歐皇妲沒回答,而是伸出手指在螢幕上劃了幾下,放大了一張分子量分佈圖。
然後又抱著奶茶,小口吸了幾口,認真的思考起來。
身後的程新彤,以及一眾專家都緊盯著這嬌小的背影。
“問題在這兒。”她指著圖上一處不太明顯的肩峰,說道:“你們的聚合物合成工藝裡,鏈轉移控制不夠精準,導致高分子量組分佔比偏高。
這部分雖然對解析度有幫助,但在曝光後會產生嚴重的鏈纏結效應,直接拉高了LWR。”
程新彤猛地站起身,快步走到螢幕前死死盯著那張圖。身後的幾個研究員也湊了過來,神色各異。
“可是……”之前那個戴眼鏡的研究員遲疑道,“我們做過GPC測試,分散度已經控制在1.2以下了,這在國內算頂尖水平了。”
“1.2對28nm夠用,對13nm遠遠不夠。”歐皇妲語氣平淡,雖然她沒做過這個實驗,但是冥冥之中她腦子裡有個數字在跳出來似的。
略微停頓後,她說道:“你可以試試把分散度壓到1……以下,同時要把高分子量尾端完全切掉。
另外,你們的產酸劑和淬滅劑的比例也有問題——在這麼短的曝光波長下,酸擴散長度必須控制在5nm以內。你們現在的配方,酸擴散長度至少在9到10nm。”
程新彤深吸一口氣:“這個我們也意識到了,但是調整比例之後敏感度就會大幅下降……”
“那是因為你們用的淬滅劑擴散係數太高了。”歐皇妲打斷了她,伸手從白板上拿起一支筆,刷刷刷寫下一串分子式,“試試這個,剛合成的含氟負離子配對的三級胺鹽。
它的擴散係數比你們現在用的低兩個數量級,而且熱穩定性更好。產酸劑那邊,把陰離子換成這個結構——”
她又寫了一串更長的分子式。
會議室裡鴉雀無聲。所有研究員都在盯著白板上那些陌生的化學結構。
程新彤第一個反應過來,聲音有些發顫:“小師妹,這個產酸劑的結構……我沒見過。”
“嗯……我剛想到的。”歐皇妲眨了眨眼,略微尷尬的撓著頭,“如果能夠實現,那光吸收截面比現有的提高約40%,而且分解產酸的量子產率能達到。你們可以做個模擬驗證一下。”
“剛……剛想到的?”那個眼鏡研究員差點被自己口水嗆到。
眾人像看著怪物似的盯著歐皇妲。
作為歐皇妲入職以來最熟悉的閨蜜,秦嵐對此早已經見怪不怪。
別說是一群博士,就是院士,也很震驚的好吧。
她甚至還暗暗竊喜,“這新彤的光刻膠,是在小妲的幫助下突破的,那採購價格,是不是得便宜點呢?”
程新彤卻已經掏出手機對著白板拍照,同時轉頭對助理說:“快,去把合成實驗室的劉工叫來,讓他看看這個結構能不能做出來。”
助理飛奔而去。
歐皇妲又吸了口奶茶,似乎想起了甚麼:“對了,師姐,你們現在的光刻膠樹脂裡還在用羥基保護基團對吧?”
“對,傳統的叔丁氧羰基保護。”
“換掉吧。”歐皇妲乾脆利落地說,“改成縮醛類保護基團。脫保護活化能更低,而且不會產生小分子氣體副產物,能大幅降低缺陷率——大概能把缺陷密度壓到每平方厘米3個以下的,就差不多了。。”
程新彤覺得自己有點頭暈。這些困擾了她大半年的難題,在歐皇妲嘴裡就像是在說今天天氣不錯似的輕鬆自如。
“小師妹,你說的這些……都需要重新驗證工藝視窗,三個月時間可能……”程新彤咬住嘴唇,聲音裡帶著明顯的不確定。
事實上,她知道,自己沒有三個月,甚至一個月都沒有!
紫晶工廠那邊已經天天在催,需要最新的光刻膠,甚至已經派專門運送的車隊在等著,時刻準備出廠直接運送回茂市,進行生產測試。
“不用三個月。”歐皇妲笑了笑,說道:“我剛剛說的那些,你讓人把現有配方引數給我,我今天晚上跑一遍模擬,明天給你一個初步的最佳化配比。你們直接案那個做小試,一週內應該能看到明顯改善。”
“一週?”程新彤和身後的研究員們異口同聲。
“怎麼,時間太長了?”歐皇妲歪頭想了想,“那三天也行,我今晚熬個夜。”
程新彤張了張嘴,想說熬夜不好,但轉念一想——自己為了解決這些問題,整個團隊已經連續加班三個月了。
她深吸一口氣,走到歐皇妲面前,認認真真地鞠了一躬。
“小師妹……那,這件事拜託你了。”
“真不知道怎麼感謝你好……”程新彤眼裡感動的汪汪的。
沒想到這位素未謀面的學妹竟然對自己如此的好。
歐皇妲尷尬的扣在原地,這種感謝,反而讓她有點兒不適應。
她看著秦嵐,眼裡滿是求救。
秦嵐適時打岔道,“程總,小妲的奶茶喝完了,你這裡有奶茶嗎?”
程新彤愣了半秒,隨即笑了出來:“有有有,總部食堂就有,我讓人給師妹買。”
說著,程新彤就親自帶著歐皇妲出去,只是轉頭叮囑一下團隊專家立馬著手開始做試驗驗證。
旁邊的眼鏡研究員默默掏出筆記本,開始瘋狂記錄。
他看了看白板上那些天書般的化學結構,又看了看面前這個捧著空奶茶杯、笑容燦爛的女孩,內心只有一個念頭——這世上,真的有天才。
她們在新彤光電待了三天,歐皇妲就幫忙解決了諸多問題,秦嵐也終於決定離開京都,向北前往黑哈市。
珠算中心的是時務,為了迎接這公司內部傳奇的科學家,早已經做好了安排。
這位被馬農發配回東北苦寒之地的軟體推廣干將,更是親自到火車站去迎接她們。