參觀結束後，顧贇將三人請到一間小會議室。
房間簡陋，一張舊會議桌，幾把木椅，牆上掛著毛主席像和“實事求是”的標語。
暖水瓶冒著熱氣，搪瓷缸子裡泡著濃茶。
“宋教授，呂辰同志，謝凱同志，剛才你們看到的，就是我們真空所在‘薄膜化學氣相沉積’方面的全部家底了。”顧贇開門見山，語氣坦誠，“條件艱苦，水平有限。你們從紅星所來，見慣了自動化、系統化，看我們這套‘手工作坊’，怕是覺得落後吧？”
宋顏教授搖頭：“顧工言重了。恰恰相反，我們深受震撼。在這樣簡陋的條件下，你們能建立完整的工藝鏈，能穩定沉積出氮化矽、二氧化矽這些關鍵材料，這本身就是了不起的成就。”
文昭南教授介面道：“我們和真空所合作時間久，深知他們的難處。主要問題集中在幾個方面。”
他扳著手指列舉：“第一，‘測不準’與‘控不精’。真空度極限不高，微漏難查；氣體流量靠經驗估算；溫度控制精度差；環境擾動大。
第二，知其然不知其所以然’。工藝嚴重依賴老師傅的‘手感’，是典型的‘黑箱’，對薄膜的微觀結構、應力狀態、介面特性幾乎一無所知。
第三，‘需求牽引不足，目標模糊’。當前主要是為電子管服務，要求是‘牢固、均勻、耐高溫’。但對於未來積體電路所需的奈米級精度、超潔淨介面、特定電學效能，既無概念，也無需求。”
顧贇苦笑：“文教授總結得很到位。我們就像在黑暗裡摸索，偶爾點亮一根火柴，看到一點光亮，但不知道整個房間是甚麼樣子。”
這時，呂辰從隨身揹包裡拿出一片樣品，那是剛才劉師傅製作的氮化矽薄膜基片，顧贇特地送給他們作紀念的。
呂辰將基片舉到窗前，對著光仔細觀看。
薄膜在陽光下呈現淡淡的藍紫色虹彩，均勻而緻密。
“顧工，文教授。”呂辰轉過身，“請允許我說幾句可能冒昧的話。”
所有人的目光聚焦在他身上。
“你們的工作，不是‘手工作坊’，而是一門‘藝術’。”呂辰說，“在真空中，用精密的化學反應，在物體表面‘生長’出一層效能完全不同的新物質，這本身就是一種魔法。劉師傅調節閥門時的那種專注，觀察流量計浮子時的那種敏銳，是任何自動化裝置都無法替代的‘工匠直覺’。”
他走到會議室角落的黑板前，那是一塊真正的黑板，表面已經磨得光滑，邊緣堆著粉筆灰。
呂辰拿起一支粉筆，開始畫圖。
他先畫了一個簡單的結構，兩層平行的金屬板，中間是絕緣層。“這是電容器，你們熟悉。”
接著，他在絕緣層中間畫了一個小方塊，引出兩條線。“但如果，我們在這裡開一個‘門’，用一層極薄的絕緣膜作為‘門’的介質，下面是用特殊處理的半導體材料……”
他快速地畫出了一個簡易的金屬-氧化物-半導體場效應電晶體結構圖。
“這就是未來積體電路的基礎單元，電晶體。”呂辰用粉筆點了點那層極薄的絕緣膜，“這一層，可能只有幾十個原子那麼厚。它的厚度均勻性、介面潔淨度、電荷陷阱密度，直接決定了電晶體的效能、速度、功耗和可靠性。”
他轉身，望著顧贇和文昭南：“你們現在沉積的氮化矽、二氧化矽，正是未來這層‘門介質’的核心候選材料。你們研究的‘化學氣相沉積’，將不再是電子管的輔助工藝，而是建造整個微電子大廈的基石技術之一。”
會議室裡安靜極了，只有暖氣管片輕微的嗡鳴。
幾位老研究員盯著黑板上的結構圖，眼神從疑惑逐漸變為震驚。
他們熟悉電子管，熟悉真空技術，但呂辰描述的這個世界，用一層幾十個原子厚的薄膜來控制電流，將成千上萬個這樣的結構整合在指甲蓋大小的矽片上，完全超出了他們的想象。
“可是……這怎麼可能？”一位頭髮花白的老工程師喃喃道，“那麼薄的膜，怎麼控制厚度？怎麼保證均勻？怎麼測量？”
“這正是問題的關鍵。”呂辰放下粉筆，“難點不在於原理，化學反應你們已經掌握了。難點在於，如何將你們所有的經驗，從一門依賴老師傅‘手感’和‘直覺’的‘藝術’，變成一套可重複、可量化、可設計的‘精密科學’。”
他回到座位，語氣更加懇切：“劉師傅能透過觀察浮子位置估算流量，這很了不起。但如果能給他一個質量流量控制器，讓流量精確到每秒多少毫升；如果能給他的加熱系統裝上更精確的溫度控制器，讓溫度穩定在±1°C；如果能用質譜儀實時監測反應腔內的氣體成分；如果能用橢圓偏振儀線上測量膜厚……那麼，他的經驗就不再是‘黑箱’，而可以轉化為數學模型，可以寫成工藝規範，可以教給其他人。”
