又是一天的忙碌，呂辰正要下班，電話鈴聲吵醒了。

“小呂，我是陳光遠。”陳光遠的聲音帶著興奮，“新產線明天進行聯調前的驗收，你早點過來。”

“幾點？”

“八點，廠辦集合。星河計劃各組的專家都會來，你負責產品中心的測試區域。”

“行，我準時到。”

第二天一早，呂辰從廚房拿了兩個饅頭，推著腳踏車就出了門。

七點剛過，就到了6305廠。

廠門口已經停了好幾輛車，有吉普，有伏爾加，還有一輛軍用卡車。

衛兵比平時多了兩倍，荷槍實彈，表情嚴肅。

呂辰掏出工作證，衛兵仔細核對了兩遍，又翻了翻登記簿，才揮手放行。

他把車停在廠辦樓下，正往裡走，身後傳來一個聲音。

“小呂！”

回過頭，陳光遠從一輛黑色伏爾加里鑽出來，身後跟著四五個人，都是生面孔，但個個氣度不凡。

“陳廠長。”呂辰迎上去。

陳光遠拍了拍他的肩膀，臉上帶著笑，但眼神很嚴肅。

“走，先開個短會，然後去現場。”

一行人上了樓，來到二樓的會議室。

會議室裡已經坐了十幾個人，長條桌坐得滿滿當當。

宋顏、謝凱、王守仁、顧贇、文昭南都在，還有清華的柳教授、北大有胡思明，以及好幾個叫不上名字但面熟的人，都是星河計劃各組的專家。

每個人面前都攤著一個筆記本，搪瓷缸子裡泡著茶，茶葉梗浮在水面上，散發著茉莉花香。

陳光遠在主位坐下，清了清嗓子。

“各位，今天把大家請來，是給新產線把把關。”

他環顧了一圈，目光從每個人臉上掃過。

“新產線從去年立項，到現在一年多。

廠房是梁先生設計的，我們按圖紙一磚一瓦建起來。裝置也從全國各地調撥就位，今天，是騾子是馬，拉出來遛遛。

他頓了頓：“但我要先說一句。今天的驗收，不是走過場，不是搞形式。誰發現問題，當場提，當場記。能整改的立即整改，不能整改的限期整改。誰要是發現了問題不說，或者說了不記，那就是對星河計劃不負責，對國家不負責。”

會議室裡安靜了一瞬。

王守仁開口表態：“陳廠長，你放心，我們這幫老傢伙，眼睛裡揉不得沙子。該看的看，該查的查，該說的說。”

其他人也點頭認可。

陳光遠點點頭，翻開面前的檔案。

“那我先說一下驗收分組。”

他念了一長串名單，動力與保障中心、產品中心、製造中心，每個區域都有專人負責。

呂辰聽到自己的名字，產品中心，測試區域：“測試區域由顧贇同志負責，呂辰同志配合。”

測試區域的掃描電鏡、電子顯微鏡等裝置，都是顧贇主持安裝除錯的。

呂辰點頭：“明白。”

“還有問題嗎？”陳光遠看了看錶，“現在是七點四十，八點整，各組到各自區域集合。中午十二點，回這裡碰頭，彙總情況。”

眾人紛紛起身，收拾東西往外走。

呂辰和顧贇一起走出會議室：“呂工，走吧，先去測試區。”

兩人下了樓，推著腳踏車往新產線方向走。

新產線的整體佈局，像一個“|彡|”形，簡潔，有力，充滿工業美學的秩序感。

兩條豎線，是動力與保障中心和產品中心，灰白色的外牆，方方正正的窗戶，整整齊齊排列著，像兩個沉默的巨人。

中間那三撇，是三個長達200米的製造中心，外觀全是到頂的豎窗，從屋頂一直延伸到地面，像巨大的雨幕。

陽光從東邊照過來，打在那些豎窗上，反射出耀眼的光芒。

呂辰停下車，站在那裡看了好幾秒。

“震撼吧？”顧贇也停下來，站在他旁邊，“我第一次來的時候，也看呆了。梁先生的設計，不光是實用，還有一種......怎麼說呢......”

