第一次試產,良率就能達到94.3%,等以後根據情況多次調整裝置,良率還可以再提升幾個百分點。
沈院士猛地一拍大腿,聲音裡滿是激動:“94.3%!這良率在國外巨頭的生產線上,也是出類拔萃的存在,你們直接一步到位,這不僅是技術突破,更是給龍國半導體產業掙足了底氣!”
楚千瀾望著螢幕上平穩的良率曲線,指尖輕叩觀察窗,眸色沉靜卻難掩鋒芒。
“試產達標只是起點。讓技術團隊趁熱打鐵,接下來一週進行連續量產測試,模擬24小時不間斷運轉,重點監測裝置損耗、耗材消耗和良率波動,務必在正式量產前把所有潛在問題都暴露出來。”
王世傑重重點頭,筆尖在筆記本上飛速記錄:“明白!我這就安排三班倒測試,每兩小時記錄一次核心引數,同步分析光源衰減、鏡頭損耗和晶圓傳送精度變化,形成完整的量產可行性報告。”
張北光補充道:“我們還準備了三種不同批次的光刻膠和矽晶圓,會在測試中輪換使用,驗證裝置對不同耗材的適配性,確保量產時不會因原材料批次差異影響良率。”
楚千瀾微微頷首,目光掃過車間裡忙碌的技術團隊,每個人臉上都帶著疲憊卻興奮的神色。
從拆解第一臺250奈米光刻機到自主研發45奈米放大版產線,兩年多的日夜攻關,無數次的引數調整和故障排查,終於換來了此刻的突破。
楚千瀾抬手看了看時間,語氣帶著不容置疑的決斷:“連續量產測試期間,讓後勤部門全力保障,技術團隊輪班休息但必須隨時待命。
另外,通知星源探索,優先調配28奈米儲存晶片的設計圖紙,等45奈米晶片量產穩定後,第一時間進行流片試產,驗證多重曝光技術在45奈米產線上的應用。”
張北光眼中閃過一絲熾熱,連忙應聲:“明白!28奈米儲存晶片的設計圖紙早已同步給技術團隊,我們已提前完成光刻引數適配推演。
按照公司計劃,只要45奈米產線穩定運轉七天,就可以啟動多重曝光技術,測試生產28奈米晶片。”
楚千瀾目光落在螢幕上“94.3%良率”的醒目資料上,語氣帶著幾分審慎:“多重曝光技術的測試可以按計劃推進,但必須建立在45奈米產線完全穩定的基礎上。
確認產線沒有問題後,就將45奈米晶片的生產訂單轉移到這邊。那條65奈米的光刻機停用,準備找個買家吧!”
雖說使用多重曝光技術,可以憑藉65奈米光刻機生產出45奈米晶片,但不管是良率還是效率,都比不上45奈米產線。
王世傑握著資料平板的手指微微收緊,眼中閃過一絲不捨:“楚總,那條臺65奈米光刻機得來不容易,而且在國際上也還算是先進,就這麼出售會不會太可惜?”
楚千瀾看向正在運轉的光刻產線,語氣平靜卻帶著長遠考量:“裝置的價值在於創造效益,而非陳列紀念。45奈米產線穩定後,65奈米光刻機對我們來說就是落後,閒置只會造成資源浪費。”
他頓了頓,補充道:“如同你說的那樣,這臺裝置還比較先進,我們雖然用不到了,但對其他廠商來說,依舊是急需的先進裝置!”
沈院士在一旁附和:“楚總說得對,半導體行業技術更新迭代快,舊裝置及時變現是明智之舉。
我可以幫忙聯絡幾家有需求的廠商,確保裝置能發揮最大價值,若是貴公司能提供多重曝光技術,想必很多廠商都願意溢價收購。”
多重曝光其實並不是甚麼先進的技術,涉及的專利不多,最關鍵還是技術人員的手法以及經驗。
對擁有先進光刻機的廠商來說,這技術完全沒有用;至於產能落後半導體廠商,即便使用了多重曝光技術,降低的良率也會讓他們望而止步。
楚千瀾指尖輕叩觀察窗,眸色沉靜:“多重曝光技術可以附帶授權,但要單獨核算費用。
對那些買不起先進光刻機的中小廠商來說,這技術能讓他們用舊裝置生產更高製程晶片,算是給他們留條活路,也能為我們多賺一筆技術授權費。”
他很清楚,這技術對深藍半導體已是過渡方案,但對亟需提升製程的中小廠商而言,卻是撬動市場的關鍵。
與其讓技術閒置,不如作為裝置附加值提升轉讓價值。
至於技術洩露,楚千瀾並不在意。
多重曝光技術的原理都是公開的,但真正掌握的企業並不多。從學會到掌握,需要耗費大量資源,這可不是一般半導體企業能夠承擔得起的。
沈院士眼中閃過讚許:“這個思路好!既盤活了舊裝置,又能透過技術授權形成二次收益,一舉兩得。
我認識幾家主攻汽車電子和工業控制晶片的廠商,他們正急需65奈米級裝置,加上多重曝光技術,溢價30%不成問題。”
楚千瀾微微頷首,目光重回45奈米光刻產線的運轉畫面,淡紫色的極紫外光束如同精準的手術刀,在晶圓上刻畫出未來的科技脈絡。
“溢價多少不重要,關鍵是要儘快處理掉。等我們的45奈米光刻產線公開後,65奈米光刻機的價格必然會下降。”
沈院士笑著應下:“放心,我稍後就聯絡意向廠商,爭取一週內敲定轉讓事宜。現在半導體裝置市場供不應求,尤其是高階光刻機,加上多重曝光技術授權,肯定能賣出好價錢。”
楚千瀾微微頷首,不再糾結舊裝置的轉讓,轉而叮囑王世傑:“完成光刻產線測試後,還要抽調技術人員繼續研發,爭取早日將28奈米光刻產線製作出來。”
王世傑重重點頭,眼中燃起更盛的鬥志:“楚總放心!45奈米產線的成功,已經為我們積累了全套自主研發經驗。
28奈米產線的研發,我們已經有了初步計劃,半個月後,就會建立專門的專案組!”