早上8點廠已人聲鼎沸。
薄霧在廠房之間流動，與焊接產生的青煙、混凝土攪拌揚起的粉塵混雜在一起。
裹緊工裝棉襖，呂辰呵出一口白氣，快步穿過綜合管廊的施工現場。
管廊內部，幾十名工人正在安裝最後一段超純水管道。
316L不鏽鋼管泛著冷冽的銀光，工人們兩人一組，用特製的內對口器將管道對位，然後開始焊接作業。
“滋——”
藍色電弧在管口亮起，焊工戴著深色面罩，身體微微前傾，手腕穩定地划著小圓圈。
焊縫處，金屬熔化成亮白色的小池，又迅速凝固成整齊的魚鱗紋。
焊工身後，一名年輕技術員手持氣體檢測儀，眼睛緊盯著顯示屏上的讀數。
“氧氣含量0.8%，合格。”他低聲報告，在本子上記錄下時間和數值。
“繼續。”焊工頭也不抬，只輕輕挪動位置，開始下一段焊縫。
呂辰停下腳步看了一會兒。
這套焊接工藝標準是上海機床廠的專家制定的。
管道內充氬氣保護，焊接電流嚴格控制，焊後必須用內窺鏡檢查焊縫內壁，確保無氧化、無凹陷、無夾渣。
標準嚴苛到近乎苛刻，但所有人都知道為甚麼，這些管道里將來流動的，是電阻率18.2兆歐·厘米的超純水。
任何一個焊接缺陷，都可能成為雜質析出的源頭，最終汙染整條產線。
“呂工！”管廊那頭傳來喊聲。
呂辰抬頭，看見動力中心的王工程師正朝他招手，手裡拿著一張圖紙。
“王工，怎麼了？”
“你看這個。”王工程師攤開圖紙，指著超純水系統終端的一個三通接頭，“原設計這裡是316L，但我們昨天做腐蝕測試，發現長期在85℃、pH2的酸性清洗液環境下，316L還是有輕微點蝕風險。我和湯教授商量，建議換成哈氏合金C-276。”
呂辰接過圖紙，眉頭微皺。
哈氏合金，進口材料，價格是316L的二十倍不止。
而且交貨週期至少六個月。
“測試資料呢？”
王工從資料夾裡抽出幾張照片和表格。
照片上，幾塊浸泡在模擬液中的金屬試片，316L表面已經出現細小的麻點，而旁邊的哈氏合金試片依然光潔如新。
資料表格顯示，經過720小時加速腐蝕測試，316L的年腐蝕速率達到了毫米。
雖然還在安全範圍內，但已經接近紅線。
“如果只用SC-1、SC-2這些鹼性清洗液，316L沒問題。”王工指著工藝流程圖，“但您看，咱們未來可能要引入稀氫氟酸清洗步驟，用來去除自然氧化層。那時候pH值會降到2以下，溫度也會提到80℃以上……”
王工的擔憂不無道理。
晶片製造中，清洗是最基礎也最關鍵的步驟。
矽片表面的一個原子層厚的汙染，就可能導致整批晶片失效。
而清洗液的純淨度、容器的材料相容性，是這一切的基礎。
“換。”呂辰做出決定，“把所有可能接觸酸性介質的管路、閥門、罐體，全部升級材料清單。我下午就去找李廠長批外匯。”
“但交貨期……”
“分步實施。”呂辰思路清晰，“第一批，先把終端過濾器和噴淋頭這些最關鍵的部位換了。其他的，在DHF工藝正式匯入前完成替換。這中間有緩衝時間。”
王工點點頭：“也只能這樣了”。
兩人又討論了幾處細節，呂辰才繼續往前走。
走出管廊，冷風撲面而來。
1號廠房已經完成外部封閉。淺灰色的混凝土外牆顯得厚重而沉默，那一排排高大的豎窗玻璃已經安裝完畢，深灰色的窗框像巨獸的肋骨，整齊排列。
廠房門口，十幾名工人正在除錯特製的雙層密封門。
外層鋼製門板厚達十五厘米，內層是帶橡膠密封條的防火門。
門框四周，已經預埋好了氣密檢測感測器的介面。
“壓力測試做了嗎？”呂辰問門口的技術員。
“昨晚做了第一次正壓測試。”技術員翻看記錄本，“門內加壓到50帕，十分鐘後壓力下降不超過5帕，氣密性達標。但……”
