實驗大廳內,一臺嶄新的極紫外光源裝置正安靜佇立,像一頭沉睡的巨獸。厚重的鉛玻璃隔離牆後,數十名研究員屏住呼吸,死死盯著監控屏。
“開始點火。”
隨著指令落下,裝置內部的高能脈衝閃爍,液態錫靶被擊中,剎那間爆出一抹耀眼光弧。
“能量讀數……過高!穩定性下降!”
“等離子體偏移,輸出波長出現漂移!”
警報聲驟然拉響,實驗室內燈光瞬間轉為紅色。不到兩秒,光弧便像被狂風吹散的火苗一樣搖晃、扭曲,最後轟然熄滅。
“又失敗了!”
“壽命不到0.8秒,根本無法維持!”
有人洩氣地癱倒在椅子上,聲音嘶啞。
這已是他們連續第七次點火實驗。光源要麼過早熄滅,要麼能量暴走,始終無法穩定。大家心裡都清楚,如果解決不了這個問題,整個計劃就會功虧一簣。
沉重的空氣壓得人快要窒息。就在此時,伍思辰走到主控臺前,淡淡開口:“把剛才的能量曲線調出來。”
研究員立刻操作,螢幕上出現一條瘋狂震盪的曲線。
伍思辰凝視片刻,眉頭微皺:“問題不在等離子體,而在點火的‘引線’。”
“引線?”年輕研究員愣住了。
伍思辰手指在螢幕上飛快地圈出幾個點:“你們現在的點火方式,是單級脈衝直擊錫靶,能量瞬間爆發過猛,導致等離子體紊亂。換句話說,你們是在讓它‘一下子燃盡’,而不是‘慢慢燃燒’。”
他頓了頓,目光鋒銳:“解決辦法很簡單——加一道前級柔性脈衝,讓錫靶先進入半激發態,再用主脈衝引爆。雙級點火,就能把光源穩住!”
全場一震!
一位物理學專家猛地起身,眼睛放光:“對啊!這就是軟引燃!先給靶心一個溫和的預熱,再疊加主脈衝,就像點燃火藥前先打底火!”
“快,馬上修改程式!”
研究員們立刻行動,飛快地調整引數,將原本單一的高能脈衝拆分成前後兩級。
“點火倒計時,三、二、一!”
再次啟動的瞬間,液態錫靶被柔性脈衝輕輕激發,閃爍出穩定的輝光。緊接著,主脈衝轟然擊下,光弧瞬間膨脹,但這一次,它並沒有紊亂,而是像被無形之手固定在空中,燃燒得均勻而持久。
“能量穩定!”
“壽命突破5秒……10秒……20秒!”
監控屏上的曲線幾乎穩如直線,實驗室裡爆發出壓抑不住的驚呼聲。有人激動地捂住嘴,有人紅著眼喊出聲:“成功了!真的穩住了!”
伍思辰看著那道持續燃燒的光弧,眼神如刀鋒般銳利。他聲音不大,卻震得每個人心頭髮燙:
“記住,這只是第一步。但今天,你們證明了——別人說不可能的,我們照樣能做到。”
全場爆發出山呼海嘯般的掌聲與歡呼,科研人員們激動得幾乎落淚。那一刻,壓在心頭的陰霾被徹底擊碎。
他們知道,大夏的光刻機,真正點燃了!
光源實驗的成功,讓團隊士氣大振,但所有人都清楚:這只是光刻機的一隻翅膀。真正能否飛起來,還要看另一隻——高精度反射鏡。
沒有足夠穩定的反射率,就無法把極紫外光束精準聚焦到奈米級的晶圓上。前期使用的鉬矽多層鏡,壽命不過幾次點火,便被燒成了黝黑的廢片。
於是,所有的希望都壓在伍思辰提出的“碳奈米管複合鍍層”上。
第一次實驗
厚厚的防護罩後,鍍層完成的第一片反射鏡緩緩送入光源通道。控制檯內,研究員們屏住呼吸。
光源點火!極紫外光束噴薄而出,打在鏡面上。
最初的幾秒,監測曲線平穩,反射率高達72%。全場振奮。
可還沒等人歡呼,監控畫面陡然閃爍,鏡片邊緣驟然龜裂,像蛛網一樣瞬間蔓延。
“裂了!”
轟的一聲,實驗艙內的警報響起,反射率資料直線墜落。那片來之不易的試片,就這樣報廢。
所有人神色慘白,彷彿被潑了一盆冷水。
第二次實驗
伍思辰沒有說話,只是讓材料組重新調配工藝。
這一次,他們在碳奈米管鍍層下增加了合金緩衝層。
新鏡片緩緩進入光源艙,點火!
光弧穩定燃燒,反射率保持在70%以上,整整一分鐘,眾人屏住呼吸,彷彿時間都停止了。
然而,伴隨一聲刺耳的噼啪,鏡片表面驟然出現一圈焦痕,緊接著大片鍍層剝落,彷彿碎雪般墜落在底部收集槽。
“還是不行……熱衝擊太強,緩衝層沒撐住。”
年輕工程師幾乎要哭出來。
第三次實驗
會議室裡,氣氛壓抑到極點。有人低聲嘆息:“難道我們真的走錯了方向?”
伍思辰猛地一拍桌子,聲音冷厲:“走錯?不!我們只是還沒走到終點!”
他在白板上飛快寫下幾個公式,隨後圈出關鍵點:“問題不是材料不夠強,而是溫度控制!我們要做的,不是硬扛,而是——降溫!”
他的手指指向實驗艙的冷卻結構:“把超導冷卻模組提上日程,把碳奈米管鍍層和冷卻系統結合。只要溫度在可控區間,鍍層壽命能提升數十倍!”
研究員們恍然大悟,立刻分組改造。
第四次實驗
第三片反射鏡被送入光源艙,這一次,背後嵌入了銀白色的超導冷卻迴路。
“點火!”
耀眼的光弧噴薄,打在鏡面上。
監測曲線抬升——71%、72%、72.5%!穩定!
十秒、三十秒、一分鐘……鏡面依舊晶瑩如新,沒有裂痕,沒有燒蝕!
“繼續觀察!”
兩分鐘、三分鐘,實驗室裡鴉雀無聲,只有機器的嗡鳴與螢幕的心跳般跳動。
直到第五分鐘,反射率依舊穩定在70%以上!
“成功了!”
這一刻,所有人幾乎是同時站起,爆發出壓抑不住的歡呼。有人紅了眼眶,有人抱頭大笑,更有人直接撲在同伴肩膀上哭了出來。
伍思辰只是微微一笑,站在那片穩定燃燒的光弧前,語氣堅定如鐵:“記住,今天我們不僅造出了鏡子,更造出了大夏的脊樑。”