第二天下午，列車緩緩駛入長春站。

車窗外，站臺的景象與北京、山海關截然不同。

灰色的水泥站臺更顯寬闊，立柱上刷著半人高的深綠色油漆。

月臺上的人群穿著厚實的棉衣，男人大多戴著東北常見的狗皮帽子，女人圍著厚厚的毛線圍巾，撥出的白氣在清冷的空氣中凝成一團團。

“長春到了。”王營長已經收拾好行裝，“宋教授，小呂，小謝，咱們就此別過，祝你們工作有成！”

三人與王營長道別後，提著行李下車。

剛踏上站臺，凜冽的寒風便撲面而來，比北京的風更幹更硬，像帶著細小的冰針。

“宋教授！呂辰同志！謝凱同志！”一個穿著藍色棉製服、戴眼鏡的中年男人朝他們快步走來，“我是長春光機所科研處的李振華，奉所裡指示來接三位！”

寒暄過後，一行人穿過車站大廳，走出大門。

長春的街道比北京更寬闊，路邊的建築多是三四層的蘇式樓房，灰黃色的外牆在冬日的天空下顯得格外肅穆。

街邊高大的楊樹葉子早已落盡，樹幹上整齊地刷著白色石灰，像統一的冬裝。

鉛灰色的天空低垂，空氣中瀰漫著冰雪將至的氣息。

吉普車駛離車站，向南湖方向開去。

沿途街道規整如棋盤，偶爾能看到偽滿時期留下的日式建築，與新中國的建築並列，形成跨越時代的對話。

越往南湖方向，建築越稀少，大片的空地和零散的平房映入眼簾。

“咱們光機所在南湖大路附近。”李振華介紹道，“這一片是科研單位集中的地方。王大珩先生就是看中這裡遠離市區，干擾少，有擴充套件空間。”

車子拐上南湖大路，路面平整。

路兩旁是整齊的松樹，即使在冬季也保持著深綠色。

遠處，一片建築群逐漸顯現，被圍牆環繞的園區，中央一棟四層蘇式主樓巍然矗立，深灰色的磚石外牆，陡峭的坡屋頂，高大整齊的窗戶。

大門柱上掛著白底黑字的牌子：中國科學院光學精密機械儀器研究所，字型莊重有力。

持槍的衛兵檢查證件後放行，園區內道路整潔，松柏挺立，主樓前的小廣場中央，五星紅旗在寒風中獵獵飄揚。

李振華安排三人入住主樓後的招待所。

房間雖簡樸但乾淨暖和，暖氣片散發著穩定的熱量。

晚飯時間，李振華接他們到主樓地下的食堂。

穿過坐滿科研人員的大廳，來到用屏風隔出的小間，已有四五人在等候。

“宋教授，歡迎！”一位五十多歲、頭髮花白、戴黑框眼鏡的長者率先起身，“我是陳光遠，主管光學部。王大珩所長在北京開會，委託我接待三位。”

陳光遠與三人一一握手，目光在呂辰身上多停留了一瞬：“呂辰同志，劉星海教授在電話裡特別提到了你。後生可畏！”

“陳副所長過獎了。”呂辰謙虛道。

陳光遠又介紹在座的其他人：光學設計室主任張工、精密機械室主任王工、光電控制室主任孫工，都是各領域骨幹。呂辰注意到，桌邊還有幾張陌生面孔。

“這幾位是兄弟單位派駐我們所，聯合攻關光刻機專案的同志。”陳光遠繼續介紹，“哈工大精密機械系的周工，上海機床廠技術科的劉工，武水院電網實驗室的趙工。”

三人起身與呂辰他們握手。

周工約四十歲，面容精幹，手上有老繭，一看就是常在一線；劉工稍年輕，戴著一副深度眼鏡，鏡片後的眼睛透著技術人員的專注；趙工則是典型的工程師模樣，說話條理清晰。

“沒想到能在這裡遇見‘星河計劃’的同志。”哈工大的周工笑道，“我們在所裡搞了大半年機械平臺，你們紅星所在自動化方面的威名，我們早有耳聞，咱們一定要好好交流交流。”

