有人走動,門關上的聲音,然後是顧贇壓低了的、幾乎是從牙縫裡擠出來的話:“樣機做出來了。”
他頓了一下:“但是……效果差太遠。”
“差多少?”
“設計指標是100埃。我們測了三輪,最好的結果是500埃。”顧贇的聲音發緊,“文教授、吳教授、林教授、李總工……已經一個月沒怎麼閤眼了。昨天晚上吳教授在示波器前面坐著,坐了兩個小時,甚麼都沒說,後來我扶他回去休息,他血壓都到一百八了。”
呂辰握電話聽筒的手指節節泛白。
“我知道了。”
掛掉電話,呂辰閉上眼睛。
晶片製造,是看不見摸不著的工藝。
光刻要對準,薄膜要測厚,刻蝕要看形貌,摻雜要看深度,鍵合要看介面。
沒有電鏡,這一切全是盲人摸象。
你可以把光刻機調得再平,把超純水的電阻率提到18.3,把潔淨車間的塵埃粒子壓到個位數,但只要你看不見那些微米級的溝槽、亞微米級的缺陷、奈米級的氧化層,你就永遠不知道自己做對了沒有,錯在哪裡。
6305廠的工藝除錯,需要的不是500埃。
是100埃以下。
甚至,未來的某一天,是50埃、20埃、10埃。
呂辰睜開眼睛,撥通了劉星海教授的電話。
下午三點,呂辰站在劉星海教授辦公室門口,還沒敲門,裡面就傳來聲音:“進來。”
劉星海靠在椅子裡,手裡拿著那份1962年星河計劃第三次會議紀要的影印件,翻到第三頁。
那一頁上,白紙黑字,寫著:“電子光學儀器攻關協作組任務分工。”
北京大學:電子光學理論、電磁透鏡設計、系統總體方案;
清華大學:機械結構設計、自動控制系統、總裝整合與測試;
北京電子管廠:電子槍試製、高壓電源、部分真空部件;
北京真空電子技術研究所:真空系統設計與整合、樣品室、工藝經驗支援;
長春光機所:精密光學機械加工;
紅星工業研究所:控制電路、訊號處理、專案協調與資源保障;
工業學院文昭南教授團隊:訊號檢測理論與方案、跨單位技術銜接。”
劉星海把紀要放下,摘下老花鏡,慢慢擦拭鏡片。
“電鏡的事,我知道了。”
他沒有看呂辰,目光落在窗外灰濛濛的天際線上。
“你打算怎麼辦?”
呂辰把在真空所電話裡聽到的情況,一五一十說了。
工業學院的文昭南教授,北大物理系電子系吳教授,清華電子系林教授、北京電子管廠的李總工,真空所的工程師顧贇。
這些人,從1962年冬天起,就揹著“電鏡組”的擔子。
三年了。
呂辰彙報完,辦公室裡安靜了很久。
劉星海慢慢把老花鏡戴上。
“你打算派誰去?”
“我申請組織一次專家會診。”呂辰說,“由6305廠牽頭,把參與電鏡研製的所有單位、以及星河計劃裡相關領域的專家,全部請到真空所去。在現場看機器,聽問題,分頭把脈,逐條開方。”
他頓了頓:“這不是哪個環節出了孤立故障。這是整套系統走到極限之後,暴露出來的、深埋在技術體系裡的結構性難題。必須多兵種聯合作戰。”
劉星海點了點頭。
“誰帶隊?”
“陳光遠副廠長。”
劉星海看了呂辰一眼。
“他親自去?”
“6305廠的安裝任務這麼重,他走得開?”
“走不開也得走。”呂辰說,“電鏡交付不了廠建得再好也是瞎子。這個道理,陳廠長比誰都明白。”
劉星海沉默片刻:“告訴陳光遠,這是我劉星海私人拜託他。電鏡組那幫人,扛了三年了,不能再讓他們孤軍奮戰。”
1月20日上午8點廠門口,陳光遠站在前面,裹緊軍大衣,望著灰濛濛的天空。
他身後,是十六個人的會診團隊。
宋顏、謝凱、錢蘭、吳國華、呂辰,這些是紅星所的成員,也是星河計劃指揮部辦公室的成員。
還有成電鄭長楓老師、西北工業大學胡文來教授、哈工大包康健教授、西軍電秦世襄教授等10位來自各協作單位的教授、工程師、技術員,都是在電鏡相關領域有經驗的實戰派。
他們的身後,從軋鋼廠調來的五輛吉普車已經在等候。
這是一趟從東郊工業區斜穿老北京城,奔赴西北郊“新北京”科學城的旅程。
人到齊了,陳光遠看了一眼手錶。
“上車,出發!”
