第145章 新工藝半導體矽片,測試合格!
在有材料與裝置,以及馮承銘這位光刻院士的主導下,晶片光刻過程異常迅速。
五片國產矽片光刻前,需要經歷清洗步驟,去除表面的灰塵、汙染物與殘留物。
具體做法是先用溼法清洗一遍,再用去離子水清洗,最後再用六甲基二矽胺烷氣體燻蒸,使矽片表面完全脫水。
只有經過兩道清洗步驟,一道燻蒸步驟,才能讓半導體矽片達到它本身的11N純淨度,這也是光刻前的關鍵。
別看操作的都是學生,有時候學生更能嚴謹操作。
更別提有馮承銘監工,他們可根本不敢有半點偷懶。
在燻蒸結束以後,五塊半導體矽片被放入傳送機器,送往光刻機內部光刻區域。
馮承銘也早早換好了第一塊光掩膜版,隨著裝置的啟動,塗膠裝置開始自動為矽片塗膠,並進行邊緣膠體修正。
晶片生產步驟大致分為,清洗、塗膠、烘烤、光刻曝光、PEB後烘烤,圖形溶解等。
因為要使用“多重曝光技術”,生產步驟還要重複一遍,繁瑣程度大大提升。
不過!
馮承銘也算是熟手了,生產步驟根本難不倒他。
再怎麼說,他也是跟紅色品質光刻人才林天學過的,算得上是“親傳弟子”。
一個半小時後,五塊12寸半導體矽片已經全部刻滿電路圖案,等待切片封裝。
使用專業裝置分割切片後,一位負責晶片檢測的學生立馬使用檢測儀器測試。
片刻後。
他神色一變,連忙來到馮承銘面前道:“老師,這些半導體矽片似乎有點不對勁!”
“甚麼?”
馮承銘瞪大了眼。
他沒有管被嚇到的學生,而是火急火燎地來到測試裝置檢視具體數值,頓時整個人愣住了三秒,不可思議道:
“天啊!同樣的生產步驟,為甚麼輕舟晶片的功耗會下降,效能卻提升了,陳星,你究竟對半導體矽片做了甚麼改良!”
沒想到!
所有人都沒預料到!
這五片11N純淨度,12寸半導體矽片有這等效果,這是顛覆他們認知的新型技術。
絲毫不誇張的說,這件事要是傳出去,晶片生產領域的博主完全可以用這個當做論文主題,順利完成論文答辯。
史無前例!
遙遙領先!
馮承銘深呼吸一口氣,目光看向周圍的幾個博士生,語重心長道:“這件事不能傳出去,嘴巴都給我縫上,但凡走漏風聲,你們只能止步碩士學歷了。”
威脅,赤裸裸的威脅!
但他沒辦法,這件事事關重大,在沒有搞清楚前,絕不能讓西方知道一丁點訊息。
一旦西方得知,龍國企業已經完成了12寸半導體矽片製造,還用了某種不知名技術,讓晶片效能進一步提升,以它們尿性肯定又是滿城風雨,大動干戈。
“明白了老師。”
“放心,我們嘴巴很嚴的。”
“對對對!”
幾名博士學生連忙保證,本來他們畢業就難,要是還被院士卡住的話,自然而然的,求學之路就走到盡頭了。
“嗯。”
馮承銘點了點頭,繼續說道:“繼續工作吧,待會封裝完成,還要統計單片良品率。”
……
另一邊。
魔都花開生態公園。
數百位龍芯國際工程師,此刻正在烤肉狂歡,因為只有極少數人知道今晚為甚麼搞團建,他們也能放開了玩。
至於那十幾位荷蘭“活體監控”工程師,高永明與兩位副總則是親自招待暢聊。
一連數個小時過去,隱約間就有荷蘭工程師發現不對勁,小聲找到同伴商量。
“兄弟你有沒有發現,今晚高永明好像有些反常,他都喝到站不穩了還要喝。”
“好像…”
被問到的另一位荷蘭工程師頓了頓,連忙反應過來道:“他好像確實有點反常。”
“而且平時他對我們可沒甚麼好臉色,今晚卻額外熱情,還點名讓好好喝一杯。”
“會不會…”
“不是會不會,應該是了!”
“那我回去一趟?”
“偷偷離開,最好可以抓現行,伱應該懂我意思吧?”
