9月11日,上午9點。
一輛墨綠色的軍用吉普和兩輛解放卡車,駛入八王墳6305廠工地。
丘巖、李懷德、陳光遠,以及宋顏教授、呂辰、謝凱等人,早已等在廠區門口。
呂辰手裡拿著一本厚厚的藍色資料夾,封面上印著“絕密”二字,裡面是6305廠一期工程的全部技術圖紙和進度表。
今天廠的基礎建設正式宣告完成。
從今天起,這片100來畝的土地,將從“土木工地”轉向“精密安裝”階段。
星河計劃理論組的核心專家、廠籌建指揮部的領導、各協作單位的一把手,今天都將齊聚於此,召開決定生產線最終技術方案和建設路徑的高層會議。
但在此之前,他們要親眼看看這片即將承載中國積體電路夢想的土地。
吉普車在6305廠高大的圍牆前緩緩停下。
圍牆是新砌的,灰白色的水泥牆面在陽光下泛著冷硬的光澤,頂部已經拉起了帶刺的鐵絲網。
幾名穿著軍綠色制服的工人,正踩著腳手架,在圍牆內側安裝第二道鐵絲網。
大門設計得異常低調,沒有牌匾,沒有裝飾,只有兩扇厚重的鐵門。
大門兩側各有兩名持槍戰士在站崗。
看到車隊停下,一名戰士上前查驗了證件和介紹信,這才示意開門。
鐵門緩緩向兩側滑開。
車隊駛入廠區。
首先映入眼簾的,是四棟巨大的鋼筋混凝土廠房。
它們呈“田”字形分佈,中間由連廊相接。
廠房的外牆已經粉刷完畢,是那種毫無特色的淺灰色。
外觀是簡潔到極致的幾何形體,長方形的主體,平直的屋頂,沒有任何多餘的裝飾。
最引人注目的是牆上那一排排高大的豎窗。
每扇窗戶寬約兩米,高近四米,間距均勻,從地面一直延伸到屋簷下。
窗框是深灰色的鋼製材料,玻璃還未安裝,露出一個個黑黢黢的洞口。
此刻,晨光從東方斜射,在這些窗洞中投下一道道光柱,讓整棟建築看上去像一頭沉睡的巨獸,而那些窗戶,則像它一道道凝視未來的目光。
梁先生穿著深藍色的中山裝,頭髮梳得一絲不苟,手裡拿著一個皮質筆記本。
作為6305廠的總設計師,從選址到佈局,從結構到管線,每一個細節都傾注了他的心血。
“梁先生,”呂辰道,“這種豎窗,真的設計對了。”
梁先生微微一笑,目光掃過那些窗洞:“建築的第一要務是功能。這裡將來要安裝的裝置和工藝,需要穩定的自然光輔助照明,但又必須杜絕外部窺探。這種豎窗,高度足夠,寬度適中,正好滿足要求。”
正說著,車隊來到近前停下。
眾人下車。
在丘巖的引導下,大家一起前往1號廠房,這是電路生產的核心車間。
站在廠房門口,更能感受到它的龐大。
廠房高約十五米,長約一百二十米,寬六十米。
人站在它面前,就像螞蟻站在大象腳下。
大門是特製的雙層密封門,外層是厚重的鋼製門板,內層是帶橡膠密封條的防火門。
此刻大門敞開著,裡面傳出各種有層次的聲音。
眾人跟隨丘巖,踏進廠房。
那一瞬間,彷彿進入了另一個世界。
主體結構已經完成,但內部仍是“裸露”狀態。
挑高遠超普通廠房,目測有十二米以上。
這是為了給未來巨大的空調風管、綜合管廊和裝置吊裝預留空間。
人站在廠房中央抬頭望,會不由自主地感到自己的渺小。
頭頂是縱橫交錯的鋼結構。
粗壯的工字鋼和H型鋼,像巨人的骨架,橫跨整個廠房。
這些鋼樑上已經焊接好了吊裝軌道和固定點,未來將用於支撐裝置、風管和各種管線。
此刻,工人們正在鋼樑上作業。
他們像蜘蛛一樣在高空移動,繫著安全帶,動作嫻熟而謹慎。
銀白色的巨大風管正被一節節吊裝上去,粗的直徑有一米多,細的也有二三十公分。
風管表面光潔,接縫處焊接得嚴絲合縫。
除了風管,還有各種顏色的管道。
藍色的管道是超純水系統,從動力中心延伸過來,像一條藍色的動脈;黃色的是特種氣體供應系統,氮氣、氬氣、氦氣,未來還會有矽烷、磷烷這些危險氣體;紅色的是消防管道;灰色的是真空管道。
這些管道粗壯、筆直,佈滿了法蘭、閥門和壓力錶,在鋼架上平行排列,望過去就像一幅巨大的工業抽象畫。
“這些管道……”半導體所的王守仁所長推了推眼鏡,仔細打量著,“全都是316L不鏽鋼?”