眾人依次上車,吉普車啟動,走京順老路進城,經過機三廠時,煤焦油味著實刺鼻。
呂辰把車窗搖上,他和包康健教授、秦世襄教授坐一輛車。
“電鏡的問題,我聽說過一些。”包康健教授緩緩開口,“文昭南教授那邊,三年了,樣機是出來了,但指標一直上不去。”
他頓了頓:“說起來,這臺機器,是星河計劃裡最難的骨頭。”
秦世襄教授看著遠處綿延的使館區:“我在西軍電搞雷達接收機,搞了二十一年。”
他的聲音很輕,像是自言自語:“雷達要看的目標,是幾十公里外的飛機;電鏡要看的目標,是幾埃格斯特朗的原子。雷達訊號弱,我們可以加大發射功率;電鏡的電子束不能大,大了樣品就燒壞了。”
“所以電鏡比雷達更難。不是難一倍,是難一個數量級。”
車廂裡安靜了下來。
車隊從建國門進入了長安街,沿長安街一路往西直門方向走。
呂辰靠著車窗,閉上眼睛。
他想起昨晚,李懷德在他那份申請報告上簽字時說的那句話:“電鏡這仗,打的是我們這代人的臉。打贏了,後人說我們有遠見;打輸了,後人說我們不中用。”
李懷德簽完字,放下鋼筆,抬頭看著他。
“所以不能輸。”
車子出了西直門,到中關村後,轉向北走學院路,穿過清華、北大、物理所、電子所、科儀廠。
最終停在真空所新建成不久的四層大樓前。
沒有歡迎儀式。
顧贇在門口等著,穿著洗得發白的藍色工裝,棉襖領子豎起來,臉被寒風吹得通紅。
他看見陳光遠,嘴唇動了動,想說甚麼,又咽了回去。
文昭南教授沒有來接。
吳教授、林教授、李總工都沒有來。
顧贇帶著會診組穿過研究所的院子,繞過主樓,走到東北角一棟灰磚平房前。
那是真空所的舊實驗樓,外牆的紅磚已經泛黑,窗框的油漆剝落了大半,露出底下生鏽的鐵皮。
門口沒有掛牌子。
顧贇推開那扇吱呀作響的木門。
“到了。”
陳光遠第一個邁進去。
然後他停住了。
這不是一臺機器。
這是一張工作臺。
檯面是普通的木工板,足有兩寸厚,刷了一層暗灰色的絕緣漆,邊角已經被汗水浸得發白,露出木紋原本的黃褐色。
臺子上,架著一個半米多高的鏡筒。
黃銅色。
表面有手工拋光的痕跡,但不像拋光機那麼均勻。
細細看,能看見螺旋紋,那是用布輪蘸著研磨膏,一毫米一毫米蹭出來的。
有的地方亮些,有的地方暗些,像青銅器上的包漿。
鏡筒旁邊,擱著一個示波器。
蘇式C1-1型,螢幕只有巴掌大,綠幽幽的光暈裡,跳著毛刺刺的波形。
示波器的外殼有幾個凹坑,漆皮剝落處,露出底下鐵紅色的防鏽層。
示波器後面,是一臺自制機箱。
面板上焊著七八個電子管插座,和一堆從舊裝置拆來的波段開關。
機箱側面,用白色油漆寫著:“掃描發生器-1963.7”。
字跡潦草,像趕工期的日記。
整個房間裡,沒有一臺像樣的儀器。
沒有防震臺,沒有遮蔽罩,沒有穩壓電源。
只有這張木板臺、這個黃銅鏡筒、這臺示波器、這個自制機箱。
還有,角落裡堆著的幾十個用過的電子槍元件。
有的裝在盒子裡,標籤上寫著日期和失效原因;有的就直接散落在工作臺上,像耗盡了生命的蟬蛻。
陳光遠在門口站了很久。
他身後,會診組眾人,沒有一個說話。
文昭南教授從鏡筒後面站起來。
他頭髮亂蓬蓬的,像冬天沒打理過的枯草。
他看見陳光遠,愣了一下。
然後他摘下老花鏡,用袖口擦了擦,又重新戴上。