他頓了頓：“防火門的自動閉合裝置有點卡滯，機械組的師傅正在調。”
兩名老師傅蹲在門軸旁，手裡拿著千分尺，正在測量鉸鏈的間隙。
其中一人頭髮花白，是廠裡從首鋼請來的八級鉗工，姓周。
“周師傅，甚麼問題？”
周師傅抬起頭，眼鏡滑到鼻尖：“門太重，自重一噸二。常規的閉門器力度不夠，得改。”
他指著手繪的草圖：“我打算在這裡加一組偏心輪和拉簧，利用門體傾斜時的自重勢能輔助閉合。但得算準角度，不然關門速度太快，會撞壞密封條。”
他說得很慢，但手上的動作精準而穩定。
千分尺的測量頭輕輕抵在鉸鏈銷軸上，讀數窗裡的數字精確到微米。
“多久能改好？”
“今天下班前。”周師傅很肯定，“我讓徒弟去機加工車間車偏心輪了，下午裝上去除錯。”
呂辰點點頭，這種老師傅的承諾，比任何進度表都可靠。
他轉身走向廠房側面，那裡是未來潔淨車間的裝置入口，一個巨大的、可以容納卡車進出的通道。
此刻通道還敞開著，幾名工人正在安裝頂部的風淋室骨架。
“小呂！”又有人喊他。
這回是陳光遠，他穿著和工人一樣的藏藍色工裝，臉上沾著灰塵，但眼睛亮得驚人。
“您也在？”呂辰快步走過去。
“潔淨區的格柵地板今天開始安裝，”陳光遠指向廠房內部，“我得盯著點。”
兩人一起走進廠房。
內部空間依然空曠，但已經能看出未來潔淨車間的雛形。
那個“玻璃魚缸”的骨架已經全部完成。
框架頂部，數百個風機過濾單元整齊排列，像一片銀灰色的方格天花板。
雖然還沒通電執行，但那種精密、秩序、肅穆的氛圍已經撲面而來。
地面上，工人們正在鋪設格柵地板。
這是一種特製的鋁合金格柵，表面經過導電陽極化處理，網格大小經過精心計算，既要保證足夠的剛度支撐人員和裝置，又要確保下方迴風暢通。
“水平度檢查了嗎？”陳光遠問現場負責的建築師。
“查了，每平米誤差不超過0.5毫米。”建築師指著地上的鐳射水準儀，“我們鋪一塊，測一塊，不合格當場調整。”
陳光遠蹲下身，用手摸了摸格柵表面。
觸感平滑微涼，網格邊緣處理得圓潤，不會有刮傷手套或產生微粒的風險。
“好。”他站起身，“記住，這裡將來是Class 100環境，一粒灰塵都可能毀掉一批晶片。每一個細節，都不能將就。”
“明白！”
呂辰和陳光遠繼續往裡走。
在潔淨區的核心位置，已經澆築好了幾個特別加固的裝置基座。
其中一個基座旁立著牌子，上面寫著“gk -201cgs”，那是未來光刻機的位置。
基座表面打磨得光滑如鏡，呂辰甚至能看見自己和陳光遠的倒影。
“梁先生昨天來複測過。”陳光遠說，“水平度±毫米，振動等級VC-A。”
“光刻機甚麼時候到？”呂辰問。
“長光所那邊來訊息，總裝已經完成，正在做最後的聯調測試。”陳光遠看了看手錶，“如果順利，十二月中旬可以拆解運輸，年底前能運抵北京。”
“那來得及嗎？”
“看安裝進度。”陳光遠望向四周，“潔淨區必須在十二月底前完成最終封閉和驗收，空調系統要聯調穩定，電力、氣體、純水都要就位。然後光刻機開箱、就位、調平、對接……每一步都不能出錯。”
陳光遠的語氣平靜，但呂辰聽出了其中的壓力。
光刻機是整個晶片製造的核心，也是最脆弱、最精密的裝置。
從長春到北京，一千多公里路程，任何顛簸、溫溼度變化都可能影響精度。
開箱必須在潔淨環境中進行，安裝必須在恆溫恆溼條件下，調平必須達到微米級……
“我們只有一次機會。”陳光遠輕聲說，“如果安裝失敗，或者精度不達標，沒有備用的機器，也沒有時間重來。”
6305廠的建設，就像在走鋼絲。
下面沒有安全網，也沒有回頭路。
兩人沉默了一會兒，看著工人們在格柵地板上忙碌。