“大部分是。”陪同參觀的建築師回答,“超純水和特種氣體系統用的是進口的316L電解拋光管,內壁粗糙度要求Ra≤0.4微米。真空系統用的是304不鏽鋼,但焊接要求極高,全部是氬弧焊,焊後還要做鈍化處理。”
王守仁點點頭,沒再說話,但從他緊抿的嘴唇可以看出,他對這個標準是滿意的。
眾人繼續往裡走。
廠房的核心區域,景象更加震撼。
這裡將來會是Class 100甚至更高的超淨環境,是晶片製造最核心的“潔淨島”。
但現在,它還像個巨大的、未封頂的“玻璃魚缸”骨架。
巨大的金屬框架已經搭起,高約三米,佔地近兩千平方米。
框架是用特製的鋁型材組裝而成,表面做陽極氧化處理,呈啞光的銀灰色。
工人們正在框架頂部安裝風機過濾單元。
那些單元每個約一米見方,外殼是不鏽鋼的,正面是密密麻麻的蜂窩狀孔洞,那是高效過濾器的出風面。
工人們兩人一組,用特製的吊具將單元小心地吊裝到指定位置,然後用螺栓固定。
“一個單元多重?”國防科委的孫老問。
“連過濾器,大約八十公斤。”
孫老抬頭看去。
頭頂上,已經安裝好的風機過濾單元有上百個,整齊排列,像一片銀色的方格天花板。
未來,這些單元將像瀑布一樣向下輸送經過高效過濾的、最潔淨的空氣,在潔淨區內形成垂直層流。
而此刻,工人們還在繼續安裝。
他們站在腳手架上,動作一絲不苟,彷彿不是在安裝工業裝置,而是在穹頂作畫的工匠。
地面上的工作同樣精密。
幾十名工人正蹲在地上,用鐳射水準儀和特製的手持打磨機,處理混凝土地面。
未來的潔淨區地面,將是水磨石或環氧樹脂塗層,要求平整度極高,不能有任何裂縫、坑窪和起塵點。
“這裡的要求是±0.1毫米/2米。”一名技術員指著手裡的圖紙對工人說,“現在是±,還得再磨。”
工人點點頭,關掉打磨機,換上一片更細的砂輪,重新開始。
打磨機發出低沉的嗡鳴,混凝土粉塵被吸塵器及時吸走。
工人蹲在那裡,一下一下,動作穩定而耐心。
在潔淨區外圍,可以看到一個個澆築好的獨立混凝土基座。
這些基座比周圍地面高出約三十公分,表面打磨得光滑如鏡。
有些基座下面,已經預埋了巨大的彈簧隔振器,那是為光刻機、電子束曝光機等對微振動極其敏感的裝置準備的。
每個基座旁都立著一塊牌子,上面用紅漆寫著:
裝置:GCA 4800DSW(光刻機)
荷載:12.5噸
水平度要求:±
防振等級:VC-A
負責人:張建國
“這個水平度要求……”計算機所的夏先生蹲在一個基座旁,用手摸了摸光滑的表面,“能達到嗎?”
“現在實測是±。”一名頭髮花白的老師傅抬起頭,他手裡拿著一臺德國進口的精密水平儀,儀器用絲綢包裹著,只露出觀察窗,“但我不敢保證裝置放上去後還是這個數。混凝土有徐變,溫度變化也會引起微變形。”
“那怎麼辦?”
“裝置就位後,還要做最終調平。”老師傅認真地說,“我們預留了十二個調平地腳螺栓,每個都可以獨立調節。到時候一點點調,調到合格為止。”
夏先生站起身,拍了拍手上的灰:“這得調多久?”