“我知道該怎麼做。”
幾位荷蘭工程師密謀一番,也開始不動聲色去拖延,有一位則是假借上廁所的名義開溜。
為了拖住這群“活體監控”,高永明已經忘記喝了多少酒,如果現在讓他走直線,他肯定完成不了,不過腦袋卻格外清醒。
荷蘭工程師剛想借尿遁,還沒走出幾步就被副總李正德盯上,連忙喊道:“斯坦利先生要去哪?公廁可不是這個方向呀。”
斯坦利愣住半秒,轉過身假裝踉蹌道:“我想我已經不能再喝了,需要回家休息。”
“我親自送你去附近酒店?”
“不了,我還是回家休息吧,就不麻煩李副總了。”
“哎!可不能這樣說,你這樣暈乎乎的狀態,我怎麼可以放心你一個人回家,這樣,我親自開車送你回去怎麼樣?”
李正德越是這樣,斯坦利越覺得有問題。
他索性也不裝了,開門見山道:“既然副總強烈要求,那這樣吧,你送我回公司一趟,我有份檔案遺留在生產工廠了。”
話音落下。
形勢瞬間被動起來。
馮承銘還沒有給高永明發資訊,可能還在生產,現在可不能讓斯坦利回去。
他今晚滴酒未沾,就是防止荷蘭工程師要走的。
“你看天色…”
“不!”
李正德話音未落,斯坦利就搖頭說道:“那份檔案很重要,既然李副總要送我,那不如好人做到底,我們就一起回公司吧。”
陷入被動的李正德有些慌了,現在龍芯國際的生產工廠可是在偷偷生產晶片的,如果被撞見,一切努力都將化為泡沫。
見李正德這副模樣,斯坦利已經確定工廠有異常,也不等表態,自己徑直前往打車離開。
見攔不住,李正德連忙向還在灌酒的高永明報告,後者聞言,大腦瞬間清醒了。
“回去!”
“立馬回去!”
霎時間。
高永明火急火燎辭別。
其他荷蘭工程師也紛紛察覺到異常,幾乎是瞬間,高層這邊都往生產工廠趕去。
高永明數次撥打馮承銘電話,卻遲遲沒有接聽,極大可能還在潔淨室生產晶片。 “出事了!”
“我們現在怎麼辦?”
充當司機的李正德連忙詢問。
高永明目光閃過抹厲色,沉聲道:“現在只能犧牲你的駕照了,以最快的速度趕回生產工廠那邊,有甚麼事我來擔責。”
龍興科技、鯤鵬公司、北械集團等國產聯盟都在努力,龍芯國際絕對不能拖後腿。
李正德聞言也顧不得三七二十一了,一腳油門就直飆車,他年輕的時候可是賽車手。
不到十五分鐘。
他們率先抵達生產工廠。
然而前腳剛走進,不到一分鐘的時間,休病假的另一位荷蘭工程師就抵達了工廠。
本來他是生病了,請了三天假期休息,現在事發突然,被斯坦利喊了回生產工廠檢視。
兩波人馬,一前一後。
守在門口的李正德見生病的圖奇突然出現,連忙上前想阻攔,可被直接野蠻推開。
“狡猾的龍國人,就是你們給龍興科技生產晶片的對吧?”
圖奇大步往裡走。
荷蘭工程師個個人高馬大,被派往龍國企業時,荷蘭ASML公司就考慮過這種情況。
一次攔不住,李正德再次上前想要阻攔,卻被推翻在地,體型完全不是一個量級的。
小小的工程師,完全不把千億市值公司副總放在眼裡,龍芯國際屬實獨一份。
不過沒辦法。
裝置被人家掐住命脈了。
陸陸續續,十幾位荷蘭工程師都抵達生產工廠,他們全部都直奔生產工廠各個出口,不讓裡面的人出來。
因為喝多,高永明踉踉蹌蹌摔倒數次,十分狼狽,很輕鬆就被圖奇給追上腳步。
“高總走得這麼急,難道是工廠進賊了嗎?”
圖奇略帶玩味道。
高永明搖了搖腦袋想醒酒,但酒精上頭讓他只想倒頭就睡,可意志力告訴他不能睡。
龍興科技能頂住壓力,研製出12寸半導體矽片,陳星也敢頂在最前面捱打,他龍芯國際高永明為甚麼不行?