上海機床廠的劉工推了推眼鏡：“我們廠負責精密工作臺的加工，遇到不少工藝難題。聽說你們在‘掐絲琺琅’電路板上解決了類似問題，很想取取經。”

武水院的趙工說話直接：“電網穩定是精密裝置的基礎。你們搞自動化，對電力質量要求肯定也高，咱們有共同語言。”

這意外卻合理的相遇讓呂辰精神一振。

光刻機的研發果然不是光機所一家之事，而是全國協作的系統工程。

晚飯是簡單的東北菜，但有一碗熱氣騰騰的酸菜白肉湯，在寒冷的冬夜格外暖胃。

席間，話題自然轉向技術。

“陳副所長，”宋教授開口，“光刻技術是積體電路製造的關鍵，這次來就是想深入瞭解你們的進展和困難。”

陳光遠放下筷子，神情嚴肅：“我們目前已經能在玻璃基板上穩定刻劃出線寬5微米左右的圖形，但離積體電路需要的2微米甚至更細，還有不小差距。”

“瓶頸在哪裡？”宋教授問。

“多方面。”張工說，“首先是光源。高壓汞燈紫外輸出不穩定，能量起伏導致曝光不均勻。其次是物鏡——我們自研的復消色差物鏡，理論解析度能達到2微米，但實際裝調後，像差、畸變控制不理想。”

哈工大的周工插話：“機械部分問題也大。我們設計的工作臺用蝸輪蝸桿傳動，理論定位精度能達到微米級。但實際執行中，溫度變化、振動、導軌磨損……各種因素疊加，重複定位精度就下來了。”

上海機床廠的劉工點頭：“加工精度也有極限。我們廠能做蝸輪蝸桿，但齒形誤差累積起來，傳到工作臺末端，誤差就放大了。而且材料熱處理後的尺寸穩定性，還需要改進。”

武水院的趙工接著說：“電力質量問題。我們測試過，所裡電網電壓波動能達到±10%，頻率也有漂移。對精密裝置來說，這是致命的。”

王工嘆了口氣：“最頭疼的是套刻誤差，兩次曝光對不準，圖形就重疊不上。平均偏移3微米，最大達到8微米。這個誤差對積體電路是致命的。”

呂辰認真聽著，這些問題的根源他前世在書本上都讀過：需要更穩定的光源、更精密的物鏡設計、閉環反饋系統、更純淨的電力……但在1962年，這些技術要麼不存在，要麼剛剛萌芽。

“我們聽說你們在‘掐絲琺琅’電路板方面取得了突破。”陳光遠看向呂辰，“那種工藝對精度要求也很高。你們是怎麼解決類似問題的？”

呂辰想了想：“陳副所長，我們的‘掐絲琺琅’工藝本質是‘以粗代精’。銅線直徑0.5毫米左右，誤差允許0.1毫米——靠熟練工人的手感就能達到。但光刻需要微米級精度，差了兩個數量級。”

他頓了頓：“不過，我們在質量控制上的一些思路也許有借鑑意義。我們建立嚴格的工藝規範，每道工序都有明確的引數範圍和檢驗標準。記錄每一批產品的資料，分析波動規律，找出影響質量的關鍵因素。雖然‘精度’不高，但‘一致性’在逐步提升。”

陳光遠若有所思：“資料積累、過程控制……工業化管理的路子。”

“是的。”呂辰點頭，“精密技術不能只靠個別老師傅的手藝，必須把經驗轉化為可重複、可傳授的工藝規範。哪怕一開始規範不完美，但只要有資料積累，就能不斷最佳化。”

哈工大的周工眼睛一亮：“這個思路好！我們搞機械的，老師傅調導軌間隙，手感玄得很。要是能把‘手感’量化成資料……”

“我們也嘗試過。”上海機床廠的劉工說，“但加工中的變數太多：刀具磨損、冷卻液溫度、材料批次差異……記錄不過來。”

武水院的趙工笑道：“我們電網監測倒是一直在記錄資料。電壓、頻率、諧波……積累了幾年，確實找出了一些規律。比如每天下午兩點，廠區大電機啟動時，電壓會驟降。我們就調整了供電方案。”

