“炎黃計劃”的軍令狀如同泰山壓頂,讓龍芯工業剛剛因“織網”系統而輕鬆些許的氛圍,再次變得凝重如鐵。李明博院士留下的那份清單,每一項後面標註的技術要求和“卡脖子”現狀,都足以讓任何一個材料或裝置專家夜不能寐。
專項工作組成立後的第一次全體會議,氣氛就壓抑得讓人喘不過氣。
蘇小遠帶領團隊,率先對那份清單進行了深度剖析和難度評估。當她將初步分析結果投映到大螢幕上時,會議室裡響起了一片倒吸冷氣的聲音。
“各位,我們面臨的,是幾乎不可能完成的任務。”蘇小遠的聲音依舊清冷,但細聽能察覺到一絲緊繃,“以EUV光刻機用碳化矽反射鏡基材為例,其核心難點在於三個方面:極致純度、完美晶體與超光滑表面。”
她調出詳細的資料圖片和資料:
“極致純度:9個9(99.%)的純度,意味著每10億個原子中,不允許有1個雜質原子。這要求從原料源頭(高純矽粉和高純碳源)開始,到合成、燒結、加工的每一個環節,都必須處於超淨環境中,任何微小的汙染源(如裝置磨損、環境粉塵、甚至操作人員撥出的氣體)都可能導致前功盡棄。”
“完美晶體:基材內部不能有任何晶界、位錯、空洞等缺陷,必須是近乎完美的單晶或特定取向的高品質多晶。在厘米級尺寸上實現這一點,對晶體生長技術和熱場控制提出了變態的要求。”
“超光滑表面:反射鏡表面粗糙度要求達到原子級(RMS < 0.1奈米)!這相當於在一個足球場大小的面積上,起伏不能超過一根頭髮絲的直徑!而且不能有任何劃痕、凹坑等亞表面損傷。現有的研磨、拋光技術幾乎無法實現。”
“這還僅僅是基材!”蘇小遠切換頁面,“後續的精密鍍膜(在基材上鍍上多達上百層的、厚度精確到原子級別的鉬/矽多層膜,以反射極紫外光)、面形檢測與修正……每一步都是天塹!”
王胖子聽得兩眼發直,喃喃道:“我的親孃嘞……這哪是造材料,這分明是讓咱們手搓一個完美無瑕的微觀宇宙啊!還得是原子級別的平整!這得請玉皇大帝來當質檢員吧?”
一位剛從某國家級材料研究所挖來的老專家推了推眼鏡,嘆氣道:“蘇總工分析得很到位。不客氣地說,以我們地球現有的技術積累,尤其是基礎工藝和檢測手段,想要獨立攻克EUV光刻機全套技術,沒有二三十年,甚至更長時間的持續投入,根本看不到希望。這不僅僅是技術問題,更是整個工業生態和基礎科學的差距。”
會議室內一片沉默,絕望的情緒如同瘟疫般蔓延。就連一向樂觀的王胖子,也耷拉著腦袋,不吭聲了。之前搞超低溫鋼、五軸機床,雖然也難,但至少能看到路徑,知道努力的方向。可眼前這EUV光刻機,彷彿是一座根本看不到頂、光溜溜的絕壁,連個下腳的地方都難找。
林楓一直沉默地聽著,手指無意識地在桌面上敲擊。他知道同事們說的都是事實,是冰冷而殘酷的現實。但他更知道,如果不能攻克光刻機,之前所有的努力,龍芯工業所有的成就,在更高維度的競爭中都可能變得毫無意義。
難道真的只能按部就班,用幾十年時間去填補那令人絕望的鴻溝?國家等得起嗎?民族復興的程序等得起嗎?
不!絕不能!
就在這令人窒息的壓抑中,林楓猛地抬起頭,眼中閃過一絲決絕的光芒。他不能透露系統的存在,但他可以引導方向!
“大家說的都很對,很難,難如登天。”林楓的聲音打破了沉默,吸引了所有人的目光,“但是,大家有沒有想過,我們為甚麼一定要沿著別人設定的路線去爬那座絕壁?”
他站起身,走到白板前,拿起筆,重重地畫了一個叉,將代表傳統EUV光刻技術的路線圖蓋住。
“EUV光刻,利用波長13.5奈米的極紫外光,透過無比複雜的反射鏡系統進行投影光刻,這條路,是ASML(阿斯麥)和它背後的整個西方技術聯盟,投入了數千億美元、數十年時間才走通的。我們再去重複,不僅時間來不及,專利壁壘也能把我們困死!”
“那……那我們能怎麼辦?”王胖子下意識地問。
林楓的目光掃過在場每一個人,語氣帶著一種引導性的亢奮:“換道超車! 為甚麼一定要用光?為甚麼一定要用那麼短的波長?為甚麼一定要那麼複雜的反射鏡系統?”
他接連幾個問題,把所有人都問懵了。
蘇小遠若有所思:“你的意思是……尋找替代光刻的技術路徑?”