“莊嚴。”呂辰接過話。

“對，莊嚴。”顧贇點點頭，“這是一座殿堂，晶片的殿堂。”

兩人推著車繼續往前走，在產品中心門口停下來。

門口已經站了幾個人，都是驗收組的專家，正聚在一起小聲討論著甚麼。

顧贇掏出鑰匙，開啟了一扇小門。

“測試區在產品中心的三樓，走，上去看看。”

三人沿著樓梯往上走，樓道里很安靜，只有腳步聲在迴盪。

每層樓的樓道口都有一道鐵門，門上貼著“非請勿入”的牌子，還貼著保密須知。

顧贇掏出鑰匙，一道一道地開門，動作熟練而迅速。

到了三樓，她推開最後一道門，側身讓呂辰進去。

“到了。”

呂辰走進去，愣了一下。

測試區是一個巨大的空間，面積足有上千平方米。

地面是淡綠色的環氧自流平，光滑如鏡，能照出人影。

天花板是鋁合金吊頂，嵌著一排排日光燈，把整個空間照得亮如白晝。

靠牆是一排排實驗臺，臺上擺著各種儀器裝置，示波器、訊號源、頻譜儀、萬用表，整整齊齊，像士兵列隊。

最裡面是一面巨大的玻璃隔斷，隔斷後面是潔淨區，穿著白色潔淨服的人影在裡面走動，動作緩慢而謹慎，像在水裡行走。

最近的一張實驗臺上，放著一線軍綠色的掃描電鏡。

銘牌上刻著“中國科學院北京真空電子技術研究所研製”幾行字。

和之前交付的那一臺相比，精緻了不少，敦實中多了些精密工業之美。

呂辰湊近仔細看了看，儀器的面板上的旋鈕和開關佈局更加簡潔合理，每一個都標著功能，字跡工整。

顧贇聲音裡帶著一絲無奈：“各方面都最佳化了一下，更易於操作，也更穩定了，但解析度還是300埃，想突破到100埃，得等下一臺了。”

呂辰拿起旁邊的操作規程，翻了翻，每一步操作都寫得清清楚楚、

“誰寫的？”

“我寫的。”顧贇說著開機演示。

呂辰對照著步驟過了一遍，確認沒問題。

呂辰點點頭，拿出本子記錄下來。

“帶我去看看其他裝置。”

顧贇領著他，一臺一臺地看。

電子顯微鏡、X射線衍射儀、紅外光譜儀、橢圓偏振儀、探針式輪廓儀、四探針電阻率測試儀……

每一臺裝置都貼著標籤，標著名稱、型號、生產廠家、安裝日期、責任人。

清一色都是國產，清一色都是國防綠塗裝，外殼粗糙，旋鈕鬆垮，但運轉起來很穩。

有些裝置還是比不得進口的，不過只專注核心功能，基本上也能達到要求。

顧贇對每一臺裝置都如數家珍，引數、效能、使用方法、注意事項，張口就來，沒有半點猶豫。

走到一臺大裝置前面時，二人停了下來。

那是一臺一人多高的儀器，也是軍綠色的外殼，正面嵌著一塊顯示屏，顯示著一行一行的綠色字元。

旁邊有一個操作檯，臺上放著鍵盤和軌跡球，球面已經磨得光滑。

這臺電子束曝光機，是長光所的又一利器，用來製造光刻掩模版，精度0.5微米。

呂辰走過去，仔細看了看。

儀器的面板上，貼著一張手寫的“使用記錄表”，上面密密麻麻記著日期、使用者、使用時長、裝置狀態。

最後一欄是“裝置狀態”，每一行都寫著“正常”，字跡工整，簽名清晰。

“誰負責這臺裝置？”呂辰問。

“戚工。”顧贇喊了一聲。

一名穿著潔淨服的中年人走了過來，手裡拿著一個資料夾。

他從資料夾裡抽出一張表格，遞給呂辰。

“這臺裝置嬌貴得很，對環境要求特別高。溫度波動超過0.5度，它就不穩定；振動稍微大一點，曝光就偏了。我每天早晚各檢查一次，記錄溫溼度和裝置引數。”

呂辰接過，是一張裝置日常點檢表，上面列了幾十項檢查內容，每一項後面都寫著檢查結果和檢查人簽名。

從表格上的記錄看，從裝置安裝到現在，沒有一天漏檢。

呂辰把表格還給他，又問：“操作人員培訓了嗎？”