顧贇深吸一口氣：“呂辰同志，你說的這些裝置，我們聽說過，但買不到，也造不出來。一臺進口的質量流量控制器，要幾萬美元，還得外匯。橢圓偏振儀，我們這臺自制的，已經是所裡最精密的儀器了。”
“所以我們需要合作。”宋顏教授接話道，“紅星所有‘掐絲琺琅’電路板的經驗，有脈衝電機的控制技術，有正在研發的‘電子耳朵’感測系統。我們也許可以從最簡單的開始。”
他提出了兩個具體方向：“其一，我們可以共同研製一個簡易‘射頻輝光放電’實驗裝置。傳統的熱壁CVD需要高溫，對許多基片材料不友好。射頻輝光放電可以在較低溫度下實現薄膜沉積，這對未來在矽片上整合多層結構至關重要。”
“其二，我們可以為你們的沉積系統加裝自制的、基於‘掐絲琺琅’電路的簡易溫度-流量程式控制器。不需要一步到位達到國際水平，但至少可以做到：設定一個溫度曲線，控制器能自動調節加熱功率；設定氣體流量比例，能透過步進電機驅動的針閥進行粗調。先把資料記錄下來，建立工藝引數與薄膜效能的關聯資料庫。”
謝凱補充道：“我們還可以設計一套簡易的資料採集系統，用‘掐絲琺琅’電路板做訊號調理和模數轉換，把溫度、壓力、流量這些關鍵引數實時記錄下來。有了資料，就可以做統計分析，找到影響薄膜質量的關鍵因子。”
文昭南教授眼睛亮了：“這個思路好！先從‘資料化’開始。我們工業學院在自動控制理論方面有積累，可以負責演算法和系統建模。真空所有工藝經驗，紅星所有工程實現能力，三方合作，正好互補！”
顧贇激動地站起來：“我這就寫報告，向所領導申請立項！不，我直接去找所長，今天下午就開協調會！”
這時，呂辰想起一件事：“關於溫度控制……我們紅星所正在研發‘紅外測溫’技術，可以非接觸式測量物體表面溫度，精度很高，響應速度快。”
他頓了頓，語氣變得謹慎：“但這項技術，目前還處於保密階段，主要面向國防和重點工業應用。”
顧贇立刻明白：“我懂。我會以真空所名義，正式向紅星所提出技術協作申請，走正規渠道，報上級批准。如果‘紅外測溫’能用到我們的沉積系統上，實現線上監測基片表面真實溫度，那將是革命性的進步！”
會議氣氛熱烈起來，三方人員圍在黑板前，你一言我一語，討論技術細節、分工方案、時間節點。
呂辰看著這些眼睛發亮的研究人員，心中感慨。
他們此刻討論的，還只是一些簡陋的輔助裝置、粗糙的資料採集系統。
但在未來，這些嘗試將催生出中國的第一代半導體工藝裝置，從手動控制的CVD爐，到半自動的澱積系統，再到完全計算機控制的叢集式薄膜生長裝置。
從“老師傅的手感”到“工藝規範資料庫”，從“觀察浮子”到“質量流量控制”，從“估計厚度”到“線上膜厚監測”——這條路漫長而艱難，但今天，就在這間簡陋的會議室裡，第一步已經邁出。
會議持續到中午。
真空所食堂送來了午飯，高粱米飯、白菜燉豆腐、鹹菜疙瘩。
大家就著茶水，一邊吃一邊繼續討論。
文昭南教授提出了一個想法：“宋教授，對於將工藝‘資料化’，我深表贊同。不過，我們現有的檢測手段，無論是干涉法測厚，還是電測法測阻，得到的都是宏觀、間接的‘結果’引數，無法反映薄膜生長過程中的微觀狀態變化。”
“我在想，我們能否設法做一個裝置，結合我們真空所對電子束的控制經驗，學和微弱訊號檢測方面的理論優勢，共同研製一臺，嗯，或許可以叫它‘電子探針表面分析以及北大、清華等學校在電子光儀’的原型機？”
他繼續闡述道：“它的目標不一定非要達到原子級別的精度，而是專注於解決我們最頭疼的幾個問題，一是薄膜表面的真實形貌，是否平整、有無凸起或孔洞；二是微小區域的成分是否均勻，比如是否出現雜質偏聚。哪怕解析度只能做到亞微米級，並能對幾個微米大小的區域進行簡單的成分激發和光譜分析，對我們理解工藝、建立‘引數-結構-效能’的關聯，就是革命性的進步了。”