“沒錯!”林楓肯定道,他開始將腦海中那些來自系統資料庫的、關於其他維度文明可能使用的微觀加工技術的殘缺資訊,用地球科學能夠理解的語言進行“轉譯”和“包裝”。
“大家想想,‘織網’系統的核心是甚麼?是資料,是資訊!”林楓在白板上寫下“資訊”兩個大字,“晶片的本質是甚麼?是將設計好的電路圖,‘翻譯’成矽晶圓上的物理結構。這個過程,是否一定要透過‘光’這個‘翻譯官’?”
他頓了頓,丟擲更加驚人的設想:“有沒有可能,我們直接跳過‘光’這個中間環節,用一種更直接、更高效的方式,將電路資訊‘寫入’矽晶圓?比如……利用精確控制的能量束(粒子束、場發射等)進行直接‘雕刻’? 或者,利用自組裝、奈米壓印等 bottom-up(自下而上)的技術,從原子分子層面直接‘生長’出我們需要的結構?”
這些概念並非林楓首創,在地球科研界也早有研究,但大多被認為是遠水不解近渴的“未來技術”。然而,從林楓口中說出,結合他之前一次次創造奇蹟的“祖傳手稿”,卻讓在座的專家們心中掀起了驚濤駭浪!
“直接寫入?自組裝?”那位老專家眼睛瞪大了,“林總,這些方向理論上可行,但面臨的解析度、速度、成本、一致性……問題比EUV恐怕只大不小啊!”
“問題大,但壁壘可能沒那麼高!”林楓反駁,他憑藉系統資訊的指引,知道某些路徑在高等文明中已被簡化,“比如,如果我們能開發出一種對特定能量束極其敏感、解析度達到原子級別的新型‘光刻膠’(或許應該叫‘能量刻蝕膠’),配合極其精密的能量束控制系統,是否就有可能繞開復雜的光學系統?”
“又或者,”林楓越說思路越清晰,“我們是否可以借鑑‘織網’AI的思路,不再追求一次曝光成型完美圖形,而是利用智慧演算法,將複雜圖形分解,透過多次、多角度的相對‘粗糙’的曝光或加工,再透過演算法進行合成和補償,最終達到甚至超越單次極紫外光刻的精度?這或許對光源和光學系統的要求就能大幅降低!”
林楓提出的這些思路,天馬行空,卻又隱隱指向某種可能性,讓在場的頂尖工程師和科學家們陷入了激烈的思考和爭論。有人覺得異想天開,有人卻彷彿看到了迷霧中的一絲微光。
王胖子雖然聽不懂那些高深的技術名詞,但他看懂了林楓眼中那熟悉的光芒——那是每次創造奇蹟前,楓哥都會露出的、充滿自信和智慧的光芒!
他猛地一拍桌子,嗷一嗓子把正在爭論的專家們都嚇了一跳:“都別吵了!聽楓哥的!楓哥說行,那就一定行!不就是換條路嘛!咱們有‘祖傳手稿’導航,還怕走錯路?幹就完了!”
蘇小遠也從最初的震驚中回過神來,她看著白板上那些凌亂卻充滿想象力的關鍵詞,眼神越來越亮:“林楓,你的意思是,放棄在傳統賽道上追趕,利用我們在AI、新材料和精密控制方面的優勢,開闢一條全新的晶片製造技術路徑?”
“沒錯!”林楓重重一拳砸在白板上,“光刻機是攔路虎,但我們不一定非要打死它,我們可以想辦法騎著別的坐騎,甚至自己長翅膀飛過去!系統……不,是祖傳手稿和我的直覺告訴我,這條路,雖然同樣艱難,但成功的機率,遠比去爬那座被嚴防死守的絕壁要大!”
會議的氣氛陡然逆轉!從絕望的死水,變成了充滿冒險精神和探索慾望的沸騰海洋!
儘管前路依然未知,儘管挑戰依然巨大,但一個全新的、充滿無限可能的方向已經被指出!龍芯工業的“炎黃計劃”攻關,沒有陷入傳統技術路線的泥潭,而是選擇了一條更加大膽、也更加符合林楓手中“金手指”優勢的——顛覆性創新之路!
王胖子已經興奮地開始給新專案起外號了:“咱們這新路線,叫‘飛虎計劃’怎麼樣?騎著飛虎,跳過光刻機這座大山!”
沒人理他,但每個人臉上,都重新燃起了鬥志。
林楓知道,這只是萬里長征的第一步。將那些模糊的“系統啟示”轉化為可行的技術方案,需要付出難以想象的努力。但至少,他們找到了一個可能的方向,一個屬於中國人自己的、通往晶片之巔的方向!
而他的腦海深處,那藍色的系統光屏上,關於“定向能量沉積”、“量子點自組裝”、“計算光刻與智慧補償”等更加具體的技術條目,正在微弱地閃爍著,等待著他去深入挖掘……