陳光遠看向呂辰：“聽說你在半導體所建議了‘光學記錄裝置’和‘模型實驗’？”

呂辰一愣。

陳光遠笑了：“王守方所長昨天給我打電話，把你那兩個建議誇了一通。說你們走後，所裡連夜開會決定嘗試。他還讓我轉告，要謝謝你的建議。”

小間裡的人都笑了起來。

“小呂你也要多給我們提主意。”陳光遠語氣溫和：“年輕人敢想敢說，是好事。我們這些老傢伙有時容易陷入思維定式。聽聽不同角度的聲音，沒準真能開啟新思路。”

晚飯在輕鬆的技術交流中結束。

陳光遠囑咐三人好好休息，明天一早開始正式參觀。

第二天清晨，起床鈴響。

呂辰拉開窗簾，東方天際泛著魚肚白，園區路燈還亮著，幾個早起的人影已在主樓前走動。

早飯後，眾人開始參觀，第一站是光學加工車間。

推開厚重的隔音門，一股混合著冷卻液、拋光粉和金屬的氣息撲面而來。

車間燈火通明，一排排拋光機轟鳴運轉。

每臺機器前站著工人，身穿深藍色工裝，專注地觀察鏡片與拋光模的接觸，不時新增乳白色的拋光粉懸浮液。

“這是古典拋光法。”張工介紹，“工人靠手感控制壓力、速度和拋光時間，最終要讓表面粗糙度達到奈米級。”

操作工人是個四十多歲的老師傅，眼神專注得像在雕琢藝術品，他雙手輕扶拋光模邊緣，透過細微調整控制拋光壓力分佈。

車間牆上貼著巨幅質量控制標準：

透鏡中心偏差：不得大於0.5秒

面型精度：λ/10（λ=）

表面粗糙度：Ra≤1nm

這些數字背後是近乎苛刻的精度要求。

0.5秒的角度偏差，相當於在100米距離上偏差不到毫米；λ/10的面型精度，意味著鏡片表面起伏不能超過63奈米——不到頭髮絲直徑的千分之一。

哈工大的周工，拿起一臺振動測量儀貼在機架上。

他指著手持儀表的指標，對呂辰等人說道：“我們懷疑工作臺定位精度不夠，部分原因是拋光機振動傳導。你看這讀數，機器一開，基礎振動就傳到整個車間。雖然光刻機有隔振地基，但低頻振動很難完全隔離。”

陳光遠嘆氣：“這是老問題了，廠裡機床多，重型裝置一開，地面都顫。我們拋光最怕這個，一震，鏡片表面就出波紋。”

“想過主動隔振嗎？”宋顏教授問。

“想過，但成本太高。”周工搖頭，“一套氣浮隔振平臺，得進口，外匯批不下來。我們現在用橡膠墊加彈簧，效果有限。”

離開光學車間，下一站是裝調實驗室。

實驗室裡，幾張龐大的花崗岩光學平臺佔據大部分空間。

平臺上，複雜的系統正在裝調：鐳射器、透鏡組、反射鏡、分光稜鏡……構成一條條精密光路。

科研人員趴在平臺旁，眼睛緊貼自準直儀或顯微鏡目鏡，一隻手緩緩旋轉微調旋鈕。

動作輕柔得彷彿呼吸重一點都會影響精度。

一位位三十來歲的女科研人員在旁邊記錄著資料，上海機床廠的劉工拿把筆記本拿了起來，上面密密麻麻寫滿了資料：溫度、溼度、調整步驟、檢測結果……

劉工指了指筆記本：“受你昨天的啟發，我覺得應該系統記錄。你看這位女同志，她調這個光譜儀系統已經三天了。我問她調了甚麼、為甚麼這麼調，她只能說‘感覺’。這不行，經驗必須能傳遞。”

女科研有些不好意思：“劉工說得對。我們光學裝調，很多時候確實靠‘感覺’。看干涉條紋的形狀，就知道哪裡高了低了。但要說清楚為甚麼，難。”

“那就從記錄開始。”陳光遠強調，“每次裝調，記錄下所有可量化的引數：室溫、溼度、每個調整螺絲轉了多少度、調整前後的干涉條紋變化。時間長了，資料多了，也許能找出規律。”