文昭南教授建議道：“這個目標，我覺得以‘星河計劃’協調的力量，加上電子管廠在電子槍和真空部件製造上的經驗，是‘跳一跳可能夠得著’的。它既能作為未來更高階電鏡的技術預研和人才培養，又能立即服務於我們當前工藝最佳化的迫切需求。你們看，這個方向是否值得探討？”
這樣一個提議，既解決了對“看見微觀世界”的終極需求，又腳踏實地、目標合理。
呂辰內心震動，他語氣帶著壓抑不住的興奮：“文教授，您這個想法太關鍵了！一針見血！ 我們剛才一直在討論如何把‘藝術’變成‘科學’，但所有的‘科學’都必須建立在‘觀測’的基礎上。如果我們連薄膜表面到底是甚麼樣子都看不清，裡面的原子是怎麼排列的都不知道，那所有的工藝最佳化都像是在蒙著眼睛調整一臺精密的鐘表。”
他走到黑板前，在剛才畫的電晶體旁邊，畫出一個簡化的SEM原理圖，電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室、探測器。
“這不是一個獨立的儀器，文教授。這是為我們整個‘星河計劃’打造的‘工業眼睛’。光刻需要檢查掩模版的缺陷，薄膜沉積需要觀察膜層質量和介面，甚至未來檢測晶片的失效點，都離不開它。您提議的，正是打通從‘工藝’到‘認知’最關鍵的一環。”
緊接著，他迅速將宏偉藍圖拉回到現實：“當然，我們不可能一上來就造出這樣的電鏡。但我們可以定一個清晰的、分階段的目標，先造一臺‘看得見’的機器。解析度不追求奈米級，先做到亞微米級，能讓我們看清薄膜表面的顆粒、裂紋和針孔，這已經比光學顯微鏡飛躍了一大步。”
宋顏教授也立刻意識到這個提議的極端重要性和可行性，他接過話頭：“文教授這個提議，具有重大的戰略意義。它不僅僅是真空所的需求，更是‘星河計劃’全鏈條的共性需求。半導體所需要觀察矽單晶的缺陷，長光所需要檢測光刻鏡頭的汙染和鍍膜質量，我們積體電路實驗室未來更需要它來分析失效機理。”
他快速勾勒出一個聯合攻關的框架：“這件事，必須由‘星河計劃’領導小組來牽頭協調。清華和北大的電子物理、電子光學教研室有理論基礎；長光所有最精密的光-機加工能力，可以負責鏡筒和樣品臺的精密機械部分；真空所有真空系統和電子槍的經驗；電子管廠能生產核心的陰極和高壓電源；而我們紅星所，可以貢獻控制電路，以及系統整合的經驗。這正是一次完美的‘全國一盤棋’協作。”
他看向顧贇和文昭南：“顧工，文教授，我建議我們今天就把這個設想作為一個正式的合作意向，寫入會議紀要。我下午向劉星海教授和‘星河計劃’領導小組彙報，申請將它列為緊急預備專案，協調各單位的頂尖力量組成‘電子光學儀器攻關協作組’。我們可以先從一個可行性研究和方案設計開始。”
顧贇當即提出具體啟動方案：“好，既然宋教授負責申請專案，那我們這就立刻開始做事，不等全部批覆。首先，拜託文教授聯絡北大和清華，儘快整理一份關於掃描電鏡和電子探針的物理原理、核心引數、技術難點的最簡報告，特別是電磁透鏡的設計公式和像差理論。其次，我立即聯絡電子管廠，盤點我們現有哪些部件可以直接用或改造。”
他頓了頓：“我看，我們可以把最難的‘高解析度成像’放一放，先利用電子管廠生產示波管的技術，製造一個簡單的次級電子探測器。哪怕最初成像粗糙，只要能證實電子束轟擊樣品能產生可探測的訊號，就是勝利的第一步。”
會議的氣氛會從探討具體工藝合作，瞬間升維到一項激動人心的國家級尖端儀器攻堅戰的起點。
文昭南的提議像一顆火種，瞬間點燃了呂辰團隊心中早已準備好的乾柴。
這讓他感到極大的鼓舞和欣慰，因為他發現自己的“遠見”不僅被聽懂了，更被一個擁有強大執行力和資源協調能力的團隊接住了，並且瞬間被賦予了清晰的路徑和國家的重量。
臨走前，顧贇鄭重地將三個木盒交給宋教授：“這是我們所能做出的最好的氮化矽、二氧化矽、金屬鋁薄膜樣品，每種三片。還有我們歷年的實驗記錄摘要副本。請帶回紅星所，作為合作的基礎。”
“我們一定全力以赴。”宋顏教授握著顧贇的手，“回去後，我們立即組織團隊，制定詳細合作方案。”
“好！我們等你們的好訊息！”
走出真空所，已是下午兩點多。
冬日的陽光斜照在紅磚樓上，給這座沉默的“戰鬥堡壘”鍍上一層金色。