鋁合金格柵一塊塊鋪開，逐漸連成一片，在廠房頂燈的照射下，泛著冷冽的金屬光澤。
那將是中國第一片真正意義上的晶片製造潔淨區。
在那裡，將誕生這個國家自主設計、自主製造的第一枚積體電路。
建設如火如荼地進行著。
一天又一天，廠房裡的景象每天都在變化。
格柵地板鋪設完畢，牆面和天花板開始安裝彩鋼板，空調管道接通，照明系統點亮……
十一月底，潔淨區完成最終封閉。
那天下午，所有參與建設的工人、技術員、工程師，全都聚集在1號廠房門口。
梁先生、宋顏教授、陳光遠副廠長、呂辰站在最前面，丘巖書記和李懷德廠長也從指揮部趕了過來。
“開始吧。”梁先生說。
控制室裡的技術員按下按鈕。
廠房內，數百個風機過濾單元同時啟動。
低沉的嗡鳴聲透過牆壁傳來，那是高效過濾器的風機在運轉，將外部空氣吸入、過濾、然後像瀑布一樣垂直向下吹送。
十分鐘後，廠房側門開啟，兩名穿著全套防塵服、戴著口罩和護目鏡的檢測人員走了進去。
他們手裡拿著塵埃粒子計數器，開始在不同位置取樣。
所有人屏住呼吸。
時間一分一秒過去，廠房裡安靜得能聽見自己的心跳。
二十分鐘後，檢測人員走出來，摘下口罩，臉上帶著難以置信的表情。
“梁先生……”領頭的那人聲音有些顫抖，“中心區域……塵埃計數……達到Class 104。”
“甚麼？”梁先生還沒說話，宋顏教授就一把抓過檢測報告。
白紙黑字，清清楚楚。
在潔淨區中心位置，每立方英尺空氣中，大於等於0.5微米的塵埃粒子數為104個。
Class 100的標準是100個，他們做到了Class 104。
“再測一遍！”梁先生點頭道。
檢測人員又測了九個點，包括角落、門口、裝置基座旁等容易積塵的位置。
結果依然令人震撼：最差的點位是168個，最好的點位只有71個。
平均值：Class 96。
“成了……”不知道誰先喃喃說了一句。
然後，掌聲響了起來。
開始是零星的，接著連成一片，最後變成震耳欲聾的歡呼。
工人們扔掉了安全帽，技術員們抱在一起，老師傅們抹著眼睛。
宋顏教授站在原地，手裡緊緊攥著檢測報告，指節發白。
他張了張嘴，想說甚麼，卻發不出聲音。
最後只是重重地、一遍又一遍地點頭。
呂辰覺得眼眶發熱。
他想起一年多前，在那個舊線材車間裡，他們用塑膠布和風扇搭建的第一個簡陋潔淨間。
那時候，能達到Class 就謝天謝地了。
而現在，他們建成了Class 96的超淨環境。
這意味著，中國有了真正意義上能夠製造積體電路的“無菌手術室”。
“同志們！”丘巖書記走到人群前，聲音洪亮，“我宣佈廠1號廠房潔淨區，正式透過驗收！”
掌聲再次雷動。
“但是！”丘巖話鋒一轉，“這只是一個開始。潔淨區建成了，裝置還沒到位，工藝還沒貫通，晶片還沒造出來。我們不能鬆勁，不能驕傲！”
他環視全場，目光銳利：“從今天起廠的建設進入最後衝刺階段。所有裝置安裝、系統聯調、工藝除錯，必須按小時計算進度！我們要在春節前，完成所有大型裝置的就位和初步調平！明年三月，必須開始工藝貫通試驗！明年八月，必須拿出第一片合格的晶片！”
“有沒有信心？”
“有！”山呼海嘯般的回應。
“好！”丘巖大手一揮，“各就各位，繼續幹活！”
人群散去，重新投入工作。
但每個人的腳步都更輕快，腰桿都挺得更直。
呂辰和宋顏教授並肩站著，看著工人們忙碌的身影。
“宋老師，”呂辰輕聲說，“我們真的走到這一步了。”
“是啊。”宋顏教授長舒一口氣，“但最難的還在後面。裝置安裝、工藝除錯……每一步都是鬼門關。”
“我知道。”呂辰笑了笑，“但至少，我們有了闖關的資格。”