第三站是精密機械車間。

車間裡機床轟鳴，空氣中瀰漫著切削液的味道。

這裡加工的是光刻機原型機的機械部件。

車間中央，一臺大型龍門銑床的工作臺上固定著光刻機工作臺基座，老師傅正用千分表測量平面度。

武水院的趙工表情嚴肅：“昨天晚飯後，我測了所裡幾個點的電壓，波動比想象中大。你們看這個插座，標稱220伏，實測在210到230之間跳。頻率也不穩，49.8到50.2赫茲。”

“對光刻機影響大嗎？”宋顏教授問。

“很大。”趙工說，“精密裝置對電源質量極其敏感。電壓波動會導致光源輸出不穩定，曝光不均勻。頻率漂移會影響同步電機轉速，進而影響工作臺定位。更別說突發的電壓尖峰，可能直接燒燬控制電路。”

“所裡沒有穩壓裝置？”

“有，但老了，響應速度慢。”趙工嘆氣，“而且整個所共用一臺大穩壓器，不同裝置互相干擾。我建議每臺精密裝置配獨立穩壓電源，但成本太高，所裡還在考慮。”

旁邊工作臺上，幾個年輕技術員正在組裝蝸輪蝸桿傳動部件。

蝸輪齒面光滑如鏡，蝸桿閃閃發亮。

他們用汽油仔細清洗每一個零件，在放大鏡下裝配。

“間隙要調到2微米以內。”一個技術員低聲說，“太緊會卡死，太鬆回程誤差大。”

“溫度補償算了嗎？”同伴問。

“算了，按20度基準做的。實際執行會發熱，留了0.5微米膨脹餘量。”

呂辰聽著，心裡點頭。

這些考慮已觸及精密機械的核心，不僅要靜態精度，還要考慮動態執行中的溫度、振動、磨損。

終於，他們來到此行的核心目標，第一代光刻機原型所在的實驗室。

實驗室保密等級更高，進入前要登記，交出筆記本，穿上白大褂和鞋套。

警戒線內，那臺“大傢伙”靜靜矗立。

它比想象中更大，整體像巨大的鐵櫃，長約兩米，寬一米五，高約一人半。

暗灰色鋼板外殼上有不少接線孔和觀察窗。

機器上方伸出粗黑的電纜，連線牆上的配電櫃。

旁邊還有水冷機，水管蜿蜒連線到機器內部。

透過正面的厚玻璃觀察窗，能看到內部結構：圓形的工作臺，上方懸吊的鏡筒，側面的光源痕跡。

“整體結構半封閉。”陳光遠介紹，“內部需保持潔淨。操作時，把塗有感光膠的玻璃基板放工作臺上，關門，抽真空或充氮氣，然後曝光。”

張工拿來一塊玻璃片放在顯微鏡下：“這是曝光測試結果。”

呂辰湊到目鏡前。視野裡是密密麻麻的線條圖案，線寬約5微米。但線條邊緣不直，有微小波浪起伏；寬度不均勻；有些地方線條斷了。

“5微米線寬測試圖形。”張工說，“問題很多：線條邊緣粗糙，寬度波動超30%；區域性斷線；不同區域線條寬度差異——曝光不均勻導致的。”

王工指著另一塊玻璃片：“這是兩次曝光的結果，先刻水平線，再刻豎直線，理論上應形成完美網格。但你們看。”

呂辰再看，水平線和豎直線交叉形成網格，但交叉點不對齊，有的偏移，有的完全錯開，網格歪歪扭扭。

“平均偏移3微米，最大8微米。”王工嘆氣，“這個誤差對積體電路是致命的。”

陳光遠總結：“工作臺定位重複精度不夠；溫度變化導致熱脹冷縮；振動干擾……很多問題理論上知道解決方案，但實際做起來，要材料、要工藝、要裝置，更要時間和經驗。”

實驗室安靜下來，只有原型機內部隱約的風扇聲和水冷機執行聲。

這是中國第一代光刻機雛形，粗糙、不穩定、精度有限，但它代表一種方向，一種從無到有的突破。