翌日清晨,編寫組的成員們早早便聚集在臨時分配的小會議室裡。
一位來自會務方的年輕教師簡明交代了任務。
編寫組將按專題討論組別進行劃分,各自負責整理對應組的討論記錄,核心任務是提煉出其中的技術需求、可共享資源清單以及初步達成的合作意向,並進行標準化歸類。
最終,所有小組的成果將彙總整合,形成《技術協作與課題攻關備忘錄》初稿的核心素材。
任務明確,效率至上。
簡單的自我介紹和分工確認後,眾人便迅速進入了狀態。
呂辰被分到了一個綜合記錄小組,負責的範圍涵蓋了“前瞻技術”組的大部分內容,以及“材料與工藝”組中涉及新型材料和製備技術的部分。
這無疑是一個極具挑戰性卻也充滿機遇的位置。
會議室裡很快安靜下來,只剩下紙張翻動的嘩啦聲、筆尖劃過稿紙的沙沙聲,以及偶爾響起的、壓低嗓音的確認與討論。
陽光透過窗戶,照亮了空氣中浮動的微塵,也照亮了這些年輕面孔上的專注與認真。
呂辰面前擺著一堆厚厚的記錄稿和各單位提交的課題簡介中。
他負責的部分,不僅包含了昨日“前瞻技術”組關於北大魏知遠教授那個宏大理論模型的激烈討論,更夾雜著許多其他單位提交的、在當前看來似乎有些“天馬行空”、應用前景模糊的“邊緣課題”或“基礎研究”專案。
他快速的記錄著:
北大-一鋼理論中心,複雜工業自動化系統通用理論模型……
當前階段,理論構建與模擬驗證完成,缺乏大規模工業現場資料支撐……
合作意向,尋求具備全流程自動化實踐平臺的單位進行聯合驗證與資料校準……
呂辰將這條仔細記錄下來,並在旁邊備註了“紅星-清華實踐基地已初步接洽。
接著,他翻到下一份記錄,來自長光所,附在北大牽頭的一個光學研究專案之下,但似乎並未在大會上重點提及。
課題名稱是‘高精度光學微細圖形曝光技術’,主要應用於製造高精度衍射光柵、顯微鏡標尺等光學元件。
當前瓶頸限於微米級圖形加工穩定性、掩模製備精度等。
技術特點是利用紫外光進行表面圖形化,可實現非接觸、高解析度圖案轉移。
討論組認為該技術是光學儀器精度提升的關鍵,但在一般工業領域應用前景尚不明確,研發投入較高。
看到這裡,呂辰的心臟猛地一跳!
光學微細圖形曝光技術?
紫外光進行表面圖形化?
高解析度圖案轉移?
這……
這不就是光刻技術的雛形嗎?
是未來積體電路製造的核心環節之一!
他強壓下心中的激動,繼續往下看,發現這項技術在討論中被歸類為“專用精密儀器製造技術”,優先順序並不高,被認為與當前主流的鋼鐵、機械等重工業領域關聯度不大。
他又陸續看到了幾條被“淹沒”在眾多課題中的記錄。
一個是來自中國科學院半導體研究所的‘高純度單晶矽區域熔鍊技術’。
該技術透過先進的區域熔鍊方法,能夠提純矽材料,獲得純度高達6N以上的單晶矽。
其申報目的,是用於當時更受關注的半導體二極體和電晶體的研發。
在討論中,它被記為“半導體材料純化工藝”,看起來只是電子元器件領域的一個輔助性技術。
最主要的是,在當前鍺電晶體仍佔主導、矽材料應用前景不明且提純能耗巨大的背景下,這項技術被認為“不經濟”,未能得到足夠重視。
另一個是來自工業學院-真空電子技術研究所的‘真空薄膜化學氣相沉積技術’。
該技術旨在真空環境下,透過精確控制的化學反應,在基片表面沉積一層氮化矽薄膜,目的是為了增強電子管的耐用性和絕緣效能。
在當前情況下,隨著電晶體技術的興起,電子管漸顯頹勢,這項技術也被視為“過時”,且其薄膜沉積的精度要求遠超當時一般工業需求,因此被看作是“實驗室裡的玩具”。
但在呂辰看來,這分明就是晶片製造中不可或缺的化學氣相沉積工藝的基礎,是未來沉積絕緣層和金屬佈線層的關鍵技術!
