楚千瀾凝視著控制面板上緩慢回落的溫度數值，指尖輕叩觀察窗邊緣，語氣異常平靜：“故障現在暴露，總比量產時出問題要好。”
他抬手示意技術人員調出裝置結構圖，指尖在螢幕上勾勒出改進方案：“可以在鏡頭周邊增加微型散熱鰭片，同時最佳化溫度補償演算法，根據實時溫度資料動態調整光路引數，抵消熱脹冷縮帶來的偏移。
另外，給光源裝置加裝獨立的恆溫控制系統，將工作環境溫度波動控制在±0.5℃以內，從根源上減少熱變形的影響。”
沈院士看著楚千瀾快速給出的解決方案，眼中閃過讚許：“這個思路可行！微型鰭片+動態補償+恆溫控制，三重保障應該能解決熱穩定性問題。
龍科院可以協調光學材料專家，幫忙最佳化散熱鰭片的材質和結構，提升導熱效率。”
冷卻系統運轉半小時後，裝置溫度恢復正常。
張北光按照楚千瀾的方案臨時調整引數，重新啟動光源裝置。
這一次，光束聚焦偏移量被穩定控制在±微米以內，警報再也沒有響起。
王世傑長舒一口氣，臉上重新露出笑容：“楚總，調整後效果顯著！現在連續運轉半小時，各項引數依舊穩定，熱穩定性問題算是暫時解決了。”
楚千瀾微微頷首，語氣帶著嚴謹：“暫時解決不代表一勞永逸。讓研發團隊成立專項小組，針對熱穩定性做為期一週的連續測試，模擬量產場景下的各種極端工況，務必讓裝置達到工業級量產標準。”
王世傑重重點頭，迅速在平板上記錄核心指令：“明白！我這就組建專項測試小組，覆蓋高溫環境、長時間滿負荷運轉、頻繁啟停等七種極端工況，每小時記錄一次引數，形成完整的穩定性報告。”
沈院士俯身檢視調整後的實時資料，光束聚焦偏移曲線平穩得如同水平線，眼中滿是欣慰：“沒想到這麼快就能穩住，楚總的方案確實精準。
不過，極紫外光源的高能量特性還可能帶來其他隱患，比如光學鏡頭的損耗速度、等離子體對腔體的腐蝕，這些都得納入長期測試範圍。”
楚千瀾指尖輕叩觀察窗，目光掃過光源裝置的核心腔體：“沈院士提醒得對。讓材料團隊同步跟進，分析鏡頭塗層的抗損耗效能，評估腔體材料的耐腐蝕等級。
如果現有材料無法滿足長期量產需求，立刻聯合星源探索，啟動替代材料研發。”
星源探索此時的研發團隊已經非常龐大，僅僅材料研發就有十幾支團隊。
有女媧系統的協助，可以在最短時間內解決深藍半導體的需求。
隨著裝置持續穩定運轉，車間內的緊張氛圍逐漸消散。
技術人員們各司其職，記錄資料、監測引數，臉上都洋溢著興奮。
新光源裝置投射出的淡紫色光束如同精準的畫筆，在晶圓表面勾勒出細密的電路紋路，每一道線條都均勻銳利，遠超原有光源的表現。
兩小時後，第四輪小批次測試完成。
王世傑重新整理資料平板，聲音帶著抑制不住的激動：“楚總、沈院士，最新測試結果出來了！晶圓良率穩定在97.8%，線寬誤差控制在±微米，連續運轉四小時無任何引數漂移，熱穩定性完全達標！”
他調出測試報告，螢幕上清晰顯示：“光學鏡頭損耗率僅%/千片晶圓，腔體腐蝕程度低於行業標準30%，各項指標均滿足工業級量產要求。”
沈院士看著報告上亮眼的資料，忍不住讚歎：“這已經不是初步成功，而是完全具備量產條件了！
有了這套自主光源裝置，深藍半導體的180奈米光刻機產能至少能提升40%，良率再上一個臺階，後續45奈米光刻產線的研發也有了堅實基礎。”
楚千瀾臉上露出一絲淡笑，“光源裝置量產是要提上日程了，但這180奈米光刻機提升產能就不需要了。
待到45奈米光刻產線完成研發，公司就沒必要再維持這條180奈米的落後產線了！”
這條產線是深藍半導體最早購買的光刻機，但製程並不是特別先進，再加上國外半導體巨頭的圍剿，公司訂單根本不足以維持180奈米光刻機的運轉。
王世傑握著資料平板的手指微微一頓，隨即瞭然點頭：“楚總說得對，180奈米制程的產線一直虧損，確實沒有繼續維持下去的必要！”
沈院士眸光閃爍：“楚總是準備出售180奈米光刻機嗎？我可以幫忙牽線搭橋！”
180奈米光刻機放在深藍半導體屬於落後產能，但在龍國其他晶片代工廠中，還屬於生產晶片的中堅力量。
若非如此，之前那臺250奈米制程的光刻機，也不會賣出5000萬的價格。
楚千瀾微微頷首：“出售確實是最優解。不過，這套180奈米光刻機是正常購入的裝置，對外出售不需要隱瞞資訊。”
上次出售的250奈米光刻機是深藍半導體自己復刻的，沒有合法身份，自然不好光明正大的出售。
這套180奈米光刻裝置雖然獲得的過程有些問題，但並不妨礙正常轉售給其他公司。
沈院士眼中閃過一絲亮色：“光明正大出售最好！龍國還有不少專注於功率晶片、模擬晶片的廠商，180奈米制程對他們來說完全夠用，而且自主光源加持後的裝置良率和穩定性，比他們現在用的老舊裝置強太多，肯定會搶著要。”
楚千瀾卻搖了搖頭，“這套180奈米光刻機搭載原有光源裝置！新開發的極紫外光源裝置還要完善，在我們研發的45奈米光刻產線完成前，不會對外公開。
想必購買光刻機的廠家，也不會為了幾個點的良率，增加大量的預算。”
極紫外光源雖然還沒有正式上市，但價格肯定極高。用在180奈米光刻機上，肯定難以收回成本。
沈院士聞言恍然大悟，隨即點頭認同：“楚總考慮得周全！極紫外光源技術剛突破，成本必然居高不下，搭載在180奈米光刻機上確實得不償失。”