“培訓了。”戚工翻開資料夾，“這是培訓記錄。我們一共培訓了12個人，每個人都要透過理論和實操考核才能上崗。考核不過的，繼續培訓，直到過關為止。”

他把資料夾遞過來，呂辰翻了翻。

每一頁都貼著考核試卷和實操評分表，紅筆批改，分數清清楚楚。

12個人裡，有3個人第一次考核沒透過，補考後才過關。

補考的那幾頁，試卷上密密麻麻寫滿了批註，錯在哪兒、為甚麼錯、怎麼改，寫得明明白白。

呂辰把資料夾合上，還給戚工。

“裝置、人員、制度，都沒問題。但有一個地方，我想再看看。”

“哪裡？”

“潔淨區的顆粒物檢測記錄。”

顧贇點點頭：“跟我來。”

他領著呂辰走到潔淨區的入口，從牆上取下一本厚厚的記錄本，遞給他。

“這是潔淨區的顆粒物檢測記錄，每天檢測三次，早中晚各一次。檢測點位覆蓋整個潔淨區，每個點位的資料都有記錄。”

呂辰翻開記錄本，一頁一頁地看。

資料記錄得很詳細，日期、時間、檢測點位、顆粒物濃度（≥0.5微米、≥5微米）、檢測人、複核人，每一項都填得工工整整。

從記錄上看，潔淨區的顆粒物濃度一直穩定在Class 96的標準以內，有些點位甚至達到了Class 10的水平。

呂辰翻到最後一頁，是上個月的彙總表。

表格裡統計了所有檢測點位的平均值、最大值、最小值，還畫了一張趨勢圖，顆粒物濃度的變化曲線平穩，沒有異常波動。

“這個彙總表是誰做的？”呂辰問。

“當前是我做。”顧贇說，“產線交付以後就是戚工來負責，每個月彙總一次，分析資料趨勢，發現問題及時處理。上個月有個點位的顆粒物濃度偏高，我們查了兩天，發現是一個高效過濾器的密封條老化了，換掉之後就正常了。”

他翻開記錄本中間的一頁，指著一行資料。

“你看，就是這個點位。4月12日到4月15日，資料連續偏高。4月16日更換密封條之後，資料就降下來了。”

呂辰仔細看了看，前後的資料對比確實明顯。

他把記錄本合上，放回牆上。

“顧工，你這個記錄做得很好。裝置、人員、制度、記錄，四樣齊全，測試區沒有問題。”

顧贇笑了笑：“那就好，我還擔心你們會挑出甚麼毛病呢。”

“毛病肯定有，但都是小問題，不影響大局。”呂辰說，“等驗收結束，再慢慢最佳化。”

兩人又看了幾臺裝置，確認沒有問題，才出了測試區。

下樓的時候，呂辰問了一句：“顧工，你怎麼參與起6305廠的建設來了？”

顧贇說：“嘿，別提了，也是抓壯丁，送掃描電鏡過來，安裝除錯了兩個星期，調著調著，就成了測試區的負責人了。”

呂辰又問：“電鏡現在怎麼樣了。”

顧贇道：“放了一段時間，研究崑崙的顯示器了。”

他頓了頓，低聲道：“現在，所裡條件雖然還是差，但星河計劃軍管後，人心算是穩了下來，柳教授回來了，電鏡、顯示器、光陰極管三個專案，一起推進。”

“光陰極管？夜視儀？”

顧贇點點頭：“對，劉星海教授牽的線，專供國防。”

他的聲音裡有一種說不清的感慨：“星河計劃好啊，文教授帶著我們，硬是把掃描電鏡搞出來了。”