最後一個甚至是清華大學電子工程系自家的成果,‘超精密電子束掃描定位技術’。
該技術利用電子束在真空中的微米級掃描與定位,主要用於電子顯微鏡的影象分析和材料表面探測,被列為“電子光學儀器精度提升專案”。
其研究目的非常純粹,就是為了服務科研成像。
然而,呂辰知道,這正是電子束光刻的前身,不僅可以用於製造高精度的光刻掩模版,甚至能直接進行晶片電路的“寫入”,是實現極高精度電路圖案的又一利器。
只是因其裝置昂貴、操作複雜,在六十年代初的中國,僅能用於少數頂尖高校的基礎研究,自然被批評為“脫離生產實際”。
呂辰拂過記錄這些技術的紙張,內心波瀾起伏。
這四項技術,幾乎涵蓋了積體電路製造最基礎的材料提純、圖形生成、薄膜沉積幾個關鍵環節。
它們此刻是如此稚嫩、如此孤立,分散在不同單位,服務於各自看似並不緊迫的目標,甚至因為“超前”而飽受質疑,經費和支援力度都處於較低水平。
但在呂辰的腦海中,它們已經可以串聯起來,勾勒出一幅未來晶片產業的宏偉藍圖。
他可以清晰地論證,光學曝光技術如何與“掐絲琺琅”電路板技術互補,解決弱電領域更高精度的圖形化需求;
高純度矽材料如何為電晶體乃至未來的積體電路整合化提供可能;
真空沉積和電子束技術如何一步步將電路做得更小、更密、更強大……
“呂辰同志,看你對著那幾頁紙出神半天了,有甚麼發現嗎?”一位其他學校的年輕助教注意到他的異樣,探頭過來看了一眼他正在整理的內容,隨即不以為然地笑了笑。
“哦,這些啊……長光所的‘刻花’,半導體所的‘煉矽’,還有真空所的‘鍍膜’……想法都挺有意思,算是‘陽春白雪’了。不過,”他壓低了聲音,“現在連穩定可靠、成本低廉的電晶體大規模生產都還沒完全搞定,談這些微米級、奈米級的玩意兒,感覺像是另一個世界的事情,是不是有點太遠了?”
另一位技術員也湊過來看了看,搖搖頭,語氣務實:“聽著就燒錢。咱們現在最缺的是能儘快應用到生產線、提高鋼鐵產量和質量的技術。這些……好看是好看,但不實在啊。”
也有持不同看法者,一位老師扶了扶眼鏡,謹慎地表示:“既然有單位鄭重其事地提出來,說明在其專業領域內,肯定看到了獨特的價值。科學發展有時需要一些前瞻性的佈局,或許未來某個基礎領域取得突破後,這些技術就能立刻派上大用場。記錄下來,總歸不是壞事。”
面對同事們大多不看好甚至略帶輕視的態度,呂辰沒有急於反駁。
超越時代的認知往往難以被立即理解。
他深吸一口氣,更加專注地投入到記錄工作中。
他不僅要儘可能準確、清晰地還原這些課題的技術要點,更在備忘錄專用的“技術特點”和“潛在價值”欄目裡,審慎而堅定地新增上更具前瞻性的描述。
在“光學微細圖形曝光技術”後,他加上了:“該技術原理在未來微電子器件圖形化製造中可能具有重要潛力,建議關注其精度提升與應用拓展”。
在“高純度單晶矽區域熔鍊技術”後備注:“此為構建高效能半導體器件及潛在整合系統的基礎核心材料,其純度與晶體質量至關重要”。
對於“真空薄膜化學氣相沉積技術”,他寫道:“精確的薄膜沉積技術是構建複雜多層微結構的關鍵,於未來電子器件微型化意義重大”。
而在“超精密電子束掃描定位技術”的評價中,他提及:“極高精度的定位與‘書寫’能力,為製造極限尺寸的電子器件提供了另一種可能路徑”。
這個“打下手”的記錄和歸類工作,看似瑣碎、被動,卻陰差陽錯地提供了一個獨一無二的視角。
一個能從上百個或宏大或具體的技術討論中,跳脫出來,窺見那些可能決定未來數十年科技走向的“星火”的視窗。
他無法在此刻直接決定國家科研資源的流向,但他可以竭盡全力,確保這些極其珍貴、卻容易被忽視的“火種”不被遺漏,能夠以一種清晰、甚至略帶強調的方式,呈現在那份即將提交給高層領導和各參與單位的備忘錄素材之中。