下定決心的他用力咬了舌尖,一股刺痛讓他瞬間清醒,踉踉蹌蹌站起身道:“我…我有一份檔案,不對,裝置忘記關了。”
“哦?”
圖奇冷笑一聲,繼續說道:“既然如此,那我們一同進去,幫高總你關裝置吧。”
高永明心生悲意,但也無奈,只能一同走進生產工廠。
圖奇見高永明臉色難看,已經斷定龍芯國際私自使用了光刻機,只要上報給總部,或許輕舟晶片生產之謎就解開了。
當他走進更衣間,穿好防塵服開啟光刻機潔淨室隔離門那刻,頓時愣了數秒。
空無一人!
裝置都處於斷電狀態。
“怎麼會這樣?”
圖奇不敢相信自己眼睛,走進去檢查裝置。
光刻機沒有生產溫度。
生產材料也沒有減少。
各個裝置歷史資料,同樣顯示這段時間沒有生產。
高永明默默退出潔淨室,回到更衣室拿出手機,通知欄有三條馮承銘發來的微信訊息。
原來在他們走進園區時,馮承銘這邊剛好完成裸片封裝,並收拾好場地。
李正德阻攔圖奇時,馮承銘的一位學生就在監控室,看見了畫面並跑去報告。
得知訊息後,馮承銘帶著學生們緊急往另外出口走,並直奔高永明的辦公室。
李正德和高永明短暫的拖延,讓他們順利脫身。
也幸好是冬天,外加僅僅只有五片半導體矽片,裝置執行時的溫度很快就冷卻下來了,圖奇也沒有發現異常。
十幾位荷蘭工程師見圖奇沒找到蛛絲馬跡,也紛紛走進潔淨室,尋找遺漏的地方。
今晚的龍芯國際太可疑了,他們不得不重點檢查。
可檢查了一圈發現,今晚光刻機確實沒啟動,而且原材料也沒有丟失,甚至連六甲基二矽胺烷氣體都沒有減少。
“這…”
因為仗著有理,高永明冷哼一聲道:“圖奇先生,我想你需要給我個完美的解釋,你現在的樣子,可沒有半點生病的跡象。”
“老總,李副總被送醫院了,剛才查監控,是圖奇工程師將他推倒在地,磕到頭。”
另一位副總連忙報告。
說話時,他給高永明使了個眼色,這讓後者立馬反應過來,原來是做戲做全套。
正好可以藉此機會,向荷蘭ASML公司施壓,清一清這十幾位活體監控。
圖奇臉色瞬間煞白,其他荷蘭工程師也懵了,把人推住院,要不要這麼暴力?
“高總你聽我解釋…”圖奇剛想解釋,高永明冷哼道:“不用解釋了,我會向你們老總說明情況,我醉了需要休息,你們喜歡檢查,那你們就繼續檢查吧。”
在找了個理由後,他立馬回到自己辦公室。
因為是千億集團,他的辦公室是有休息單間的,也沒有人會懷疑他回辦公室的動機。
回到自己老總辦公室,他立馬反鎖房門,躲在裡間的馮承銘見是高永明,連忙出來報喜道:
“成了!龍興科技的這五片半導體矽片,良品率提高了11%,達到了97%,而且生產的裸片效能還有小幅度提升,功耗下降了1W,效能提升了10%,這是前所未有的改良版半導體矽片!”
“甚麼???”
高永明扯著嗓子詢問。
本來今晚他就喝多了,現在整個人都昏昏沉沉。
聽見97%良品率,晶片效能還能透過矽片提升,他現在整個人是懵上加懵。
“噓!”
馮承銘做了個噓的手勢,繼續說道:“是真的,我們已經測試了,這批晶片效能不是個例,而是都有提升。”
“我猜測…”
“問題出自半導體矽片上!”
“草!”
高永明酒精已經徹底上頭,繼續扯著嗓子道:“新工藝的半導體矽片,陳星你小子真牛逼……”
“噗通——”
最後的牛逼只念了一半,他就承受不住,倒在地上呼呼大睡,嘴裡還唸叨著:
“新工藝矽片…”
“陳星我要訂一百萬片,不,不對,我要一千萬…我要…我要…我還要繼續訂……”
(本章完)