王世傑側身讓開，露出裝置旁的引數面板，上面跳動的“套刻精度±微米”“良率72%”等資料格外醒目。
“我們透過自研的鐳射校準演算法，將套刻精度壓到±微米，比行業標準提高近一半；
光刻膠是直接從國外進口的，我們自己的實驗室剛起步，需要一段時間才能拿出成品；良率目前穩定在72%，後續最佳化後還能再提5到8個百分點。”
沈院士俯身盯著面板上的資料流，手指無意識地跟著資料跳動的節奏輕叩桌面。
當看到“晶圓傳送臂定位誤差小於微米”的標註時，他猛地抬頭，眼中滿是震撼：“你們連機械臂的動態補償都搞定了？這可是多重曝光的核心難點，國外廠商花了三年才突破這個瓶頸！”
“是楚總提供的技術框架，恆川機械來人除錯的。”王世傑語氣帶著幾分自豪，“現在傳送臂每完成一次曝光定位，系統都會自動校準機械誤差，比人工除錯精準多了。”
沈院士順著王世傑的指引看向裝置後方，那裡堆放著幾疊厚厚的測試報告，封面上“45nm儲存晶片電學效能測試”的標題格外刺眼。
他隨手抽出一份，快速翻到核心引數頁。“資料存取速度120MB/s”、“靜態功耗5微安”、“迴圈壽命10萬次”，每一項指標都追上了國際主流45nm儲存晶片水準。
“這……這簡直是跨越式突破！”沈院士合上報告，聲音因激動而微微發顫，“有了這套技術，咱們國內的45nm晶片生產就不用再看ASML的臉色了！
對了，你們後續打算怎麼推進？是先擴產還是繼續最佳化工藝？”
王世傑輕輕搖頭，“以我們目前的狀況，很難在海外買到第二臺65奈米光刻機，擴充套件是不可能了。
至於最佳化工藝，意義也不大，65奈米光刻機生產45奈米晶片已經是極限，不可能再生產更先進的製程了。
按照楚總的規劃，我們下個月會拆解這臺65奈米光刻機，研究其內部結構！”
”拆解？”沈院士握著報告的手猛地一緊，紙張邊緣被捏出明顯褶皺。“這臺裝置剛完成除錯，正是驗證工藝、積累資料的關鍵時期，現在拆解是不是太冒險了？”
在他看來，65nm光刻機是國內稀缺的先進裝置，哪怕暫時無法擴產，也該優先用於晶片生產，為國內產業鏈提供45nm製程支援，而非急於拆解研究。
畢竟拆解過程中一旦出現硬體損傷，想要在國內修復難如登天。
真到那個時候，別說45奈米晶片了，恐怕連65奈米晶片都無法生產。
王世傑卻是不以為意，“王院士，以我們公司目前的狀況，即便能生產45奈米晶片，也不會有多少訂單。
即便有訂單，我們也無法採購那麼多生產原材料。也正因如此，楚總才讓我們在驗證完技術後，開始拆解65奈米光刻機，瞭解內部結構，為零部件國產化做準備！”
深藍半導體即便獲得生產45奈米制程晶片的能力，那些晶片設計公司也不會輕易拋棄合作伙伴，將訂單給他們。
更何況，深藍半導體與因特爾，臺機電等公司有矛盾，僅憑這一點，就足以讓晶片設計公司拒絕與深藍半導體的合作。
當然，真正讓王世傑對拆解65奈米光刻機一點反對意見都沒有的原因，是女媧系統在這個過程中起到的關鍵因素。
女媧系統在各種掃描裝置的配合下，光刻機拆解過程幾乎不會有任何意外。這一點，已經在拆解250奈米光刻機時驗證過。
沈院士嘆了一口氣，王世傑的話如同一盆冷水，澆滅了他對“短期產能突破”的期待。
前段時間，深藍半導體被國內外供應商卡原材料的事情，在網路上鬧得沸沸揚揚，他自然也有所耳聞。
國內的那些原材料，他還可以私底下牽線搭橋，但涉及到國外供應商，他也沒有甚麼辦法。
“這些材料，確實是繞不開的坎。”沈院士嘆了口氣，目光重新落回65nm光刻機上，語氣帶著幾分悵然。
“可這臺裝置畢竟是國內目前最先進製程裝置之一，拆解過程中要是出了差錯，想要再找到替代裝置，難如登天。”
王世傑看出沈院士的擔憂，輕聲安慰道：“沈院士放心，拆解前我們會完整記錄裝置結構，每一個零部件的安裝位置、接線方式都會存檔。
而且張北光團隊已經拆解過250nm光刻機，有成熟的流程，不會出紕漏。”
他頓了頓，補充道：“拆解過程還會全程錄影，同步上傳到行星二號超算備份。哪怕某個部件出現損壞，也能根據掃描資料逆向復刻，不會影響後續復原光刻機。”
沈院士仍有顧慮：“逆向復刻談何容易？像光學鏡頭、伺服電機這些核心部件，國內廠商的工藝還達不到原機水準，一旦損壞，恐怕還是要依賴進口。你們復刻過250奈米光刻機，應該更明白其中的難度！”
在他看來，以龍國目前的工業體系，很難復刻高階光刻機的核心部件。
王世傑卻是語氣堅定，“只有摸清每個部件的設計原理，才能推動國內供應商突破技術壁壘。
我們去年拆解的250奈米光刻機，已經完全吃透內部構造。按照計劃，我們用國產部件復刻的250奈米光刻機，再有兩個月就可以下線了。”
沈院士握著報告的手微微一鬆，眼中的擔憂被難以置信取代：“兩個月？用國產部件復刻250奈米光刻機？”
他深耕半導體領域數十年，太清楚高階裝置國產化的難度。
250奈米光刻機雖非頂尖製程，但核心部件如精密導軌、伺服電機、光學鏡頭，長期依賴國外進口，國內廠商連逆向測繪都困難，更別提復刻組裝。
去年王世傑透過他聯絡了很多廠商，當時他還以為雙方應該是共同研究光刻機的某一種結構。
現在看來，當時就是復刻250奈米光刻機的某一種核心部件。