“看情況。”老師傅收起水平儀,“順利的話,兩三天。不順利……可能得一個星期。這種精密裝置,急不得。”
眾人繼續參觀。
廠房裡的聲音複雜而有層次。
遠處,混凝土攪拌車還在作業,發出低沉的轟鳴;鋼筋切割機偶爾響起尖銳的嘯叫。
近處,電動扳手緊固螺栓發出清脆的“噠噠”聲;風管焊接的滋滋聲持續不斷;技術員用對講機發布指令的聲音清晰而簡短。
偶爾,能聽到老師傅用銅榔頭“鐺”地一聲輕敲某個部件,聲音在空曠的廠房裡迴盪,帶著一種奇特的韻律感。
氣味也很特別,給人的感覺是又“新”又“冷”,預示著未來無塵環境的要求。
新混凝土的微腥味、焊接產生的金屬氧化物氣味、油漆和環氧樹脂的化學味、還有一絲淡淡的消毒水氣味,那是為了防塵而噴灑的。
這裡的施工隊伍,也給人截然不同的感覺。
工人們穿著統一發放的工裝,藏藍色的棉布衣服,洗得發白,但乾淨整潔。
他們動作乾淨利落,分組作業,流水線般高效,很少大聲喧譁。
很多人走路的姿態、幹活時的習慣,都帶有明顯的部隊轉業人員的特徵,腰背挺直,動作標準,服從指令乾脆。
“這些是部隊兵轉業的300名士兵,其他的是正在培訓中的1200名工人。”丘巖低聲向孫老彙報,“都經過政審和保密培訓。”
孫老點點頭,目光掃過那些忙碌的身影。
除了工人,隨處可見來自各協作單位的老專家和老師傅。
有的蹲在裝置基礎旁,用精密水平儀反覆測量;有的對著管道圖紙,和施工隊長激烈而低聲地爭論;有的用粉筆在牆上畫出複雜的示意圖,向年輕技術員講解要點。
梁先生團隊的建築師、以及呂辰這樣的協調員,則像蜘蛛一樣穿梭在這些節點之間,隨時解決現場出現的問題。
牆上的管理看板也很有特點。
除了技術圖紙,還有詳細到小時的“施工進度甘特圖”,用不同顏色的磁條標示各工序的完成情況;有“問題追蹤板”,上面用磁貼貼著幾十個待解決的問題,每個問題都有編號、責任人、解決時限;還有“安全質量紅黑榜”,記錄著各施工隊的表現。
所有物料堆放得整整齊齊,鋼材、管道、閥門、螺栓,分門別類,標識清晰。
工具櫃裡,各種工具定置定位,用完必須歸位。
參觀到光刻區時,眾人看到了有趣的一幕。
那位之前和夏先生說話的白髮老師傅,正為了一個裝置基座的水平度,和一名年輕的施工員較勁。
“不行,還是差一點。”老師傅第三次用水平儀測量後,搖頭,“圖紙要求是±0.1毫米,但這裡是放光刻機的。光刻機是甚麼?那是要用光束在矽片上‘刻字’的,差一絲,線條就對不準。”
年輕的施工員滿頭大汗:“王師傅,我們測了三次,都是毫米,已經優於圖紙要求了。”
“也不行。”王師傅很固執,“我幹這行三十年了,安裝過蘇聯的機床,德國的精密儀器。我知道圖紙要求是最低標準,但實際安裝,要按最高標準來。這臺光刻機,將來是要造晶片的,晶片是要上天入地的。你現在差,裝置執行一段時間後,溫度變化、地基沉降,誤差會放大。到時候調都調不回來。”
“可是……”
“沒有可是。”陳光遠走了過來,他看了看水平儀的資料,又看了看那個打磨得光滑如鏡的基座,沉聲道,“按王師傅的來。繼續打磨,直到±以內。”
年輕的施工員張了張嘴,最終沒再說甚麼,轉身去拿打磨機了。
王師傅朝陳光遠點點頭,沒說話,繼續蹲下調整水平儀。
“這就是我們需要的態度。”劉星海教授輕聲和身邊的王先生說,“積體電路,玩的就是極限。差一絲,滿盤皆輸。”
最後,眾人來到連線動力中心與主廠房的綜合管廊。
這是一條地下通道,寬四米,高三米,兩側牆壁上佈滿了各種支架。
粗大的管道在頭頂和身邊延伸,望不到頭。
超純水管、氣體管、消防管、真空管、電纜橋架……。
它們平行排列,互相之間保持嚴格的間距,避免相互干擾。
管廊裡燈光昏暗,只有幾盞防爆燈發出黃暈的光。
空氣中有淡淡的金屬和油漆味,還夾雜著一絲潮溼的泥土氣息。
“這裡將來是廠區的‘生命線’。”動力中心的負責人介紹,“所有水、電、氣、化學品,都透過這裡輸送到各車間。管廊做了防水、防潮、防腐蝕處理,還安裝了溫溼度監控和洩漏報警系統。”
數學所的陳教授伸手摸了摸一根藍色的管道。
管壁冰涼,表面光滑,接縫處的焊縫幾乎看不見。
這根管道里將來流淌的,是經過十幾道工序提純的超純水,電阻率要達到18.2兆歐·厘米,幾乎不含任何雜質。
那是晶片的“血液”。
參觀持續了兩個小時。
當眾人從廠房走出來時,陽光已經升得很高,照在身上暖洋洋的。
但廠房裡那種肅穆、冷峻、精密的氣氛,還縈繞在每個人心頭。
“和想象中不一樣。”孫老深吸一口氣,“我以為會是那種燈火通明、裝置林立的工廠。沒想到……現在還像個巨大的空殼子。”
“空殼子才好。”劉星海教授道,“建築是骨骼,裝置是肌肉,工藝是靈魂。骨骼要先搭好,要正,要穩,要留有生長空間。”
劉星海看了看手錶:“十點半了。回去開會吧。”