李望亭的手指懸在啟動鍵上方,不禁又緊張地深吸了一口氣。
這一刻,他終於要驗證自己和所有工人技術員辛勤付出是否能夠換來期待已久的成功。
在場的每一個人都屏住了呼吸,大氣不敢出。
老張的手心已經滲出了汗水,他緊緊捏著拳頭,目不轉睛地盯著控制檯。
其他技術員和工人也都是一臉凝重,全身的肌肉都繃緊了。
“開始!”李望亭大聲說道。
他的手指果斷按下了啟動鍵。
只聽機器發出“嗡——”的轟鳴聲,震耳欲聾。
各項指示燈亮起,精密的傳動系統開始高速運轉,數控操作檯上的資料飛速跳動。
這一刻,在場每一個人都倒吸了一口涼氣。
他們屏住呼吸,生怕任何一個音節都可能打破這神聖的時刻。
“傳動系統正常,光路系統正常!”
李望亭仔細觀察著,他的眉頭緊鎖,一絲微笑開始在嘴角浮現。
“控制系統正常!一切順利!”李望亭興奮地說。
“太好了!”老張激動地握緊了拳頭。
其他技工也都是暗自握緊了雙手,慶幸一切正常。
“現在進行光刻試驗!”李望亭將樣品放入工作臺,輸入了指令。
只見一束細密的鐳射射向樣品,在場的每一個人都屏住了呼吸,生怕一個不慎就會影響試驗。
只聽機器發出“嘀——”的提示音,表示準備就緒。
“開始!”李望亭朝老張使了一個眼色。
老張立即戰戰兢兢地按下了“啟動”按鈕。
頓時,強光源系統發出一道炫目的藍光,穿過了一系列精密的徑向調節鏡和聚光透鏡,射向樣品臺。
束窄的鐳射在樣品上方精確掃描,絲毫不差地照射每個曝光點。
“第一曝光區正進行中!”李望亭緊緊盯著樣品,仔細觀察曝光效果。
樣品上隱隱浮現出圖案輪廓,每個曝光點的邊緣清晰可見。
“第一區曝光完畢,準備第二區!”李望亭迅速調整引數。
光束迅速移動位置,開始曝光樣品的第二區域。
這一次曝光時間更長,光束能量更為集中。
眾人只見樣品上逐漸成像出美輪美奐的花朵圖案,每個筆畫都清晰無比,栩栩如生。
“第二區曝光完畢!”李望亭核對數字,“一切正常!”
“最後一區開始!”他輸入指令,啟動了最後的曝光程式。Ｅ
強光束劃
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過樣品表面,將每個細節無微不至地烙印其上。
“曝光結束!”.
機械傳來“叮——”的一聲,提示曝光程式全部結束。
“取出樣品!”李望亭示意老張。
老張小心翼翼地取出樣品,然後看到上面印刻的精美圖案後,立刻激動得紅了眼眶。
“成功了!”老張激動得說不出話來,顫抖著雙手將樣品舉過頭頂。
“成功了!”
“太神奇了!”
所有技術員和工人都激動得涕淚橫流!
李望亭激動地握緊了拳頭,終於成功了!
“同志們,我們成功了!”他擁抱著老張,和所有技工一同歡呼。
此時此刻,在場的每一個人都激動得說不出話來。
他們一個個紅著眼眶,淚水充盈。
“太不容易了,我們終於成功了!”老張已經激動得止不住淚水。
“所長,您瞧,這個圖案多精細啊!”一個年輕技工將樣品遞到李望亭面前,顫抖著說。
“太精緻了!完全超出我的想象!”李望亭也已難掩激動之情,聲音有些哽咽。
“老張,快去告訴領導成功的好訊息!”他拍了拍老張的肩膀。
“是!我這就去!”老張激動地轉身就跑,跌跌撞撞地衝出實驗室,馬不停蹄地奔向領導辦公室。
一路上,老張激動得眼淚直流,心中激盪著巨大的喜悅。
他三步並作兩步跑向辦公區域,來到了一臺老舊的電話機前。
老張深吸一口氣,小心翼翼地撥通了科學院領導辦公室的內線號碼。
“喂,請問是首長嗎?”老張緊張兮兮地說。
電話那頭傳來領導親切的聲音:“我是,有甚麼事嗎老張?”
“首長,光刻機試驗成功了!樣品精度超出想象!”老張激動地說,“請您快來實驗室看看!”
“甚麼?成功了?”領導難掩興奮,“太好了!我馬上來!”
說罷,領導急匆匆地結束通話電話。
過了一會兒,只聽外面引擎隆隆的聲音逐漸近了,一輛吉普車駛到了軋鋼廠研究所。
因為提前通知過，所以就沒有受到甚麼阻攔。
科學院領導一路小跑步趕了過來,急切的想看看樣品。
“讓我瞧瞧!”他幾步跨上樓梯,衝進實驗室。
進門的一剎那,看到樣品時,眼前一亮,激動得說不出話來。
“成功了!你們做到了!”他激動地抱住李望亭。
“是的領導!這一
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刻我們等待已久!”李望亭也激動不已。
“是啊!你們開啟了國內光刻技術的新紀元!”領導津津有味地端詳著樣品,“想象一下,這項技術的應用前景有多廣闊!”
“您說得對,這將推動國內電子資訊產業的全面發展!”李望亭也難掩激動之情。
“去,召開慶功會!”領導高興地宣佈,“今天所有的費用我包了!”
一時間,實驗室裡熱鬧非凡。
大家歡聲笑語,將這個歷史性的時刻鐫刻在心裡。
李望亭環視四周,難掩嘴角的笑容。是的,這一刻,他等待已久。
成功製造光刻機只是第一步,李望亭清楚,真正挑戰還在後頭。
“同志們,先祝賀我們研製成功!”李望亭對全體員工說,“但這只是一個開始,現在我們要馬上投入晶片生產,爭取儘快獲得高成品率和良好質量!”Ｅ
“是!我們一定全力以赴!”所有技工響亮地回答。
李望亭立即安排技術員進入24小時輪班制,晝夜不停地操作光刻機加工晶片。
起初成品率並不高,約有三成片子出現各種缺陷。
李望亭讓工程師仔細分析原因,發現主要在曝光控制和化學藥水配方上還需精益求精。
於是他們開始調整光源系統的精度,修改曝光時間曲線。
同時配製更穩定均勻的顯影液。
經過連日來的試驗除錯,成品率開始明顯提升,達到了六成以上。
現在晶片上電路圖案已經可以清晰成像。
“雖然只有幾微米大小,但這已經是國內之最!”李望亭不無自豪地說。
為了進一步提升成品率,他讓技術人員修改光學系統,加強對鐳射束的聚焦控制,減少散射對成像的影響。
同時,他們還改進了光刻膠的配方,使其更加符合國產矽片材質。
經過一個月的夜以繼日的努力,晶片成品率終於穩步上升到了八成以上,質量也越來越好。
“這已經可以進行小批次生產了。”李望亭欣慰地說。
雖然目前的工藝只能製造微米級晶片,但李望亭相信,經過持續改進,他們一定能夠達到奈米級。
“前面還有漫長的道路,但只要我們不懈努力,就一定能夠進軍世界先進行列!”李望亭對全體員工充滿信心地說。
大家無不振奮鼓舞、士氣高漲。他們知道,未來的勝利就握在自己手中。
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