哪怕是擁有諸多支援,擁有大量的資源,研製光刻機依舊是困難重重。
他指著光學系統,說道:“DUV光刻機需要由15-20個直徑200-300mm的透鏡組成的透鏡組;
EUV光刻機則需要由20多塊“鍋底大”的鏡片串聯組成的反射系統。
鏡面表面起伏要求極其嚴苛,如30cm長的鏡子起伏不超過!”
“這一項技術,目前在國內,還沒有能實現。”
“更別說對光學元件進行原子級精度的拋光和高精度鍍膜……”
郭汝京一想到這些完全沒有儲備的技術,就覺得頭腦發熱。
單一研製光刻機的國家,基本不存在。
而現在,紫晶工廠要做的,就是突破這全球的限制,完全依賴國內的廠家,或者自身研製,造出一臺光刻機來!
“的起伏……這,鄭穩都摸不出來吧?”蔣新松有些咋舌。
“嗯,我已經聯絡了國內幾家光學頂尖的實驗室,諮詢了一番,但暫時還是沒有訊息。”郭汝京指著上面任務裡的備註,寫著正在求助,待攻克。
蔣新松理了理頭緒,然後看向運動模組,問道,“工件臺與掩模臺的進度,怎樣了?”
“精密運動與定位系統啊……”郭汝京又點開另一個模組,面露難色的說道:“情況也不太妙啊!”
他一一點開裡面的詳細任務,這個蔣新松倒是不需要他的解釋,就完全能看懂。
製造能夠在高速運動下(如掃描曝光)實現亞奈米級定位精度的雙工件臺系統。
其定位精度需小於10nm,甚至要達到3nm以內的套刻精度要求。
研發應用鐳射干涉儀、光柵尺等超精密測量感測器,以及直線電機、壓電陶瓷等驅動器,實現對晶圓和掩模版的實時位置反饋與控制 。
這些都是超精密的器件。
如果只是一般的光柵尺,或許萬八千就能買到,但是要放在光刻機上,顯然不夠。
蔣新松看著下面一堆紅色的待開展任務,也不禁皺起眉頭,“這需要更高效能的點選,才能實現運動的精度。”
“而因為燈塔國的制裁,發那科、西門子等大集團,都已經中斷了咱們採購效能級以上的電機……”
他覺得十分棘手。
現在的情況,真的就是,幾乎是一顆螺絲,都得自己造,人家都不肯賣給你。
而這些,在國內又沒有替代品。特別是高階電機,目前初苗集團的德多電機,就已經是國產電機的領軍人物了。
壓根找不到第二家能直接買來使用的。
“哎,還是得等老錢發力啊!”郭汝京感慨說道。
好在這條路也不是隻有他一個人,整個光科技專案,牽扯進來的團隊不下百個,上萬名工程師,都在研究著。
其中還有不少高校的團隊,也在接到紫晶工廠的委託研究任務後,加入到研究行列中來。
而除了核心的系統外,還有整機整合與軟體控制。
需要將上述數十萬個零部件(包括4萬個螺栓、3千條電線、2公里長軟管)進行精密組裝 。
其中發光刻機的底層作業系統和控制軟體,用於協調工件臺運動、曝光劑量控制、自動對準、故障診斷等。包括版圖設計與系統控制軟體、EDA介面工具,也都
“前些日子我跟求伯君也有過溝通,EDA工具,進度也十分緩慢。”郭汝京說著這些不好的訊息,也是略微有些心情沉重。
蔣新松輕輕點頭,“嗯,畢竟咱們也是才開始研究工業EDA,確實積累不夠……”
同樣作為研發部負責人,他自然是知道劉一首的壓力,那也是相當的巨大。
雖然有求伯君這位大佬在鎮著,但這些軟體,人家都是絕密的,又沒有給你破解。
想要自己研究起來,還是十分困難。
並且要適配天窗作業系統,等於就是從零開始的研究。
“是呀,甚麼都要從頭開始,確實不容易!”郭汝京也深知這個道理。
但是沒辦法。現在的情況屬於是,國內能購買,用外國替代的,他都已經先買來測試,實在是買不到的,再開課題研究。
像光刻膠,除了櫻花國的高階光刻膠外,其實國內也有不少的公司有。
但是以前是因為一直都沒人使用,所以自然就沒有資金更新迭代,也就導致持續落後。
現在郭汝京手裡有的是現金,對於這些,不管行不行,只要看著可以的,有可能的,有機會的,他都先嚐試買來測試一下,先看看效果。
這也確實讓他找到不少,勉強可以替代的。
郭汝京帶著蔣新松半響,才說道:“基礎材料研發、超精密機械加工、極限光學制造、高速高精運動控制、複雜軟體演算法、以及極致的環境工程……諸多工裡,只有基礎材料研發,目前的進度超過預期。”
“高精度的陶瓷、碳化矽等複合材料,比我預算的時間足足早了一兩年。”郭汝京感嘆。
他沒想到,原本預料要花時間最長,最難突破的部分,竟然是最先攻克的。
“基礎材料……”蔣新松看著那一欄,數十項任務中,科研方負責部門赫然寫著和聯鋼鐵廠。
負責人自然是歐皇妲。
“歐博士啊……”蔣新松一看到歐皇妲的名字,就又想起王希的邀請。
連夏國航發都想要挖牆腳,可見這歐皇妲博士在材料學中的地位和重要性。
“是呀,我估計,用不了幾年,這丫頭,就得拿上國家最高科技獎,嘖嘖,不到三十歲的最高科技獎得主啊!”郭汝京想到這傳奇的材料學博士,也是忍不住的誇讚。
甚至他還覺得,這丫頭,身上擁有諾貝爾之姿。
並且會成為夏國最年輕的院士。
蔣新松聽著,也是直羨慕,但是他也知道,這種大氣運,自己也羨慕不來。
他仔細看著那密密麻麻的科研任務,也忍不住苦笑,“咱們給歐皇妲博士的任務,是不是太多了些……不會把她給累著吧?”
如果陳巖在場,他會立即回答蔣新松,他的擔憂是有道理的。