呂辰點點頭，沒說話。

兩人出了產品中心，往製造中心走。

三個製造中心並排而立，每個都有兩百米長，外觀一模一樣，像三個巨大的孿生兄弟。

目前只有中間的那個製造中心佈置了生產線，左右兩個還空著，只安裝了管廊和基礎裝置，隨時可以擴充套件。

走進中間的製造中心，一股涼氣撲面而來。

呂辰和顧贇換了潔淨服，經過噴淋通道，進入潔淨區。

車間裡的溫度恆定在22度，溼度45%，空氣經過高效過濾器過濾，乾淨得像不存在一樣。

地面是防靜電的淡綠色環氧自流平，走上去有一種微微的澀感，但很穩。

天花板上的日光燈排成整齊的矩陣，把整個車間照得通明。

車間裡，生產線按照晶片製造的流程依次排開。

最前面是光刻區，GCA-301CGS光刻機靜靜地蹲在那裡，軍綠色的外殼，方方正正，像一個沉默的巨人。

機器旁邊圍著幾個人，劉高工站在最前面，手裡拿著一支手電筒，正彎腰往機器內部照。

鄭長楓蹲在機器側面，手裡拿著一把遊標卡尺，在量著甚麼。

呂辰走過去，站在旁邊看。

劉高工直起腰，把手電筒關了，轉過身看著眾人。

“解析度2微米，套刻精度±0.5微米。光電檢測自動對準、脈衝電機自動步進、二維卡儲存引數、自動載入工藝配方。操作人員要重新培訓，不能用老習慣開新機器。”

陳光遠在旁邊點頭：“劉高工放心，操作人員已經培訓了兩輪，下週還要再培訓一輪。”

劉高工沒說話，繼續彎腰檢查。

鄭長楓站起來，把手裡的遊標卡尺收進皮套裡。

“工件臺我看過了，步進精度0.1微米，跟實驗室資料一致。但長期穩定性還要再跑一跑，建議連續執行72小時，看看精度有沒有漂移。”

陳光遠在本子上記了一筆：“好，驗收結束後就安排。”

呂辰沿著生產線往前走。

光刻區後面是薄膜區，化學氣相沉積裝置、濺射臺、蒸鍍機，一字排開。

每臺裝置旁邊都貼著一張操作規程，字跡工整，步驟清晰。

裝置上還貼著“執行中”或“待機”的標籤，狀態一目瞭然。

再往後是擴散/離子注入區，高溫擴散爐、離子注入機，管道密密麻麻，像一座微縮的化工廠。

爐子裡的溫度高達上千度，但爐體外殼摸上去只是溫熱，保溫做得很好。

離子注入機的真空泵在嗡嗡地響，聲音低沉而穩定。

金屬化車間裡，胡教授正在檢查濺射臺和蒸鍍機，銀白色的金屬薄膜在一塊測試晶圓上均勻沉積，反射著燈光，像一面面微小的鏡子。

封裝區域在生產線的最末端，劃片機、鍵合機、封裝機，一臺挨著一臺。

鍵合機還是老款式，擺了幾十臺，這隻能用人來堆。

哈工大的周工正在一臺一臺檢查。

呂辰湊上去：“周工，怎麼樣？”

周工搖搖頭：“對準還是要人工，依我看，下一步得加上自動對準。”

呂辰拿起旁邊一顆測試晶片，放在手心裡看了看。

晶片不大，比指甲蓋還小一點，但拿在手裡沉甸甸的，有一種實在的質感。

他用拇指輕輕摩挲了一下封裝表面，光滑，平整，沒有毛刺。

翻過來看背面，引腳光亮，排列整齊，間距均勻。

呂辰把晶片放回去，繼續往前走。

走到生產線盡頭的時候，他回過頭，看了一眼整條線。

光刻、薄膜、擴散/離子注入、金屬化、封裝，每一步都清清楚楚，每一臺裝置都在安靜地執行。

這條線，像一個精密的鐘表，每一個齒輪都在自己的位置上。

走出製造中心，呂辰又去了動力與保障中心。

那是新產線的“心臟”。

一進門，就是巨大的配電室，雙迴路供電的開關櫃整整齊齊地排列著，綠色的指示燈一排一排地亮著，像繁星點點。

配電室隔壁是柴油發電機房，三臺巨大的柴油發電機組並排而立，每臺都有小卡車那麼大，軍綠色的外殼，擦得鋥亮。

發電機組的排氣管從屋頂伸出去，管壁包著厚厚的隔熱棉。

再往裡走，是飛輪儲能系統。

一個巨大的飛輪在真空腔體內高速旋轉，發出低沉的嗡嗡聲，像一頭沉睡的野獸在喘息。

呂辰站在飛輪前面，感受著那低沉的震動。

腳下的地面在微微顫抖，不是那種劇烈的地震，而是一種深沉的、有力的脈動，像大地的心跳。

看完電力系統，又去看超純水系統。

超純水車間在動力中心的另一側，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一個微縮的水處理廠。

自來水經過多級過濾、反滲透、離子交換、紫外線殺菌，最後變成18兆歐·毫米的超純水，透過全迴圈管路輸送到各個用水點。

技術員開啟一個取樣閥，接了一杯水，遞給呂辰。

“呂工，您嚐嚐。”

