陳寧皺了皺眉頭,作為這個研究小組的負責人,他最近也是在加班加點,可進度並不遂人願。
“陳總,還不是特別順利。”
“當初我們學的是用193nm的arf準分子鐳射的第四代光刻機,所以在光源理論上面比較生疏。”
“而且從德國訂購的實驗儀器,他們賣給我們的也不是最先進的。”
“還有儲存環,我們國內也很不理想……”
陳塵對此表示理解,嘆了口氣道:“這很正常。”
“要追趕上國際水平很不容易,況且我們這次還是彎道超車。”
“不過儀器和儲存環,我們的朋友會在月底給你們。”
陳塵口中的朋友自然是魔都微電的徐叢,這些傢伙什沒有一定的關係以及實力,一般人還真搞不定。
“阿斯麥爾公司用的是高能鐳射轟擊液態錫靶,形成等離子體後產生波長的euv光源,未來隨著晶片工藝節點的不斷縮小,對euv光源的功率要求也會不斷提升,很快就會到達他們的臨界點。”
“而我們的ss1mb的euv光源,則是可以實現更大的功率,還有向更短波長擴散的潛力,所以我們技術的前景是可以預見的。”
“你們不用著急,一定要把理論做紮實,等到了落地實驗才會走的更穩。”
陳寧點頭,“陳總,我知道,我們這邊的人每天下班後還會自發加班學習,就為了讓咱們未來不用看別人的臉色,所以大家的動力是很足的。”
“但是陳總,根據我們的理論,這個新技術的能耗會非常高,如果用來製作普通晶片的話,成本會比國外高上一大截的。”
“可不用更大的平均功率,能耗降低也無法有更短的波長產生,也就沒辦法作為光刻機的光源。”
陳寧雖說對這項技術很看好,可這項光源的技術耗能,卻是個大問題。
大量的電力被浪費掉,而且同步加速器也是個大傢伙,就算投入到光刻機上面使用,估計場地也是龐大無比。
對於這個問題,陳塵也是早有預料。
電力,華夏並不缺,如果真的可行,搞一個半導體產業叢集,直接在旁邊建設一個核電站不就完了。
場地,也就是土地,這個地方華夏更不缺。
揚子江新能源建設一個20GWh的工廠都被各地搶著要,更妄論這一個半導體產業叢集了。
陳塵的最終方案也很簡單,沒辦法做小是吧,那就往大了做,建設一個晶片廠,搞一個大型的光源總站。
多個光源輸出點,可以輸出極紫外光,也可以輸出波長更短的x射線。
一個超級光源系統,配多臺光刻機!
“這點不是你操心的事情,只要技術能落地,耗能高點也無所謂,我們華夏不缺電。”
在半導體部門視察瞭解了一下進度後,陳塵就離開了這裡。
在他走後,陳(本章未完,請翻頁)