這,或許就是他此刻所能做的、最具長遠意義的事情。
一天的緊張整理工作接近尾聲,各小組開始彙總初步成果。
呂辰將他精心整理、特別是加入了前瞻性備註的那部分材料,鄭重地交給了小組負責人。
傍晚,會議安排了一段自由交流時間。
呂辰找到了正在與幾位老友交談的劉星海教授,遞上一個眼神。
劉星海會意,很快找了個藉口脫身,與呂辰走到禮堂外一處相對安靜的角落。
“劉教授,”呂辰開門見山,語氣中帶著難以抑制的激動,“今天在整理‘前瞻技術’和部分材料工藝的記錄時,我發現了四項技術。”
他迅速將光學微細圖形曝光、高純度單晶矽、真空薄膜化學氣相沉積、超精密電子束掃描這四項技術及其背後的研究單位,清晰地複述了一遍。
劉星海教授聽著,略帶疲憊的眼神逐漸變得銳利起來,他雖然沒有呂辰那樣的“前世”記憶,但其深厚的學術功底和戰略眼光,讓他立刻捕捉到了呂辰話語中不同尋常的意味。
“你的意思是……這四項看似不相干的技術,背後有一條能串聯起來的主線?”劉星海沉吟道,手指無意識地在空中虛點著。
呂辰用力點頭:“是的,劉教授。它們分別解決了積體電路,也就是將大量電晶體微型化並整合到一小塊半導體材料上的技術,所必需的幾個最基礎也是最關鍵的環節:純淨的基底材料、精確的電路圖形刻畫、以及絕緣與導電薄膜的沉積。單看每一項,或許應用侷限,前景不明,但若能有機結合,系統性攻關,極有可能開闢出一條屬於我們中國自己的微電子產業發展道路!”
他進一步闡述其顛覆性意義:“您可以想象,如果成功,我們或許就能製造出比如今的‘掐絲琺琅’電路板功能強大千百倍、體積卻小千百倍的控制核心。這對於我們正在追求的自動化、對於未來的計算機、對於所有需要複雜邏輯控制的工業裝置和國防裝備,都將產生革命性的影響!這絕非遙不可及的空想,而是有切實技術路徑可以探索的未來!”
夜色漸濃,燕園的晚風帶著涼意,但兩人的討論卻越發火熱。
呂辰隨手撿起一根樹枝,在泥地上粗略地畫出了積體電路構想的基本結構,分析著這四項技術在其中可能扮演的角色,以及它們之間可能的依存關係和演進路徑。
劉星海教授越聽越是心驚,同時也越是興奮。
他敏銳地意識到,呂辰所指出的,可能是一個足以改變未來科技的戰略方向。
“看來,這次百工大會,我們的收穫遠比想象中更大啊!”劉星海教授站起身,目光灼灼地望向遠處燈火通明的禮堂,“不能任由這些寶貴的‘種子’繼續散落、被忽視。我們必須有所行動。”
他沉思片刻,一個清晰的策略在腦中形成:“明天是大會最後一天,下午有自由發言和議題倡議環節。這是一個機會。我們需要準備一個聯合倡議,就以這四項技術為核心,提出一個跨單位、跨學科的‘微電子與積體電路基礎技術聯合研究’課題。”
隨後,他又提了各家的優勢與分工:“長光所負責圖形曝光,半導體所攻堅材料提純,真空所和工業學院專注薄膜沉積,我們清華和相關的電子系、精儀系,可以牽頭系統整合、電子束技術應用以及最終器件的設計驗證……甚至可以拉上北大,他們的理論模型或許能在電路設計和最佳化上提供支援!”
他的語氣變得堅決:“目標很明確,藉助百工大會這個平臺和即將成立的協作機制,將這些分散的力量初步整合起來,形成一個‘聯盟’。即便暫時無法爭取到大量資源,也要把這個方向正式提出來,納入國家視野,把這些關鍵技術牢牢抓在我們自己手裡,爭取納入即將成立的重點實驗室框架!”
最後,劉教授嘆了一口氣:“實在不行,我們也要想辦法透過技術交換或合作研究的方式,先把這些技術的關鍵資料和人才接觸渠道弄到手!”
呂辰重重地點了點頭,胸中一股豪氣湧動。
歷史的軌跡,或許就將因這次看似偶然的記錄工作,以及隨之而來的果斷行動,而發生微妙的偏轉。