呂辰接過來，喝了一口。

水的味道很特別，不是自來水的澀，也不是礦泉水的甜，而是一種“空”的感覺，甚麼都沒有，乾淨得像不存在。

“好水。”

呂辰點點頭，又去看特種氣體系統。

高純氮氣、氫氣、氧氣的儲罐並排而立，不鏽鋼管道電拋光內壁，接頭處光亮如鏡。

氣體純化器在嗡嗡地響，確保雜質低於ppb級。

每個氣瓶櫃上都貼著“高壓、易燃、助燃”的警示標誌，旁邊還放著防爆櫃和應急噴淋裝置。

安全措施做得一絲不苟。

最後是空調淨化系統。

巨大的風機在轟鳴，空氣透過高效過濾器送入車間，再從地板迴風口抽回來，迴圈往復，確保潔淨度。

風機的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只聽見低沉的嗡嗡聲。

溫溼度控制面板上，數字穩穩地停在22.0℃和45%，一動不動。

呂辰在動力中心待了將近一個小時，把每一個系統都看了一遍。

電、水、氣、風，每一樣都做得紮實，每一樣都考慮到了冗餘和安全。

看完動力中心，已經十一點半了。

十二點整，所有人回到會議室。

陳光遠坐在主位，面前攤著一個本子，上面密密麻麻記著各組的驗收意見。

“一個一個來。”他說，“動力中心，先彙報。”

柳教授翻開本子：“電力系統，雙迴路供電正常，柴油發電機組啟動時間8秒，飛輪儲能系統響應時間3毫秒，達到設計要求。超純水系統，出水電阻率18.2兆歐·厘米，全迴圈管路無死角，水質穩定。特種氣體系統，純度達標，管道洩漏檢測合格，安全設施齊全。空調淨化系統，潔淨度Class 96，溫溼度控制±0.3°C，達到設計要求。”

他合上本子，看著陳光遠。

“動力中心，驗收透過。”

陳光遠在本子上記了一筆，看向顧贇。

顧贇站起來：“產品中心，測試區域。掃描電鏡、電子顯微鏡等23臺裝置，全部安裝除錯完成，操作人員培訓合格，操作規程、點檢記錄、維護保養制度齊全。裝置效能達到設計要求，測試區域驗收透過。”

陳光遠點點頭，看向劉高工。

劉高工站起來：“製造中心，生產線。光刻機解析度2微米，套刻精度±0.5微米，工件臺步進精度0.1微米，達到設計要求。薄膜、擴散/離子注入、金屬化、封裝各工序裝置執行正常，工藝引數穩定。試生產良率62%，接近設計目標65%。”

他頓了頓，又說：“建議連續執行72小時，驗證長期穩定性。另外，操作人員的熟練度還有提升空間，建議加強培訓。”

陳光遠在本子上記下來，一一詢問各環節的檢查情況，大家也提了一些意見，不過都是些不痛不癢的小細節，陳光遠也一一記錄。

不一會兒就彙總完了，陳光遠看著所有人：“各位的意見，我都記下來了。動力中心、產品中心、製造中心，全部透過驗收。”

他頓了頓，聲音提高了一些。

“但透過驗收不是終點，是起點。下週一，新產線正式聯調。連續執行72小時，驗證長期穩定性。同時，啟動良率提升計劃，三個月內，良率要從62%提升到70%以上。”

他看著劉高工、顧贇、鄭長楓、胡教授等人。

“各位，有沒有問題？”

“沒有。”

“好，散會。”

眾人站起來，收拾東西往外走。

呂辰走出辦公樓，站在臺階上，看著遠處那五座巨大的建築。

陽光從正上方照下來，豎窗反射著刺目的光，像一座座水晶宮殿，矗立在那裡，沉默而莊嚴，又像是上帝丟棄的積木，自然而隨意。