“陳副所長。”他還是習慣稱陳光遠在長光所的職位。
“你們來了。”他的聲音很輕,像怕驚動甚麼。
吳教授從示波器前站起身。
他臉色蠟黃,眼袋垂得像兩片乾癟的桑葉,嘴唇起了皮,大概是一上午沒顧上喝水。
林教授從自制機箱後面探出頭。
他手裡還捏著電烙鐵,烙鐵頭已經氧化發黑,錫絲掛在上面,半天沒化開。
李總工蹲在角落,正在拆一隻剛失效的電子槍。
他穿著北京電子管廠的深灰色工裝,衣領磨得發亮,袖口捲到小臂,露出一雙骨節粗大、佈滿老繭的手。
他抬頭看了一眼會診組,沒有說話,又低下頭,繼續拆那支槍。
房間裡很安靜。
只有示波器風扇的嗡嗡聲,和電烙鐵擱在架子上慢慢冷卻的嗞嗞聲。
陳光遠慢慢走到工作臺前。
他伸出手,想摸一下那個黃銅鏡筒,手指懸在半空,又收回來了。
“文教授。”他的聲音有些發澀。
“這臺機器,能開機嗎?”文昭南教授點了點頭。“小顧,開一下機。”
顧贇走到牆角,拉下電閘。
示波器的綠光閃了一下,波形開始跳動。
鏡筒裡傳來輕微的電磁聲,像夏夜池塘邊第一聲蛙鳴。
顧贇把一枚樣品推進樣品室,那是噴了金的氧化鋅晶須,只有頭髮絲百分之一那麼細。
他調節了一下旋鈕,螢幕上,綠光裡跳動的全是噪聲毛刺。
一秒、兩秒、三秒。
在毛刺的間隙裡,一個模糊的輪廓慢慢浮現出來。
像月亮表面的環形山。
邊緣是虛的,中間有亮斑,亮斑周圍還有一圈一圈的干涉紋。
那不是樣品的結構,是噪聲和訊號的搏鬥。
放大倍數,大約500倍。
設計指標倍。
實際可用,500倍。
極限解析度,樂觀估計500埃。
而6305廠光刻機需要的檢測能力,是100埃以下。
陳光遠沒有說話。
他盯著螢幕上那個模糊的輪廓,看了很久。
宋顏教授站在他身側,也沒有說話。
呂辰站在人群最後面,靠著門框。
他看見文昭南教授的手。
那隻手扶著鏡筒的調節旋鈕,骨節粗大,面板上全是燙傷的舊疤。
但那隻手很穩。
穩得像在扶著自己孩子的肩膀。
文昭南教授緩緩開口:“陳廠長,各位專家。”
他頓了頓,像是斟酌了很久。
“這臺樣機,是我們能交出來的、目前最好的答卷。”
他的聲音很平,沒有辯解,沒有訴苦,也沒有推卸責任。
“它還有很多問題。電子槍不穩定,透鏡剩磁消不掉,探測器訊雜比太低,掃描速度調不了,真空度勉強及格,樣品臺會點頭,影象會漂移。”
他慢慢放下扶著鏡筒的手,抬起頭,望著陳光遠,望著宋顏,望著會診組十六個人。
“但是,陳廠長,我想請你們相信,這條路,是走得通的。”
“我們已經看見了。雖然看得不清楚,雖然看得不穩定,雖然看一會兒就要歇一會兒。”
“但是,我們看見了。”
他的聲音很輕,像在說一件微不足道的小事。
房間裡安靜了很久。
沒有人說話。
示波器的風扇還在嗡嗡響。
螢幕上的環形山輪廓還在跳動,模糊,頑強,像一顆在風中搖曳卻始終沒有熄滅的火苗。
呂辰走到文昭南教授面前:“文教授,這不是失敗品。這是曙光亮起之前,最暗的那幾分鐘。是星河計劃為後來人撐起的、通向微觀世界的第一個臺階。”
他頓了頓:“以後中國所有的晶片、所有的電鏡、所有的奈米尺度工藝,都會記得今天,北京真空所這間舊實驗室裡,有臺500倍還抖動的樣機。”
“它是先遣隊的腳印。”
文昭南教授沒有說話,吳教授、林教授、李總工、顧贇也沒說話。
錢蘭的眼眶都紅了。